一种硅外延炉冷却水流量预警装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅外延炉冷却水流量预警装置，包括控制模块、流量传感器以及预警电路，所述流量传感器用于检测冷却水量并将其转化成电信号发送至控制模块，其特征在于：所述控制模块包括一个主控单元以及两个电磁继电器，两个继电器的线圈位于控制模块中，主控单元根据收到的冷却水量信号控制线圈的通断；电磁继电器的触点组位于预警电路中，且两个触点组之间也串联，在预警电路中设置有报警单元，当两个触点组均接通时，报警单元发出警报信号；两个电磁继电器中至少包含一个延时继电器。设备运行时，如果出现侦测器闪断现象，由于延时继电器的关系反馈信号就不会中断，设备不会出现报警停机，成功的改善了冷却水流量误报警现象。报警现象。报警现象。

【技术实现步骤摘要】
一种硅外延炉冷却水流量预警装置


[0001]本技术涉及LPE3061机台冷却水流量控制
，具体涉及一种硅外延炉冷却水流量预警装置。

技术介绍

[0002]目前LPE361外延设备，设备运行过程中的冷却方式为，利用水泵运转产生水流对设备反应腔进行冷却。由于外延工艺要求在1000～1100℃，反应温度高，冷却水非常重要，设备需要实时监控冷却水流量，确保反应腔温度稳定。在设备运行的过程中，会出现冷却水流量报警停机，但是工程师去现场检查时发现设备冷却水流量正常，并未出现流量过低的状况。
[0003]为了改善冷却水流量报警现象，监控机台冷却水流量侦测器运行状态，发现流量侦测器有闪断现象，侦测器闪断时设备就出现冷却水流量报警停机。根据此现象判断，此水流量报警为机台误报警，需要进行改良过滤。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种硅外延炉冷却水流量预警装置。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种硅外延炉冷却水流量预警装置，包括控制模块、流量传感器以及预警电路，所述流量传感器用于检测冷却水量并将其转化成电信号发送至控制模块，其特征在于：所述控制模块包括一个主控单元以及两个电磁继电器，两个继电器的线圈位于控制模块中，主控单元根据收到的冷却水量信号控制线圈的通断；电磁继电器的触点组位于预警电路中，且两个触点组之间也串联，在预警电路中设置有报警单元，当两个触点组均接通时，报警单元发出警报信号；两个电磁继电器中至少包含一个延时继电器。r/>[0006]进一步的，所述控制模块还包括供电模块以及MOS管，所述供电模块用于给线圈、主控单元以及MOS管供电，所述主控单元连接MOS管的g极，MOS管的s极接地，d极则连接电磁继电器的线圈。
[0007]进一步的，延时继电器的延时开关时间为5秒，延时继电器的线圈为断电延时线圈，触点组为常闭触点。
[0008]从上述技术方案可以看出本专利技术具有以下优点：设备运行时，如果出现侦测器闪断现象，由于延时继电器的关系反馈信号就不会中断，设备不会出现报警停机，成功的改善了冷却水流量误报警现象。
附图说明
[0009]图1为本技术的功能原理图。
具体实施方式
[0010]以下结合附图对本技术的具体实施方式做具体说明。
[0011]如图1所示，本技术的硅外延炉冷却水流量预警装置包括供电模块、控制模块、流量传感器以及预警电路。所述流量传感器用于检测冷却水量并将其转化成电信号发送至控制模块，可以在冷却水路中设置多个水流量传感器，取平均值，减少误差。控制模块包括一个主控单元、一个高压mos管以及两个电磁继电器，mos管以及可以采用NMOS管，高电压导通。主控单元可以采用ARM系统芯片等，主控单元根据采集的流量信号，输出电压信号至NMOS管的g极。两个继电器的线圈位于控制模块中。供电模块用于给线圈、主控单元以及MOS管等各单元供电，所述主控单元连接MOS管的g极，MOS管的s极接地，d极则连接电磁继电器的线圈。
[0012]电磁继电器的触点组位于预警电路中，且两个触点组之间串联，在预警电路中设置有报警单元，可以是蜂鸣器或者报警灯。当两个触点组均接通时，报警单元发出警报信号；两个电磁继电器中至少包含一个延时继电器，延时继电器的延时开关时间为5秒。
[0013]本实施例中，线圈采用断电延时线圈，触点组则采用常闭触点。当流量传感器出现流量正常减少时，主控模块的输出值MOS管的g极的电压减少，当低于阈值时，MOS管关闭，两个继电器均断电，触点闭合，报警器发出正常警报；当流量传感器出现流量瞬时减少时，g极的电压减少，当低于阈值时，MOS管关闭，继电器线圈均断电，此时常规电磁继电器的触头闭合，而延时继电器的触头并未闭合，此时不会发出警报。从而过滤波动信号。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅外延炉冷却水流量预警装置，包括控制模块、流量传感器以及预警电路，所述流量传感器用于检测冷却水量并将其转化成电信号发送至控制模块，其特征在于：所述控制模块包括一个主控单元以及两个电磁继电器，两个继电器的线圈位于控制模块中，主控单元根据收到的冷却水量信号控制线圈的通断；电磁继电器的触点组位于预警电路中，且两个触点组之间也串联，在预警电路中设置有报警单元，当两个触点组均接通时，报警单元发出警报信号；两个电磁继电器...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文，章瑜，顾广安，
申请(专利权)人：上海晶盟硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：