一种废氢氟酸焚烧前的处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种废氢氟酸焚烧前的处理装置，设在焚烧炉的进料口并包括废氢氟酸储槽、氯化钙溶液配置罐和反应罐。所述废氢氟酸储槽通过进料管与所述反应罐的第一进料口连接；所述氯化钙溶液配置罐的上方设置氯化钙粉下料斗；氯化钙溶液配置罐的侧壁连接一根配料管与所述反应罐的第二进料口连接，该氯化钙溶液配置罐内设有搅拌器；所述反应罐内设置电动搅拌装置，该反应罐的出料口通过送料管与所述焚烧炉的进料口连接。本实用新型专利技术能对废氢氟酸进行焚烧前处理，大大减少焚烧尾气中的氟离子，从而延长焚烧炉的使用寿命。从而延长焚烧炉的使用寿命。从而延长焚烧炉的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种废氢氟酸焚烧前的处理装置


[0001]本技术涉及一种废氢氟酸焚烧前的处理装置。

技术介绍

[0002]氢氟酸是一种基础性化学原材料，可作为制冷剂的原料，经提纯成电子级氢氟酸，应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀，是微电子产品制作过程中的关键性基础化工材料之一。但在相关生产过程中所产生的废氢氟酸，依然具有高腐蚀性、毒性等特征，同时其溶液中也存在较高的重金属等有害元素。这类废酸若不经处理就排放会对环境造成巨大的危害。
[0003]目前废氢氟酸的物化处置方法主要是将其中对人体组织有脱水和腐蚀作用的F氟离子与石灰乳中Ca钙离子结合生成难溶于水的CaF2氟化钙，虽然可以达到中和除氟的目的，但其缺点如下：
[0004]1.剩余废水中依然有少量F氟离子，此部分废水若达标排放，则需要进行深度处理，成本较高。
[0005]2.此方法是使用氢氧化钙通过与水混合形成钙浆料，钙浆料与废氢氟酸反应生成的CaF2氟化钙也沉淀在水中，因此CaF2氟化钙会包裹在氢氧化钙外，阻止反应的进行，导致原料的浪费。
[0006]废氢氟酸还可以通过焚烧进行处理，该处置方式的处理效率高，但由于含有大量游离F氟离子，在焚烧过程中炉子中的耐火材料会受到腐蚀，影响焚烧炉的使用寿命。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种废氢氟酸焚烧前的处理装置，它能对废氢氟酸进行焚烧前处理，大大减少焚烧尾气中的氟离子，从而延长焚烧炉的使用寿命。
[0008]本技术的目的是这样实现的：一种废氢氟酸焚烧前的处理装置，设在焚烧炉的进料口并包括废氢氟酸储槽、氯化钙溶液配置罐和反应罐；其中，
[0009]所述废氢氟酸储槽通过进料管与所述反应罐的第一进料口连接；
[0010]所述氯化钙溶液配置罐的上方设置氯化钙粉下料斗；氯化钙溶液配置罐的侧壁连接一根配料管与所述反应罐的第二进料口连接，该氯化钙溶液配置罐内设有搅拌器；
[0011]所述反应罐内设置电动搅拌装置，该反应罐的出料口通过送料管与所述焚烧炉的进料口连接。
[0012]上述的废氢氟酸焚烧前的处理装置，其中，所述进料管和配料管上一一对应第设有第一进料泵和第二进料泵；所述送料管上设有送料泵。
[0013]上述的废氢氟酸焚烧前的处理装置，其中，所述反应罐的第一进料口和第二进料口均设在反应罐的顶盖上，所述反应罐的出料口开设在反应罐的底部。
[0014]上述的废氢氟酸焚烧前的处理装置，其中，所述反应罐的顶盖上还设有排气口，该
排气口通过排气管与尾气吸收罐连接。
[0015]本技术的废氢氟酸焚烧前的处理装置具有以下特点：
[0016]1)通过焚烧炉焚烧，使废氢氟酸溶液中所含的其他危险物质均可被无害化处理。
[0017]2)将钙以离子态与氟离子反应，能反应完全，节省原料，且减少沉淀的体积，大大减少焚烧尾气中的氟离子，从而延长焚烧炉的使用寿命。
附图说明
[0018]图1是本技术的废氢氟酸焚烧前的处理装置的结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图对本技术作进一步说明。
[0020]请参阅图1，本技术的废氢氟酸焚烧前的处理装置，设在焚烧炉10的进料口并包括废氢氟酸储槽2、氯化钙溶液配置罐3和反应罐4；其中，
[0021]废氢氟酸储槽2通过进料管与反应罐4的第一进料口连接；进料管上设有第一进料泵20；
[0022]氯化钙溶液配置罐3的上方设置氯化钙粉下料斗31；氯化钙溶液配置罐3的侧壁连接一根配料管与反应罐4的第二进料口连接，配料管上设有第二进料泵30；该氯化钙溶液配置罐3内设有搅拌器32；
[0023]反应罐4内设置电动搅拌装置41，第一进料口和第二进料口均设在反应罐4的顶盖上，反应罐的底部开设出料口，该反应罐4的出料口通过送料管与焚烧炉10的进料口连接；送料管上设有送料泵40。反应罐4的顶盖上还设有排气口，该排气口通过排气管50与尾气吸收罐5连接。尾气吸收罐5内设有钙液
[0024]本技术的废氢氟酸焚烧前的处理装置，的操作过程如下：
[0025]1)将氯化钙粉通过氯化钙粉下料斗31进入氯化钙溶液配置罐3中，通过搅拌器32与适量的水搅拌混合溶解形成氯化钙溶液；
[0026]2)根据废氢氟酸中的F氟离子的浓度，计算所需要的氯化钙溶液的量，并将相应量的氯化钙溶液通过第二进料泵30送至反应罐4中。
[0027]3)储存于废氢氟酸储槽2中的废氢氟酸，通过第一进料泵20定量送至反应罐4中，通过电动搅拌装置41搅拌至反应完全，关注反应罐4体上的温度计，使其不超过60℃；反应过程中产生的气体通过排气管50导入尾气吸收罐5内被碱液吸收。
[0028]4)取样检测反应罐4中F氟离子的含量，达标后将反应罐4内的悬浮液送入焚烧炉10内焚烧。
[0029]以上实施例仅供说明本技术之用，而非对本技术的限制，有关
的技术人员，在不脱离本技术的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本技术的范畴，应由各权利要求所限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废氢氟酸焚烧前的处理装置，设在焚烧炉的进料口并包括废氢氟酸储槽、氯化钙溶液配置罐和反应罐；其特征在于，所述废氢氟酸储槽通过进料管与所述反应罐的第一进料口连接；所述氯化钙溶液配置罐的上方设置氯化钙粉下料斗；氯化钙溶液配置罐的侧壁连接一根配料管与所述反应罐的第二进料口连接，该氯化钙溶液配置罐内设有搅拌器；所述反应罐内设置电动搅拌装置，该反应罐的出料口通过送料管与所述焚烧炉的进料口连接。2.根据权利要求1所述的废...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺成，陶洪云，杨进波，边昕宇，
申请(专利权)人：上海化学工业区升达废料处理有限公司，
类型：新型
国别省市：