一种镜片性能检测装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种镜片性能检测装置及其方法，涉及光学检测技术领域，镜片性能检测装置包括:本体；所述本体上设置有呈夹角布设的检测光路和准直光路；所述准直光路上依次设置的红光光源、指示环和检测台；所述检测台可水平转动地设置在所述检测光路和准直光路交点处；所述检测台上设置有用于调节被检测光学镜片的俯仰角度和/或左右摆转角度的铰接组件。本发明专利技术对于不同入射角度的光学镜片的反射率和透过率，均能快速测试出结果，具有可实际操作性，测量精度高，测量准确度高，传统的准直方法需要多组镜片配合使用，结构复杂，操作繁琐，而本发明专利技术中的准直装置结构简单，准直方法便捷。捷。捷。

【技术实现步骤摘要】
一种镜片性能检测装置及其方法


[0001]本专利技术涉及光学检测
，尤其是涉及一种用于准分子激光器镜片性能检测的装置及其方法。

技术介绍

[0002]光学镜片广泛应用于准分子激光器光路的多个重要位置，其中作为激光器的谐振腔镜片是影响激光器的主要性能参数之一，低性能的光学镜片会直接导致激光器能量变低，能量稳定性变差，同时也会导致激光器的光束质量变差，特别是光束的发散角变差，从而使激光器的光谱质量变差，因此光学镜片的性能检测显得尤为重要。
[0003]现有的镜片性能检测前常采用荧光纸测试对镜片的光路准直调整，效率低，且误差较大，进而导致检测时镜片的结果不准确；以及对于准分子激光器来说，准分子激光器属于深紫外激光，在空气中极易产上臭氧，传统的检测准分子激光器的光学镜片，需在空气中手动调节镜片的入射角度来对镜片的反射和透射率进行测试，误差较大；其次，激光长时间暴露在空气中测试镜片，激光产生臭氧，使经过镜片的能量变低，使镜片性能测试准确性变差，再次，测试使用的激光器由于能量高，无法对能量进行有效衰减，导致光学镜片测试误差变大。另一方面，激光高能量导致光学镜片的受热不均，也会使镜片的吸收率增加，导致镜片测试准确性降低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种镜片性能检测装置及其方法，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种镜片性能检测装置，包括:本体；
[0006]所述本体上设置有呈夹角布设的检测光路和准直光路；
[0007]所述准直光路上依次设置的红光光源、指示环和检测台；
[0008]所述检测台可水平转动地设置在所述检测光路和准直光路交点处；
[0009]所述检测台上设置有用于调节被检测光学镜片的俯仰角度和/ 或左右摆转角度的铰接组件。
[0010]铰接组件可以为现有技术，例如采用本申请人先前申请的专利号202022215676.6名称为“一种镜片调节装置及准分子激光器”。
[0011]进一步地，所述准直光路水平设置，自所述红光光源发出的红光穿过所述指示环中心。
[0012]进一步地，所述检测光路水平设置，且所述准直光路与所述检测光路处于同一水平面内。
[0013]进一步地，所述检测光路和准直光路之间的夹角范围为 30
‑
60
°
。
[0014]进一步地，所述检测光路上依次设置有激光光源、光阑、衰减片以及所述检测台。
[0015]优选地，所述光阑为可调光阑，用于限制检测激光光斑形状和均匀性，消除测试误
差。其中，可调光阑可限制激光光斑形状为矩形或圆形。
[0016]进一步地，所述本体为密闭箱体。
[0017]进一步地，还包括向所述箱体内输入设定气体以洁净光路和冷却光学镜片的管路。其中，优选地，所述设定气体为氮气或氦气。
[0018]进一步地，所述管路包括设置在所述箱体内的箱内管道，箱内管道与所述检测光路的平行设置；箱内管道上均匀开设有多个出气孔。
[0019]进一步地，所述箱内管道的数量为多个，且上下相对或左右相对地布设在所述检测光路的两侧。
[0020]进一步地，所述检测光路上所述衰减片与所述检测台之间设置有第二能量计，用于测量激光的入射能量。
[0021]进一步地，所述第二能量计可移出和移入所述检测光路地设置在所述本体上。
[0022]进一步地，还包括：用于带动所述第二能量计平动的入射电动平移台；入射电动平移台包括第四轨道、入射移动台面和入射平动电机；第二能量计设置在所述入射移动台面上；入射移动台面可滑动地设置在所述第四轨道上。
[0023]进一步地，还包括用于检测光学镜片的反射能量和/或透射能量的第五能量计。
[0024]进一步地，所述本体上设置有U型轨道，所述检测台布设在所述U型轨道的中间凹槽内，所述第五能量计可滑动地设置在所述U 型轨道上。
[0025]其中优选地，所述第五能量计通过电动平移台滑动地设置在所述U型轨道上。
[0026]进一步地，所述第五能量计包括设置在所述检测台上的光学镜片的背部用于测量激光的透射能量的第四能量计。
[0027]进一步地，包括与所述检测光路延长线呈夹角设置的第三轨道，所述第四能量计可水平移动地设置在所述第三轨道上。
[0028]进一步地，所述检测光路延长线与所述第三轨道之间的夹角为 30
‑
120
°
。
[0029]进一步地，还包括用于带动所述第四能量计平动的透射电动平移台；透射电动平移台包括：所述第三轨道、透射移动台面和透射平动电机；第四能量计设置在所述透射移动台面上；所述透射移动台面可滑动地设置在所述第三轨道。
[0030]进一步地，所述第五能量计包括用于测量激光的反射能量的反射能量计。
[0031]进一步地，在所述检测台上光学镜片的正面一侧，所述本体上设置有L型轨道，所述反射能量计可滑动地设置在所述L型轨道上。
[0032]其中优选地，所述反射能量计通过电动平移台滑动地设置在所述L型轨道上。
[0033]进一步地，所述反射能量计包括第一能量计和第三能量计，所述L型轨道包括呈夹角设置的第一轨道和第二轨道，第一能量计可水平滑动地设置在所述第一轨道上，第三能量计可水平滑动地设置在所述第二轨道上。
[0034]进一步地，所述第一轨道和第二轨道之间夹角为30
‑
120
°
。
[0035]更为优选地，所述第一轨道垂于所述检测光路，所述第二轨道平行于所述检测光路。
[0036]进一步地，还包括：用于带动所述第一能量计平动的第一反射电动平移台；第一反射电动平移台包括：所述第一轨道、第一反射移动台面和第一反射平动电机；第一能量计设置在所述第一反射移动台面上；第一反射移动台面可滑动地设置在所述第一轨道上；
[0037]和/或，用于带动所述第三能量计平动的第二反射电动平移台；第二反射电动平移台包括：所述第二轨道、第二反射移动台面和第二反射平动电机；第三能量计设置在所述第二反射移动台面上，第二反射移动台面可滑动地设置在所述第二轨道上。
[0038]其中优选地，所述第一轨道、第二轨道和第三轨道大体呈U型布设。
[0039]进一步地，所述第一能量计设置在所述激光光源的出口附近位置。
[0040]进一步地，还包括用于驱动所述检测台水平转动的旋转驱动机构，旋转驱动机构优选为电动旋转台；更为优选地，电动旋转台配置有用于显示角度的显示屏，或者，电动旋转台与电脑等控制机构连接，通过电脑等控制机构查看旋转角度或调节检测台的旋转角度和位置。
[0041]进一步地，所述箱体包括上盖板、底板以及四个侧板；上盖板、底板以及四个侧板中至少一块由透明玻璃制作而成，用于观察箱体内准直调试或镜片检测情况。
[0042]另外优选地，侧板或底板上可设置操作窗口或操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜片性能检测装置，其特征在于，包括:本体(1)；所述本体(1)上设置有呈夹角布设的检测光路(3)和准直光路(2)；所述准直光路(2)上依次设置的红光光源(7)、指示环(18)和检测台(20)；所述检测台(20)可水平转动地设置在所述检测光路(3)和准直光路(2)交点处；所述检测台(20)上设置有用于调节被检测光学镜片(19)的俯仰角度和/或左右摆转角度的铰接组件。2.根据权利要求1所述的镜片性能检测装置，其特征在于，所述准直光路(2)水平设置，自所述红光光源(7)发出的红光穿过所述指示环(18)中心；所述检测光路(3)水平设置，且所述准直光路(2)与所述检测光路(3)处于同一水平面内。3.根据权利要求2所述的镜片性能检测装置，其特征在于，所述检测光路(3)和准直光路(2)之间的夹角范围为30
‑
60
°
。4.根据权利要求1所述的镜片性能检测装置，其特征在于，所述检测光路(3)上依次设置有激光光源、光阑(12)、衰减片(13)以及所述检测台(20)。5.根据权利要求1所述的镜片性能检测装置，其特征在于，所述本体(1)为密闭箱体；还包括向所述箱体内输入设定气体以洁净光路的管路；所述管路包括设置在所述箱体内的箱内管道(30)，箱内管道(30)与所述检测光路(3)的平行设置；箱内管道(30)上均匀开设有多个出气孔。6.根据权利要求4所述的镜片性能检测装置，其特征在于，所述检测光路(3)上所述衰减片(13)与所述检测台(20)之间设置有第二能量计(15)，用于测量激光的入射能量。7.根据权利要求4所述的镜片性能检测装置，其特征在于，所述第二能量计(15)可移出和移入所述检测光路(3)地设置在所述本体(1)上。8.根据权利要求7所述的镜片性能检测装置，其特征在于，还包括：用于带动所述第二能量计(15)平动的入射电动平移台；入射电动平移台包括第四轨道(16)、入射移动台面(14)和入射平动电机(17)；第二能量计(15)设置在所述入射移动台面上；入射移动台面可滑动地设置在所述第四轨道(16)上。9.根据权利要求1所述的镜片性能检测装置，其特征在于，还包括用于检测光学镜片(19)的反射能量和/或透射能量的第五能量计(43)；优选地，所述本体(1)上设置有U型轨道(40)，所述检测台(20)布设在所述U型轨道(40)的中间凹槽内，所述第五能量计(43)可滑动地设置在所述U型轨道(40)上；优选地，所述第五能量计(43)包括设置在所述检测台(20)上的光学镜片(19)的背部用于测量激光的透射能量的第四能量计(27)；优选地，包括与所述检测光路(3)延长线呈夹角设置的第三轨道(25)，所述第四能量计(27)可水平移动地设置在所述第三轨道(25)上；优选地，所述检测光路(3)延长线与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，李祖友，詹绍通，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：