一种可调谐激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种可调谐激光器，所述可调谐激光器包括在衬底上依次生长的底部布拉格反射器、楔形有源区和顶部布拉格反射器，所述底部布拉格反射器、楔形有源区、顶部布拉格反射器构成谐振腔，所述楔形有源区与顶部布拉格反射器和/或底部布拉格反射器相接触的侧面为倾斜面。本实用新型专利技术在常规的底部布拉格反射器和顶部布拉格反射器二层结构中引入楔形增益层结构，实现在同一激光器件中波长的精确连续可调谐的目的。续可调谐的目的。续可调谐的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种可调谐激光器


[0001]本技术涉及一种激光器件，具体涉及一种可调谐激光器。

技术介绍

[0002]可调谐激光器是一种十分重要的激光源，被广泛应用于光谱学、光化学、医学、生物学、集成光学、污染监测、半导体材料加工、信息处理和通信等领域。根据调谐方式的差异，常见的可调谐激光器包括分布式反馈(DFB)激光器、分布式布拉格反射器(DBR)激光器、基于微机电系统(MEMS)的可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)、可调谐光纤激光器等。
[0003]钙钛矿因具有独特的光学性质、可调谐光谱、高缺陷容限、低成本和易于加工等优点，近年来被认为是一种很有前途的激光材料，钙钛矿材料最凸出的优点是可以通过分子设计对发射波长进行调节，其波长调谐范围覆盖了紫外到红外光区，因此能够适用于可调谐激光器或宽带放大器。
[0004]钙钛矿激光器的谐振腔主要采用回音廊壁模式(WGM)、分布反馈(DFB)、或分布布拉格反射镜(DBR)实现。其中，具有DBR谐振器的垂直腔面发射激光器(VCSEL)以其具有单模输出和易于集成的特点而备受关注。r/>[0005]目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调谐激光器，其特征在于，所述激光器包括在衬底上依次生长的底部布拉格反射器、楔形有源区和顶部布拉格反射器，所述底部布拉格反射器、楔形有源区、顶部布拉格反射器构成谐振腔，所述楔形有源区与顶部布拉格反射器和/或底部布拉格反射器相接触的侧面为倾斜面。2.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述楔形有源区与顶部布拉格反射器相接触的侧面为倾斜面。3.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述楔形有源区与顶部布拉格反射器和底部布拉格反射器相接触的侧面之间的夹角为4
×
10
‑6‑4×
10
‑5rad。4.根据权利要求1所述的可调谐激光器，其特征在于，所述楔形有源区的第一端面和第二端面与顶部布拉格反射器和底部布拉格反射器不相接触的边的长度h为100nm
‑
1100nm。5.根据权利要求1至4任一项所述的可调谐激光器，其特征在于，所述底部布拉格反射器的反射率大于99.9％；所述底部布拉格反射器的厚度为1500
‑
4000nm；所述顶部布拉格反射器的反射率大于99％；所述顶部布拉格反射器的厚度为600
‑
1500nm。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：林中晞，林琦，赵晓凡，钟杏丽，朱振国，苏辉，
申请(专利权)人：中国科学院福建物质结构研究所，
类型：新型
国别省市：