本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置，包括底座，所述底座固定连接有定位杆，所述定位杆滑动连接有防护罩，所述防护罩固定连接有机壳，所述机壳固定连接有进液管，所述机壳转动连接有叶轮，所述叶轮同轴固定连接有转轴，所述转轴连接有第一皮带轮组件，所述第一皮带轮组件连接有第一锥齿轮组件，所述第一皮带轮组件连接有驱动机构，本实用新型专利技术涉及晶圆清洁技术领域。该用于晶圆清洗机的防喷溅装置，第二锥齿轮组件、第二皮带轮组件、齿轮组件、不完全齿轮组件带动齿条沿水平方向做往复运动，齿条带动喷头沿水平方向做往复运动，喷头喷出的水对转动的晶圆表面进行往复清洁，使得对晶圆的清洁更为充分。使得对晶圆的清洁更为充分。使得对晶圆的清洁更为充分。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置
[0001]本技术涉及晶圆清洁
，具体为一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆加工过程中，需要相应的清洗机对其进行清洗。
[0003]现有的晶圆清洗机对晶圆的清洗过程中，多数未采用合适的防喷溅装置，对晶圆进行遮蔽，进而导致出水飞溅至他处，导致浪费与后续清洁困难，无法对晶圆有效清洁，最终影响晶圆成品质量。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置，解决了因未设置防喷溅装置导致水资源浪费，后续清洁困难，晶圆成品质量低等问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置，包括底座，所述底座上端固定连接有定位杆，所述定位杆上端滑动连接有防护罩，所述防护罩顶端固定连接有机壳，所述机壳上端固定连接有进液管，所述机壳内端转动连接有叶轮，所述叶轮一端同轴固定连接有与防护罩转动连接的转轴，所述转轴远离机壳端连接有与防护罩连接的第一皮带轮组件，所述第一皮带轮组件下侧一端连接有第一锥齿轮组件，所述第一皮带轮组件下侧另一端连接有与防护罩连接的驱动机构，所述第一锥齿轮组件下端连接有与防护罩转动连接的伸缩杆组件，所述伸缩杆组件伸长侧底端连接有与底座连接的第三皮带轮组件，所述第三皮带轮组件另一端连接有与底座转动连接的承载盘，所述底座上侧靠近承载盘外端固定连接有挡环，所述底座靠近挡环内端固定连接有排液管，所述机壳下端固定连接有连接管，所述连接管底端固定连接有分别与防护罩、驱动机构连接的喷头。
[0006]优选的，所述防护罩底端固定连接有环形吸盘，所述防护罩顶端固定连接有内端中空的法兰盘。
[0007]优选的，所述机壳靠近转轴端设有内嵌防漏垫圈的开槽，所述防护罩内靠近驱动机构外端固定连接有壳体。
[0008]优选的，所述驱动机构由第二锥齿轮组件、第二皮带轮组件、齿轮组件、不完全齿轮组件、齿条构成，所述第一皮带轮组件与第二锥齿轮组件连接，所述第二皮带轮组件、齿轮组件均与防护罩连接，所述齿条与防护罩滑动连接，所述齿条通过连杆与喷头固定连接。
[0009]优选的，所述第二锥齿轮组件与第二皮带轮组件连接，所述第二皮带轮组件与齿轮组件连接，所述齿轮组件与不完全齿轮组件连接，所述不完全齿轮组件与齿条连接。
[0010]优选的，所述伸缩杆组件内侧伸长端及定位端均设有挡块，所述连接管由伸缩性良好的软管构成。
[0011]有益效果
[0012]本技术提供了一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置。与现有技术相比具备以下有益效果：
[0013](1)、该用于晶圆清洗机的防喷溅装置，通过在装置内设置驱动机构，第一皮带轮组件通过第二锥齿轮组件、第二皮带轮组件、齿轮组件、不完全齿轮组件带动齿条沿水平方向做往复运动，齿条带动喷头沿水平方向做往复运动，喷头喷出的水对转动的晶圆表面进行往复清洁，使得对晶圆的清洁更为充分。
[0014](2)、该用于晶圆清洗机的防喷溅装置，通过在装置内设置环形吸盘，环形吸盘在对晶圆清洗过程中可起到良好的防漏作用，避免清水溢出导致后续清洁困难，而法兰盘便于带动防护罩及其相关组件沿垂直方向运动，对待清洁的晶圆进行遮蔽操作，避免喷头喷出水喷溅至无关区域影响操作，造成浪费。
附图说明
[0015]图1为本技术的正视剖面图；
[0016]图2为本技术的正视图；
[0017]图3为本技术内端驱动机构的放大图。
[0018]图中：1、底座；2、定位杆；3、防护罩；4、机壳；5、进液管；6、叶轮；7、转轴；8、第一皮带轮组件；9、第一锥齿轮组件；10、驱动机构；101、第二锥齿轮组件；102、第二皮带轮组件；103、齿轮组件；104、不完全齿轮组件；105、齿条；11、伸缩杆组件；12、第三皮带轮组件；13、承载盘；14、挡环；15、排液管；16、连接管；17、喷头。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置，包括底座1，底座1上端固定连接有定位杆2，定位杆2上端滑动连接有防护罩3，防护罩3底端固定连接有环形吸盘，防护罩3顶端固定连接有内端中空的法兰盘，环形吸盘可起到良好的防漏作用，避免清水溢出导致后续清洁困难，通过气缸固定法兰盘，进而便于带动防护罩3及其相关组件沿垂直方向运动，对待清洁的晶圆进行遮蔽操作。防护罩3顶端固定连接有机壳4，机壳4上端固定连接有进液管5，机壳4内端转动连接有叶轮6，叶轮6一端同轴固定连接有与防护罩3转动连接的转轴7，转轴7远离机壳4端连接有与防护罩3连接的第一皮带轮组件8，第一皮带轮组件8下侧一端连接有第一锥齿轮组件9，第一皮带轮组件8下侧另一端连接有与防护罩3连接的驱动机构10，机壳4靠近转轴7端设有内嵌防漏垫圈的开槽，防护罩3内靠近驱动机构10外端固定连接有壳体，壳体可以对驱动机构10起到良好的保护作用，避免清洁水进入驱动机构10内导致生锈。
[0021]驱动机构10由第二锥齿轮组件101、第二皮带轮组件102、齿轮组件103、不完全齿轮组件104、齿条105构成，第一皮带轮组件8与第二锥齿轮组件101连接，第二皮带轮组件
102、齿轮组件103均与防护罩3连接，齿条105与防护罩3滑动连接，齿条105通过连杆与喷头17固定连接，第二锥齿轮组件101与第二皮带轮组件102连接，第二皮带轮组件102与齿轮组件103连接，齿轮组件103与不完全齿轮组件104连接，不完全齿轮组件104与齿条105连接，第一皮带轮组件8通过第二锥齿轮组件101、第二皮带轮组件102、齿轮组件103、不完全齿轮组件104带动齿条105沿水平方向做往复运动，齿条105带动喷头17沿水平方向做往复运动，喷头17喷出的水对转动的晶圆表面进行往复清洁，使得对晶圆的清洁更为充分。
[0022]第一锥齿轮组件9下端连接有与防护罩3转动连接的伸缩杆组件11，伸缩杆组件11伸长侧底端连接有与底座1连接的第三皮带轮组件12，第三皮带轮组件12另一端连接有与底座1转动连接的承载盘13，底座1上侧靠近承载盘13外端固定连接有挡环14，底座1靠近挡环14内端固定连接有排液管15，机壳4下端固定连接有连接管16，连接管16底端固定连接有分别与防护罩3、驱动机构10连接的喷头17。伸缩杆组件11内侧伸长端及定位端均设有挡块，连接管16由伸缩性良好的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端固定连接有定位杆(2)，所述定位杆(2)上端滑动连接有防护罩(3)，所述防护罩(3)顶端固定连接有机壳(4)，所述机壳(4)上端固定连接有进液管(5)，所述机壳(4)内端转动连接有叶轮(6)，所述叶轮(6)一端同轴固定连接有与防护罩(3)转动连接的转轴(7)，所述转轴(7)远离机壳(4)端连接有与防护罩(3)连接的第一皮带轮组件(8)，所述第一皮带轮组件(8)下侧一端连接有第一锥齿轮组件(9)，所述第一皮带轮组件(8)下侧另一端连接有与防护罩(3)连接的驱动机构(10)，所述第一锥齿轮组件(9)下端连接有与防护罩(3)转动连接的伸缩杆组件(11)，所述伸缩杆组件(11)伸长侧底端连接有与底座(1)连接的第三皮带轮组件(12)，所述第三皮带轮组件(12)另一端连接有与底座(1)转动连接的承载盘(13)，所述底座(1)上侧靠近承载盘(13)外端固定连接有挡环(14)，所述底座(1)靠近挡环(14)内端固定连接有排液管(155)，所述机壳(4)下端固定连接有连接管(16)，所述连接管(16)底端固定连接有分别与防护罩(3)、驱动机构(10)连接的喷头(17)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗机的防喷溅装置，其特征在于：所述防护罩(...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖真方，
申请(专利权)人：武汉臻芯半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。