X射线产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术的X射线产生装置(1)具备：电子枪(2)，其出射电子束(EB)；目标部(K)，其以因电子束(EB)的入射而产生X射线(L)的多个长条的目标(22)为相互平行的方式配置；框体(4)，其容纳电子枪(2)及目标部(K)；及X射线出射窗(5)，其设置于框体(4)，使在目标部(K)产生的X射线(L)出射至框体(4)的外部，目标部(K)中，目标(22)配置成以相对于电子束(EB)的出射轴的规定的倾斜角度(θ1)而与电子枪(2)相对，X射线出射窗(5)以在可透过沿与目标部(K)垂直的方向产生的X射线(L)的位置，相对于目标部(K)以规定的倾斜角度(θ2)相对的方式配置。的倾斜角度(θ2)相对的方式配置。的倾斜角度(θ2)相对的方式配置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线产生装置


[0001]本公开涉及一种X射线产生装置。

技术介绍

[0002]作为现有的X射线产生装置，例如有专利文献1记载的X射线干涉成像系统。该现有的X射线产生装置具有通过在金刚石基板埋入钨等多种金属而构成的目标部。自电子枪出射的电子束以一定的倾斜角度相对于目标部入射。X射线出射窗相对于目标部平行地配置，在目标部产生的X射线在X射线出射窗中自该目标部沿垂直方向出射。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本专利特表2017
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514583号公报

技术实现思路

专利技术想要解决的问题
[0004]将X射线产生装置与显像管等的摄像装置组合的情况下，为充分确保显像管等的对象物的摄影图像的对比度，优选在X射线出射窗中使X射线自目标部沿垂直方向出射。另外，在显像管等获得的对象物的X射线图像的放大率通过X射线焦点与摄像位置之间的距离(FID：Focus to Image Distance)相对于X射线焦点(X射线产生位置)与对象物之间的距离(FOD：Focus to Object Distance)的比而确定。因此，在X射线产生装置中，优选具备更小的FOD。
[0005]上述的专利文献1的结构中，为了在X射线出射窗使X射线自目标部沿垂直方向出射，且获得更小的FOD，必须缩小配置有电子枪的X射线出射窗与目标部之间的空间。该情况下，电子枪与目标部之间的配置关系变化，使电子束以更接近平行的角度相对于目标部入射。然而，考虑到若电子束相对于目标部的入射角度接近平行，则电子束容易在目标部的表面反射而未入射至目标部的内部。该情况下，电子束有助于X射线产生的比例、即入射至目标部的电子束向X射线的转换效率降低，会产生X射线的产生效率降低的问题。
[0006]本公开是为解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种可获得所期望的对比度及FOD，且可获得充分的X射线的产生效率的X射线产生装置。解决问题的技术手段
[0007]本公开的一方式的X射线产生装置，具备：电子枪部，其出射电子束；目标部，其以因电子束的入射而产生X射线的多个长条的目标为相互平行的方式配置；框体部，其容纳电子枪部及目标部；及X射线出射窗部，其设置于框体部，使在目标部产生的X射线出射至框体部的外部，目标部中，目标配置成以相对于电子束的出射轴的规定的倾斜角度而与电子枪部相对，X射线出射窗部以在可透过沿与目标部垂直的方向产生的X射线的位置，相对于目标部以规定的倾斜角度相对的方式配置。
[0008]在该X射线产生装置中，在可透过沿与目标部垂直的方向产生的X射线的位置设置
有X射线出射窗部，在该位置，以相对于目标部以规定的倾斜角度相对的方式配置有X射线出射窗部。根据这样的X射线出射窗部的配置，在该X射线产生装置中，无须使电子束相对于目标的入射角度接近平行，即可自X射线出射窗部取出沿与目标部垂直的方向产生的X射线。因此，可获得所期望的对比度及FOD，且可获得充分的X射线的产生效率。
[0009]也可为，X射线产生装置具备：目标部支撑部，其以使目标以相对于电子束的出射轴的规定的倾斜角度而与电子枪部相对的方式支撑目标部，目标部的至少一部分以埋设于目标部支撑部的状态被支撑。该情况下，可将通过电子束的入射而在目标部产生的热高效地传递至目标部支撑部。因此，可抑制目标的消耗。
[0010]也可为，目标的至少一部分抵接于目标部支撑部。该情况下，可将通过电子束的入射而在目标产生的热直接传递至目标部支撑部。因此，可进一步抑制目标的消耗。
[0011]也可为，框体部具有容纳目标部支撑部的支撑部容纳部，支撑部容纳部具有：孔部，其将来自电子枪部的电子束向目标部导入；及窗部保持部，其包围目标部支撑部，且保持X射线出射窗部。如此，通过将孔部及窗保持部组合而构成支撑部容纳部，可兼顾相对于目标部的适当的电子入射及适当的X射线出射窗部的配置。
[0012]也可为，窗部保持部具备：固定部，其固定有X射线出射窗部；及凸部，其以包围固定部的方式自框体的内侧向外侧突出。该情况下，即使反射电子(例如起因于在目标部等反射的电子束的电子等)入射至X射线出射窗部或固定部而产生热，也可通过将该热传递至热容量较大的凸部而抑制所谓X射线出射窗部或固定部的破损的不良影响。
[0013]也可为，孔部的厚度大于固定部的厚度。该情况下，可增大孔部的热容量。因此，可抑制例如来自电子枪的电子束中的入射至孔部的电子引起的热的影响。
[0014]支撑部容纳部具备与目标部支撑部的基端部分热耦合的散热部，散热部的厚度大于凸部及孔部的厚度的至少一个。该情况下，通过将在目标部产生的热传递至目标部支撑部，并将该热传递至热容量较大的散热部，可有效地除去在目标部产生的热。
[0015]也可为，在支撑部容纳部的壁部内，设置有使冷却介质循环的冷却部。通过在冷却部使冷却介质循环，可有效地冷却支撑部容纳部。
[0016]也可为，支撑部容纳部具备与目标部支撑部的基端部分热耦合的散热部，冷却部至少配置于孔部及散热部。由此，可有效地冷却支撑部容纳部。
[0017]也可为，目标的配置区域成为内包电子束对目标部的入射区域的大小。该情况下，可抑制电子束的入射位置及大小的变动、或目标部的热膨胀导致的目标的位置的移动等引起电子束对目标部的入射区域自目标的配置区域偏离。因此，可可靠地产生X射线。专利技术的效果
[0018]根据本公开，可获得所期望的对比度及FOD，且可获得充分的X射线的产生效率。
附图说明
[0019]图1是表示X射线产生装置的一实施方式的概略截面图。图2是表示目标的结构的一例的概略图。图3是表示冷却机构的配置结构的概略截面图。图4是图3的IV
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IV线截面图。图5是图3的V
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V线截面图。
图6是表示目标的结构的另一例的概略图。
具体实施方式
[0020]以下，一边参照附图一边详细说明本公开的一方式的X射线产生装置的优选的实施方式。
[0021]图1是表示X射线产生装置的一实施方式的概略截面图。如同图所示，X射线产生装置1具备：电子枪(电子枪部)2，其出射电子束EB；目标支撑体(目标部支撑部)3，其支撑以通过电子束EB的入射而产生X射线L的多个长条的目标22(参照图2)相互平行的方式配置的目标部K；框体(框体部)4，其容纳电子枪2及目标支撑体3；及X射线出射窗5，其设置于框体4，使在目标支撑体3产生的X射线L出射至框体4的外部。图1的例中，X射线产生装置1组装至对象物S的非破坏检查装置。
[0022]电子枪2为产生具有例如数keV至数100keV左右的能量的电子束EB而出射的部分。电子枪2具有灯丝、网格及连接于灯丝的内部配线等。灯丝为放出构成电子束EB的电子的电子放出构件，例如由以钨为主成分的材料形成。网格为用于引出电子且抑制扩散的电场形成构件，以覆盖灯丝的方式配置。
[0023]保持电子枪2的基底部6，例如由陶瓷等绝缘性材料形成。在基底部6的端部安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种X射线产生装置，其具备：电子枪部，其出射电子束；目标部，其以因所述电子束的入射而产生X射线的多个长条的目标为相互平行的方式配置；框体部，其容纳所述电子枪部及所述目标部；及X射线出射窗部，其设置于所述框体部，使在所述目标部产生的X射线出射至所述框体部的外部，所述目标部中，所述目标配置成以相对于所述电子束的出射轴的规定的倾斜角度而与所述电子枪部相对，所述X射线出射窗部以在可透过沿与所述目标部垂直的方向产生的X射线的位置，相对于所述目标部以规定的倾斜角度相对的方式配置。2.如权利要求1所述的X射线产生装置，其中，具备：目标部支撑部，其以所述目标以相对于所述电子束的出射轴的规定的倾斜角度而与所述电子枪部相对的方式支撑所述目标部，所述目标部的至少一部分以埋设于所述目标部支撑部的状态被支撑。3.如权利要求2所述的X射线产生装置，其中，所述目标的至少一部分抵接于所述目标部支撑部。4.如权利要求2或3所述的X射线产生装置，其中，所述框体部具有：支撑部容纳部，其容纳所述目标部支撑部，所述支撑部容纳部具有：孔部，其向所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：川上博己，影山一巳，长谷川义人，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：