一种半导体制程高温槽体制造技术

本实用新型专利技术涉及一种半导体制程高温槽体，所述高温槽体，包括：槽体，药液位于槽体内腔；保温外壳部件，其包覆在所述槽体外部并与所述槽体之间形成加热腔；加热器，其传热部件设于所述加热腔内，所述加热腔设有常温氮气入口和氮气出口；药液控温部件，其包括位于所述槽体内的氮气盘管、设于所述氮气盘管上的氮气出孔以及为其供入常温氮气的氮气管。本实用新型专利技术具有高温药液稳定性能好及外排方便的优点。有高温药液稳定性能好及外排方便的优点。有高温药液稳定性能好及外排方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程高温槽体


[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种半导体制程高温槽体。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，经常使用高温药液(酸、碱)来做晶圆清洗、蚀刻、去胶等，在多次使用后需做更换药液(酸、碱)，但由于温度过高，一般市面上使用的排放管及排放装置无法承受过高温度，或在多次排放后造成机台设备损坏，更甚至造成人体危害。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供了一种半导体制程高温槽体，从而解决或者至少缓解了现有技术中存在的上述问题和其他方面的问题中的一个或多个。
[0004]本技术的一个方面还提供了一种高温槽体，包括：
[0005]槽体，药液位于槽体内腔；
[0006]保温外壳部件，其包覆在所述槽体外部并与所述槽体之间形成加热腔；
[0007]加热器，其传热部件设于所述加热腔内，所述加热腔设有常温氮气入口和氮气出口；
[0008]药液控温部件，其包括位于所述槽体内的氮气盘管、设于所述氮气盘管上的氮气出孔以及为其供入常温氮气的氮气管。
[0009]在根据本技术的一种高温槽体，可选地，所述氮气盘管位于所述槽体的内底部，所述氮气出孔均匀分布。
[0010]在根据本技术的一种高温槽体，可选地，所述氮气管设置一对，并分别对应于所述氮气盘管的两端设置，且所述氮气管被固定在所述槽体内壁面上。
[0011]在根据本技术的一种高温槽体，可选地，所述氮气盘管设置成与所述槽体内腔形状相适配。
[0012]在根据本技术的一种高温槽体，可选地，所述加热器为陶瓷加热器，其紧贴在所述槽体，且所述加热腔内填充保温棉将所述加热器包覆。
[0013]根据本技术的半导体制程高温槽体控温方法中，通过利用常温氮气与高温药液进行热交换，以控制高温药液的温度，尤其是在高温药液的温度接近需求温度时，利用该种方式可防止高温药液快速升温导致超过需求温度，并达到稳定药液温度的效果。
[0014]根据本技术的半导体制程高温槽体控温方法中，在关闭加热器之后，通过利用常温氮气与加热器热交换，可通过稳定加热器的温度，在对加热器控温的同时，具备稳定药液温度的优点。
[0015]在根据本技术的半导体制程高温槽体控温方法中，在排放药液之前，利用常温氮气对加热器以及高温药液进行快速降温，可降低药液排放时的温度。当药液温度达到排放管路及阀件的适宜温度后，再对其进行排放，不易损坏药液排放管路及相关阀件。
[0016]在根据本技术的高温槽体中，通过将加热器设置在保温外壳部件与槽体表面
之间形成的加热腔内，同时，将氮气盘管设置在槽体内，并在其上设置氮气出孔。具备加热性能稳定、降温效果好以及控温效果好的优点。
附图说明
[0017]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分。本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请范围的限制。在附图中：
[0018]图1是一个根据本技术的高温槽体整体示意图。
[0019]图2是一个根据本技术的高温槽体的侧视图
[0020]图3是一个根据本技术的高温槽体的拆分示意图。
具体实施方式
[0021]首先，需要说明的是，以下将以示例方式来说明根据本技术的一种半导体制程高温槽体的结构组成、特点和优点等，然而所有的描述不应用于对本技术形成任何限制。
[0022]在本文中，技术术语“第一”、“第二”仅是用于进行区分性表述目的而无意于表示它们的顺序和相对重要性。对于在本文中所提及的实施例中予以描述或隐含的任意单个技术特征，或者被显示或隐含在各附图中的任意单个技术特征，本技术仍然允许在这些技术特征或其等同物之间继续进行任意组合或者删减而不存在任何的技术障碍，从而应当认为这些根据本技术的更多实施例也是在本文的额记载范围之内。另外，为了简化图面起见，相同或相类似的零部件和特征在同一附图中可能仅在一处或若干处进行标示。
[0023]本技术的一个方面提供了一种半导体制程高温槽体控温方法，用于控制半导体制程中高温槽体内部药液的温度，该方法通过在加热器3对药液加热至温度提升近需求温度时，利用常温的氮气与药液的热交换以控制药液的温度。可防止药液温度提升过快导致超过需求温度的情况出现，进而达到稳定药液温度的效果。
[0024]其中，在药液温度稳定之后，关闭加热器3并利用常温氮气与加热器3的热交换，以稳定加热器3的温度并对加热器3控温。由于在加热器3运行过程中，其自身的温度要高出药液需求温度很多，因此，为了防止加热器3对药液温度的影响，在药液温度稳定之后，利用常温氮气稳定加热器3的温度至合适温度，能够更加有利于药液温度的控温。
[0025]进一步的，结合实际实用情况，对药液及对加热器3的控温可配合实用，以更好的控制药液处于稳定的温度。
[0026]其中，常温的氮气在与药液进行热交换时，可直接通入药液内与药液混合，然后被排出，提高换热效率，并达到更好的控温效果。且对加热器3控温时，常温氮气可直接与加热器3的传热部件热交换并排出，以获得更好的温控效果。
[0027]如图1至图3所示，本技术的另一个方面提供了一种高温槽体，包括：
[0028]槽体1，药液位于槽体1内，可采用石英槽体1，以装载绝大部分药液酸、碱，并能够在高温状态下保持整体完整，且不会析出任何污染药液的成分；
[0029]保温外壳部件2，其包覆在槽体1外部并与槽体1之间形成加热腔；
[0030]加热器3，其传热部件设于加热腔内，加热腔设有常温氮气入口4和氮气出口5；常温氮气从氮气入口4进入加热器3，与加热器3热交换之后从氮气出口5排出；
[0031]药液控温部件6，其包括位于槽体1内的氮气盘管61、设于氮气盘管61上的氮气出孔62以及为其供入常温氮气的氮气管63。常温氮气从氮气管63进入氮气盘管61内，并由氮气盘管61上的氮气出孔62排出，该部分常温氮气会直接进入药液内与药液混合，并与药液进行热交换，提高控温效果。
[0032]其中，氮气盘管61位于槽体1的内底部，氮气盘管61设置成与槽体1内腔形状相适配，氮气出孔62均匀分布。氮气出孔62在平行于槽体1内底部的平面上均匀分布。氮气盘管61使用耐高温材料，内部持续吹出的氮气使得槽体1内的药液酸、碱持续翻滚，达到控温效果。
[0033]氮气管63设置一对，并分别对应于氮气盘管61的两端设置，且氮气管63被固定在槽体1内壁面上。加热器3为陶瓷加热器3，其紧贴在槽体1，且加热腔内填充保温棉7将加热器3包覆。
[0034]以上仅以举例方式来详细阐明根据本技术的双玻双面光伏组件。这些个例仅供说明本技术的原理及其实施方式之用，而非对本技术的限制。在不脱离本技术的精神和范围的情况下，本领域技术人员还可以作出各种变形和改进。因此，所有等同的技术方案均应属于本技术的范畴并为本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高温槽体，其特征在于，包括：槽体(1)，药液位于槽体(1)内腔；保温外壳部件(2)，其包覆在所述槽体(1)外部并与所述槽体(1)之间形成加热腔；加热器(3)，其传热部件设于所述加热腔内，所述加热腔设有常温氮气入口(4)和氮气出口(5)；药液控温部件(6)，其包括位于所述槽体(1)内的氮气盘管(61)、设于所述氮气盘管(61)上的氮气出孔(62)以及为其供入常温氮气的氮气管(63)。2.如权利要求1所述的高温槽体，其特征在于，所述氮气盘管(61)位于所述槽体(1)的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宇丞，高长风，
申请(专利权)人：捷成微系统惠州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：