【技术实现步骤摘要】
一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具
[0001]本技术属于治具的
，尤其涉及一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具。
技术介绍
[0002]在半导体刻蚀设备以及外延设备中会用到很多精密石英环类部件，这些环类部件基本上都与工艺气体直接接触，因此对该类石英部件的表面清洗有最高的要求，防止因石英表面残留对晶圆表面造成污染，在清洗时需要将石英部件放置在工装治具上进行固定。由于生产工艺的差异，需要将多规格外径的石英环类部件放置在同一条洗净线进行清洗。现有的工装治具存在只能装夹一种规格尺寸的石英环类部件装夹，装夹尺寸不易调节，影响洗净效率等问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的就是解决
技术介绍
中的问题，提出一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，能够使装夹尺寸可调节，满足不同尺寸产品装夹需求。
[0004]为实现上述目的，本技术提出了一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，包括支架、活动板、安装在支架上的固定板，所述固定板和活动板均设有若干卡爪，固定板和活动板上相邻的两个卡爪之间形成有卡槽，所述...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，包括支架、安装在支架上的固定板，其特征在于：还包括活动板，所述固定板和活动板均设有若干卡爪，固定板和活动板上相邻的两个卡爪之间形成有卡槽，所述活动板活动安装在固定板上并在移动到预定位置后用紧固件固定，活动板沿固定板移动过程中活动板的卡爪会遮挡住固定板上的部分卡槽以装夹不同尺寸的产品。2.如权利要求1所述的适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，其特征在于：所述固定板上设有导向柱，所述活动板上设有滑槽，活动板安装在固定板后导向柱配合穿过滑槽，活动板移动过程中导向柱沿滑槽线性移动。3.如权利要求2所述的适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，其特征在于：所述紧固件为锁紧螺母，所述导向柱上设有外螺纹，锁紧螺母与导向柱螺纹连接。4.如权利要求1所述的适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，其特征在于：还包括支撑座和活动座，所述支撑座的两端安装在支架上并位于固定板的下方，所述活动座活动安装在支撑座上，所述活动座和支撑座上均设有限位安装槽。5.如权利要求4所述的适用于不同尺寸产品装夹的工装治具，其特征在于：所述活动座...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢旭彬，吴强，吴平，
申请(专利权)人：宁波云德半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。