本发明专利技术涉及一种离子束机台的针筒定位装置，包括：转动安装于腔壳内的样品台的定位盘，定位盘间隔固设有若干定位板，定位板上开设有与喷针相匹配的定位孔，且若干定位孔的标高均不同；安装于腔壳的外侧壁的第一支架，第一支架开设有第一弧形槽；以及位置可调地安装于第一支架且与第一支架相对设置的第二支架，第二支架开设有第二弧形槽，且第二弧形槽与第一弧形槽围合形成供柱体通过的连通空间，通过向靠近第一支架的方向调节第二支架，使得第一支架和第二支架夹住柱体。本发明专利技术有效的解决了更换耗材后针筒安装费时费力的问题，通过利用针筒定位装置定位针筒，以减少安装针筒的时间，大大节约人力成本和时间成本，且该装置操作简单，易于实现。易于实现。易于实现。
【技术实现步骤摘要】
离子束机台的针筒定位装置及其定位方法
[0001]本专利技术涉及机械设备领域，特指一种离子束机台的针筒定位装置及其定位方法。
技术介绍
[0002]气体是修改线路时必不可少的耗材，修改线路时开挖钝化层、切不同材质的金属层走线或者镀线都需要用到不同的气体，每种气体都装在不同的针筒里，每次气体耗材用完的时候，需要将整支针筒拆卸下来，待耗材增添进去后再整支装回去，普通针筒分为两部分，上半部分是柱体，连接着一些控制线露在机台腔体外面，下半部分是喷针，伸入在机台腔体内。
[0003]针筒是通过卡板锁在机台腔壳上，由于每个针筒的安装的角度以及喷针的高低位置均不同，因此腔壳上的孔大于针筒的直径，使得不同角度的针筒能够伸入腔壳内，然而安装针筒的时候很难定位针筒，通常需要花费较长时间调节针筒位置。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种离子束机台的针筒定位装置及其定位方法，解决了更换耗材后针筒安装费时费力的问题，通过利用针筒定位装置定位针筒，以减少安装针筒的时间，大大节约人力成本和时间成本，且该装置操作简单，易于实现。
[0005]实现上述目的的技术方案是：
[0006]本专利技术提供了一种离子束机台的针筒定位装置，针筒包括伸入腔壳内的喷针以及连接于喷针且位于腔壳外的柱体，针筒定位装置包括：
[0007]转动安装于腔壳内的样品台的定位盘，定位盘间隔固设有若干定位板，定位板上开设有与喷针相匹配的定位孔，且若干定位孔的标高均不同；
[0008]安装于腔壳的外侧壁的第一支架，第一支架开设有第一弧形槽；以及
[0009]位置可调地安装于第一支架且与第一支架相对设置的第二支架，第二支架开设有第二弧形槽，且第二弧形槽与第一弧形槽围合形成供柱体通过的连通空间，通过向靠近第一支架的方向调节第二支架，使得第一支架和第二支架夹住柱体。
[0010]本专利技术提供了一种离子束机台的针筒定位装置，在针筒拆下前，转动定位盘，找到一个能够让喷针穿过的标高的定位孔，固定定位盘，并调节第二支架的位置，使得第二支架和第一支架夹住柱体，记录此时第二支架的位置，拆下针筒并添加气体耗材后，将探针穿设于之前确定的定位孔以定位探针的角度，进而移动第二支架至记录的位置，使得第一支架和第二支架夹住柱体以定位柱体的角度，从而用两个点定位整个针筒，解决了更换耗材后针筒安装费时费力的问题，通过利用针筒定位装置定位针筒，以减少安装针筒的时间，大大节约人力成本和时间成本，且该装置操作简单，易于实现。
[0011]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的进一步改进在于，还包括一端固定于第一支架且另一端延伸至第二支架的连接板、开设于连接板靠近第二支架的位置且沿连接板的长度方向延伸的条形孔以及穿过条形孔且螺合于第二支架的螺栓；
[0012]通过螺栓沿条形孔移动，使得第二支架靠近第一支架，从而第二支架与第一支架夹住柱体。
[0013]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的进一步改进在于，还包括划刻于条形孔的边沿的刻度尺。
[0014]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的进一步改进在于，连接板设置有两个且分别位于第一支架和第二支架的相对的两侧。
[0015]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的进一步改进在于，第一支架包括高度可调且相对固设于腔壳的两根第一固定杆以及安装于两根第一固定杆的顶面的第一固定板，第一弧形槽开设于第一固定板靠近第二支架的位置。
[0016]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的进一步改进在于，第二支架包括高度可调且安装于腔壳的第二固定杆以及安装于第二固定杆的顶面的第二固定板，第二弧形槽开设于第二固定板靠近第一支架的位置。
[0017]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的进一步改进在于，第一固定杆和第二固定杆为液压伸缩杆。
[0018]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的进一步改进在于，若干定位板沿定位盘的径向设置。
[0019]本专利技术提供了一种离子束机台的针筒定位装置的定位方法，包括如下步骤：
[0020]提供针筒定位装置，在拆下针筒前，转动定位盘，使得喷针穿设于对应标高的定位孔，固定定位盘；
[0021]调节第二支架的位置，使得第一支架和第二支架夹住柱体，记录此时第二支架的位置为目标位置，进而调节第二支架的位置，以松开柱体，将针筒拆下；
[0022]向针筒内添加气体耗材后，将针筒的喷针伸入腔壳内并穿设于定位孔，进而调节第二支架的位置至目标位置，使得第一支架和第二支架夹住柱体，从而定位针筒。
[0023]本专利技术离子束机台的针筒定位装置的定位方法的进一步改进在于，还包括一端固定于第一支架的连接板、开设于连接板的另一端的条形孔、穿设于条形孔且螺合于第二支架的螺栓以及划刻于条形孔的边沿的刻度尺；
[0024]通过螺栓沿条形孔移动直至第一支架与第二支架夹住柱体，记录此时螺栓的刻度，针筒添加气体耗材后，将螺栓移动至记录的刻度处，使得第一支架与第二支架夹住柱体，从而定位柱体。
附图说明
[0025]图1为本专利技术离子束机台的针筒定位装置的侧面剖视图。
[0026]图2为本专利技术离子束机台的针筒定位装置中定位盘部分的俯视图。
[0027]图3为本专利技术离子束机台的针筒定位装置中定位盘部分的侧视图。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明。
[0029]参阅图1，本专利技术提供了一种离子束机台的针筒定位装置及其定位方法，在针筒拆下前，转动定位盘，找到一个能够让喷针穿过的标高的定位孔，固定定位盘，并调节第二支
架的位置，使得第二支架和第一支架夹住柱体，记录此时第二支架的位置，拆下针筒并添加气体耗材后，将探针穿设于之前确定的定位孔以定位探针的角度，进而移动第二支架至记录的位置，使得第一支架和第二支架夹住柱体以定位柱体的角度，从而用两个点定位整个针筒，解决了更换耗材后针筒安装费时费力的问题，通过利用针筒定位装置定位针筒，以减少安装针筒的时间，大大节约人力成本和时间成本，且该装置操作简单，易于实现。下面结合附图对本专利技术离子束机台的针筒定位装置进行说明。
[0030]参阅图1，图1为本专利技术离子束机台的针筒定位装置的侧面剖视图。下面结合图1，对本专利技术离子束机台的针筒定位装置进行说明。
[0031]如图1～3所示，本专利技术的离子束机台的针筒定位装置，针筒21包括伸入腔壳内的喷针212以及连接于喷针212且位于腔壳外的柱体211，针筒定位装置包括：
[0032]转动安装于腔壳23内的样品台22的定位盘14，定位盘14间隔固设有若干定位板141，定位板141上开设有与喷针212相匹配的定位孔1411，且若干定位孔1411的标高均不同；
[0033]安装于腔壳23的外侧壁的第一支架11，第一支架11开设有第一弧形槽；以及
[0034]位置可调地安装于第一支架11且与第一支架11相对设置的第二支架12，第二支架12开设有第二弧形槽，且第二弧形槽与第一弧形槽围合形本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种离子束机台的针筒定位装置，针筒包括伸入腔壳内的喷针以及连接于所述喷针且位于所述腔壳外的柱体，其特征在于，所述针筒定位装置包括：转动安装于所述腔壳内的样品台的定位盘，所述定位盘间隔固设有若干定位板，所述定位板上开设有与所述喷针相匹配的定位孔，且若干所述定位孔的标高均不同；安装于所述腔壳的外侧壁的第一支架，所述第一支架开设有第一弧形槽；以及位置可调地安装于所述第一支架且与所述第一支架相对设置的第二支架，所述第二支架开设有第二弧形槽，且所述第二弧形槽与所述第一弧形槽围合形成供所述柱体通过的连通空间，通过向靠近所述第一支架的方向调节所述第二支架，使得所述第一支架和所述第二支架夹住所述柱体。2.如权利要求1所述的离子束机台的针筒定位装置，其特征在于，还包括一端固定于所述第一支架且另一端延伸至所述第二支架的连接板、开设于所述连接板靠近所述第二支架的位置且沿所述连接板的长度方向延伸的条形孔以及穿过所述条形孔且螺合于所述第二支架的螺栓；通过所述螺栓沿所述条形孔移动，使得所述第二支架靠近所述第一支架，从而所述第二支架与所述第一支架夹住所述柱体。3.如权利要求2所述的离子束机台的针筒定位装置，其特征在于，还包括划刻于所述条形孔的边沿的刻度尺。4.如权利要求2所述的离子束机台的针筒定位装置，其特征在于，所述连接板设置有两个且分别位于所述第一支架和所述第二支架的相对的两侧。5.如权利要求1所述的离子束机台的针筒定位装置，其特征在于，所述第一支架包括高度可调且相对固设于所述腔壳的两根第一固定杆以及安装于两根所述第一固定杆的顶面的第一固定板，所述第一弧形槽开设于所述第一固定板靠近所述第二支架的位置。6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘宝露，邱冠雄，宋维都，
申请(专利权)人：苏试宜特深圳检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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