阵列基板及电子纸显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开一种阵列基板及电子纸显示装置。在一具体实施方式中，阵列基板包括位于衬底上的栅线和数据线，栅线和数据线交叉限定出多个像素区域，多个像素区域构成显示区，像素区域包括位于衬底上的双栅极薄膜晶体管和像素电极，双栅极薄膜晶体管包括第一栅极、第二栅极、第一电极、桥接电极和第二电极，第一栅极与第一电极、桥接电极之间设置有第一有源区，第二栅极与桥接电极、第二电极之间设置有第二有源区；第一有源区的朝向衬底一侧的膜层形成有第一斜面和/或第二有源区的朝向衬底一侧的膜层形成有第二斜面，第一有源区的至少部分形成在第一斜面上和/或第二有源区的至少部分形成在第二斜面上。该实施方式可提升像素开口率。素开口率。素开口率。

【技术实现步骤摘要】
阵列基板及电子纸显示装置


[0001]本专利技术涉及显示
更具体地，涉及一种阵列基板及电子纸显示装置。

技术介绍

[0002]基于电泳显示技术(Electrophoretic Display，EPD)的电子纸显示装置，是一种利用自然环境光反射实现显示，无需背光源支持的显示产品。因其具备低功耗、高可视角、高便携性、可挠性强、衬底材料局限性小等优势，目前在家居、交通、商业、教育和娱乐等场景中广泛应用，例如超市中常见的电子货架标签(Electronic Shelf Label，ESL)。目前，已有的电子纸显示装置由于对阵列基板的存储电容和漏电流等性能需求，存在像素开口率低等问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种阵列基板及电子纸显示装置，以解决现有技术存在的问题中的至少一个。
[0004]为达到上述目的，本专利技术采用下述技术方案：
[0005]本专利技术第一方面提供了一种阵列基板，用于电子纸显示装置，所述阵列基板包括位于衬底上的栅线和数据线，所述栅线和所述数据线交叉限定出多个像素区域，所述多个像素区域构成显示区，所述像素区域包括位于所述衬底上的双栅极薄膜晶体管和像素电极，所述双栅极薄膜晶体管包括第一栅极、第二栅极、第一电极、桥接电极和第二电极，所述第一栅极与所述第一电极、所述桥接电极之间设置有第一有源区，所述第二栅极与所述桥接电极、所述第二电极之间设置有第二有源区；所述第一有源区的朝向所述衬底一侧的膜层形成有第一斜面和/或所述第二有源区的朝向所述衬底一侧的膜层形成有第二斜面，所述第一有源区的至少部分形成在所述第一斜面上和/或所述第二有源区的至少部分形成在所述第二斜面上。
[0006]可选地，所述像素电极包括金属电极。
[0007]可选地，所述第一栅极、所述第二栅极与所述像素电极同层设置。
[0008]可选地，所述阵列基板还包括位于显示区外围的转接区，所述转接区的转接孔采用与所述金属电极同层设置的金属层与外围电路电连接。
[0009]可选地，所述阵列基板还包括公共电极和绝缘层，所述第一电极和所述公共电极同层设置在所述衬底上，所述绝缘层覆盖所述第一电极和所述公共电极，所述第一有源区和所述第二有源区同层设置在所述绝缘层上，所述绝缘层设置有露出所述第一电极以使得所述第一电极与所述第一有源区电连接的第一开口。
[0010]可选地，所述绝缘层具有凸起部以形成所述第一斜面和所述第二斜面。
[0011]可选地，所述第一有源区和所述第二有源区连通，所述桥接电极设置在所述连通的位置上，所述第二电极设置在露出的绝缘层上且与所述第二有源区电连接。
[0012]可选地，所述阵列基板还包括覆盖露出的第一有源区、露出的第二有源区、桥接电
极、第二电极和露出的绝缘层的钝化层，所述像素电极设置在所述钝化层上，所述钝化层设置有露出所述第二电极以使得所述第二电极与所述像素电极电连接的第二开口。
[0013]可选地，所述第一栅极、所述第二栅极与所述像素电极同层设置在所述钝化层上。
[0014]可选地，所述像素电极包括金属电极和设置在所述金属电极上的第一金属氧化物薄膜；所述第一栅极、所述第二栅极与金属电极同层设置在所述钝化层上，第一栅极包括第一金属栅极和设置在所述第一金属栅极上的第二金属氧化物薄膜，第二栅极包括第二金属栅极和设置在所述第二金属栅极上的第三金属氧化物薄膜。
[0015]可选地，所述阵列基板还包括位于显示区外围的转接区，所述转接区的转接孔采用与所述金属电极同层设置的金属层与外围电路电连接，所述阵列基板还包括设置在所述金属层上的第四金属氧化物薄膜。
[0016]可选地，所述第一有源区和所述第二有源区形成于有源层中，所述有源层在所述衬底上的正投影覆盖所述像素电极在所述衬底上的正投影。
[0017]本专利技术第二方面提供一种电子纸显示装置，包括本专利技术第一方面提供的阵列基板。
[0018]本专利技术的有益效果如下：
[0019]本专利技术所述技术方案，将双栅极薄膜晶体管设计为三维立体器件，缩小双栅极薄膜晶体管的尺寸，具体为缩小了双栅极薄膜晶体管在平行于衬底的平面内的面积，进而在保证双栅极薄膜晶体管的沟道宽长比的情况下，缩减了双栅极薄膜晶体管在像素区域中的面积占比，从而可以提升像素电极在像素区域中的面积占比，提升像素开口率，改善残像(Ghosting)等不良。
附图说明
[0020]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0021]图1示出已有电子纸显示装置中的阵列基板的像素区域的双栅极薄膜晶体管位置的示意图。
[0022]图2示出本专利技术实施例提供的电子纸显示装置中的阵列基板的像素区域的双栅极薄膜晶体管位置的一示意图。
[0023]图3示出图2所示的阵列基板的像素区域的俯视透视图。
[0024]图4
‑
图7示出本专利技术实施例提供的一种制作图2所示的电子纸显示装置中的阵列基板的方法对应的各阶段的示意图。
[0025]图8示出本专利技术实施例提供的电子纸显示装置中的阵列基板的像素区域的双栅极薄膜晶体管位置的另一示意图。
[0026]图9和图10示出示出本专利技术实施例提供的一种制作图8所示的电子纸显示装置中的阵列基板的方法对应的各阶段的示意图。
[0027]图11示出本专利技术实施例提供的电子纸显示装置中的阵列基板的转接区的示意图。
具体实施方式
[0028]本专利技术中所述的“在
……
上”、“在
……
上形成”和“设置在
……
上”可以表示一层直接形成或设置在另一层上，也可以表示一层间接形成或设置在另一层上，即两层之间还存
在其它的层。
[0029]需要说明的是，虽然术语“第一”、“第二”等可以在此用于描述各种部件、构件、元件、区域、层和/或部分，但是这些部件、构件、元件、区域、层和/或部分不应受到这些术语限制。而是，这些术语用于将一个部件、构件、元件、区域、层和/或部分与另一个相区分。因而，例如，下面讨论的第一部件、第一构件、第一元件、第一区域、第一层和/或第一部分可以被称为第二部件、第二构件、第二元件、第二区域、第二层和/或第二部分，而不背离本专利技术的教导。
[0030]在本专利技术中，除非另有说明，所采用的术语“同层设置”指的是两个层、部件、构件、元件或部分可以通过相同制备工艺(例如构图工艺等)形成，并且，这两个层、部件、构件、元件或部分一般由相同的材料形成。例如两个或更多个功能层同层设置指的是这些同层设置的功能层可以采用相同的材料层并利用相同制备工艺形成，从而可以简化显示基板的制备工艺。
[0031]在本专利技术中，除非另有说明，表述“构图工艺”一般包括光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀、光刻胶的剥离等步骤。表述“一次构图工艺”意指使用一块掩模板形成图案化的层、部件、构件等的工艺。
[0032]目前，已有的电子纸显示装置由于对阵列基板的存储电容和漏电流等性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，用于电子纸显示装置，所述阵列基板包括位于衬底上的栅线和数据线，所述栅线和所述数据线交叉限定出多个像素区域，所述多个像素区域构成显示区，其特征在于，所述像素区域包括位于所述衬底上的双栅极薄膜晶体管和像素电极，所述双栅极薄膜晶体管包括第一栅极、第二栅极、第一电极、桥接电极和第二电极，所述第一栅极与所述第一电极、所述桥接电极之间设置有第一有源区，所述第二栅极与所述桥接电极、所述第二电极之间设置有第二有源区；所述第一有源区的朝向所述衬底一侧的膜层形成有第一斜面和/或所述第二有源区的朝向所述衬底一侧的膜层形成有第二斜面，所述第一有源区的至少部分形成在所述第一斜面上和/或所述第二有源区的至少部分形成在所述第二斜面上。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述像素电极包括金属电极。3.根据权利要求1或2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一栅极、所述第二栅极与所述像素电极同层设置。4.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括位于显示区外围的转接区，所述转接区的转接孔采用与所述金属电极同层设置的金属层与外围电路电连接。5.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述阵列基板还包括公共电极和绝缘层，所述第一电极和所述公共电极同层设置在所述衬底上，所述绝缘层覆盖所述第一电极和所述公共电极，所述第一有源区和所述第二有源区同层设置在所述绝缘层上，所述绝缘层设置有露出所述第一电极以使得所述第一电极与所述第一有源区电连接的第一开口。6.根据权利要求5所述的阵列基板，其特征在于，所述绝缘层具有凸起部以形成所述第一斜面和所述第二斜面。7.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：席文星，邹振游，王为旺，余雪，王洋，林滨，李增荣，谢鑫，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：