一种坩埚内表面打磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种坩埚内表面打磨装置，包括安装板、水平移动板、打磨组件、气缸，所述打磨组件与水平移动板配合安装，所述安装板上设有驱动水平移动板直线移动的移动组件，所述安装板对应设有驱动安装板升降的升降组件；所述气缸的壳体与水平移动板铰接，所述气缸的输出轴与打磨组件的一端铰接，所述打磨组件的另一端与水平移动板铰接。本实用新型专利技术有益效果：使用过程中不需要人工手持角磨机进行打磨，降低了劳动强度，提高了工作效率，降低了生产成本。产成本。产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚内表面打磨装置


[0001]本技术属于石英坩埚打磨
，尤其是涉及一种坩埚内表面打磨装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚作为单晶硅拉制重要的器具，其对拉晶成晶率、拉晶次数及晶棒品质有着重要影响。在单晶硅熔制过程中石英坩埚的石英砂会发生气化、待温度降低后会凝固成白色固体颗粒附着在坩埚内表面，这部分颗粒会提高坩埚内表面的粗糙度，因此石英坩埚使用一段时间后要对其内表面进行打磨，当前打磨石英坩埚内表面的作业模式是人工手持角磨机进行打磨，这样的操作模式存在以下问题：第一，工人劳动强度大，打磨效率低下，提高了生产成本；第二，人工打磨的过程磨掉的厚度不一致，导致打磨品质无法保证；第三，手持角磨机操作，操作人员存在被角磨机划伤的风险，影响操作过程的安全性。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种坩埚内表面打磨装置，以解决当前坩埚打磨作业中工人劳动强度大，打磨效率低下，生产成本高的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种坩埚内表面打磨装置，包括安装板、水平移动板、打磨组件、气缸，所述打磨组件与水平移动板配合安装，所述安装板上设有驱动水平移动板直线移动的移动组件，所述安装板对应设有驱动安装板升降的升降组件；所述气缸的壳体与水平移动板铰接，所述气缸的输出轴与打磨组件的一端铰接，所述打磨组件的另一端与水平移动板铰接。
[0006]进一步的，所述升降组件为垂直伺服直线模组，所述垂直伺服直线模组的壳体与设备支架固定连接，所述垂直伺服直线模组的滑台与安装板固定连接，所述设备支架上固设有垂直导轨，所述安装板上固设有与垂直导轨相匹配的垂直滑块，所述垂直滑块与垂直导轨配合安装。
[0007]进一步的，所述移动组件为水平伺服直线模组，所述水平伺服直线模组的壳体与安装板固定连接，所述水平伺服直线模组的滑台与水平移动板固定连接，所述水平移动板上固设有水平导轨，所述安装板上固设有与水平导轨相匹配的水平滑块，所述水平滑块与水平导轨配合安装。
[0008]进一步的，所述打磨组件通过缓冲组件与水平移动板配合安装，所述缓冲组件包括缓冲板、导向柱、压缩弹簧，所述平移动板上固设有与缓冲板对用的竖板，所述竖板上固设有导向安装块，所述导向柱的底端通过连接板与缓冲板的的底端固定连接，所述导向柱的顶端通过连接块与缓冲板的的顶端固定连接，所述导向安装块上固设有与导向柱相匹配的直线轴承一，所述导向柱安装于直线轴承一的内侧，所述压缩弹簧的直径小于导向安装块的边长，所述压缩弹簧安装于导向柱外侧，且位于导向安装块和连接板之间。
[0009]进一步的，所述打磨组件包括角磨机、与角磨机壳体固定安装的夹持件，所述夹持件沿角磨机壳体长度方向的一端与缓冲板铰接，另一端与气缸的输出轴铰接，所述气缸的
壳体与缓冲板铰接。
[0010]进一步的，所述连接板上端面上固设有压力传感器，所述压力传感器的上端对应设有压力板，所述压力板上固设有与导向柱相匹配的直线轴承二，所述导向柱安装于直线轴承二的内侧，所述压缩弹簧安装于压力板与导向安装块之间，所述压力传感器安装于连接板和压力板之间。
[0011]相对于现有技术，本技术的一种坩埚内表面打磨装置具有以下有益效果：
[0012](1)本技术的一种坩埚内表面打磨装置，使用过程中不需要人工手持角磨机进行打磨，降低了劳动强度，提高了工作效率，降低了生产成本。
[0013](2)本技术的一种坩埚内表面打磨装置，通过压力传感器的读数，并配合垂直直线模组的启停，可以调节磨片对待打磨坩埚内壁压力，使每次打磨的厚度一致，进而保证了打磨质量。
附图说明
[0014]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0015]图1为本技术实施例的装置立体结构示意图；
[0016]图2为本技术实施例的装置另外一角度的立体结构示意图；
[0017]图3为本技术实施例的缓冲组件安装侧视结构示意图；
[0018]图4为本技术实施例的缓冲组件剖面结构示意图。
[0019]附图标记说明：
[0020]1‑
设备支架；2
‑
垂直伺服直线模组；3
‑
垂直导轨；4
‑
垂直滑块；5
‑
安装板；6
‑
水平滑块；7
‑
水平导轨；8
‑
水平移动板；9
‑
水平伺服直线模组；10
‑
打磨组件；11
‑
缓冲组件；12
‑
竖板；13
‑
导向安装块；14
‑
直线轴承一；15
‑
压力传感器；16
‑
气缸；1001
‑
角磨机；1002
‑
夹持件；1101
‑
缓冲板；1102
‑
连接板；1103
‑
连接块；1104
‑
压力板；1105
‑
直线轴承二；1106
‑
压缩弹簧；1107
‑
导向柱。
具体实施方式
[0021]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安
装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0025]如图1至图4所示，一种坩埚内表面打磨装置，包括安装板5、水平移动板8、打磨组件10、气缸16，安装板5上设有驱动水平移动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：包括安装板(5)、水平移动板(8)、打磨组件(10)、气缸(16)，所述打磨组件(10)与水平移动板(8)配合安装，所述安装板(5)上设有驱动水平移动板(8)直线移动的移动组件，所述安装板(5)对应设有驱动安装板(5)升降的升降组件；所述气缸(16)的壳体与水平移动板(8)铰接，所述气缸(16)的输出轴与打磨组件(10)的一端铰接，所述打磨组件(10)的另一端与水平移动板(8)铰接。2.根据权利要求1所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述升降组件为垂直伺服直线模组(2)，所述垂直伺服直线模组(2)的壳体与设备支架(1)固定连接，所述垂直伺服直线模组(2)的滑台与安装板(5)固定连接，所述设备支架(1)上固设有垂直导轨(3)，所述安装板(5)上固设有与垂直导轨(3)相匹配的垂直滑块(4)，所述垂直滑块(4)与垂直导轨(3)配合安装。3.根据权利要求1所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述移动组件为水平伺服直线模组(9)，所述水平伺服直线模组(9)的壳体与安装板(5)固定连接，所述水平伺服直线模组(9)的滑台与水平移动板(8)固定连接，所述水平移动板(8)上固设有水平导轨(7)，所述安装板(5)上固设有与水平导轨(7)相匹配的水平滑块(6)，所述水平滑块(6)与水平导轨(7)配合安装。4.根据权利要求1所述的一种坩埚内表面打磨装置，其特征在于：所述打磨组件(10)通过缓冲组件(11)与水平移动板(8)配合安装，所述缓冲组件(11)包括缓冲板(1101)、导向柱(1107)、压缩弹簧(1106)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，姚长娟，杨骅，任志高，尹擎，杨恒，青格勒图，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：