一种半导体清洗专用PTFE电加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体清洗专用PTFE电加热器，包括管筒以及加热芯，管筒设有空腔，加热芯设置于空腔内，管筒设有进液口以及出液口，进液口与出液口两者相对设置且均与空腔连通，其中管筒的材质为铁氟龙。通过上述方式，本实用新型专利技术半导体清洗专用PTFE电加热器的管筒具有较好的耐腐蚀性以及耐热性能，从而能够保证加热器的使用寿命。能够保证加热器的使用寿命。能够保证加热器的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体清洗专用PTFE电加热器


[0001]本技术涉及电加热器
，具体为一种半导体清洗专用PTFE电加热器。

技术介绍

[0002]在半导体清洗领域需要采用电加热器对化学药水、药液等液体进行加热。现有加热器存在以下技术问题：其外壳的耐腐蚀性能较差，而大多数液体的腐蚀性能较强；此外加热器的加热温度较高，现有加热器的外壳耐热性能较差；即现有的加热器使用寿命较短。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种半导体清洗专用PTFE电加热器，能够解决上述技术问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种半导体清洗专用PTFE电加热器，包括：管筒以及加热芯，管筒设有空腔，加热芯设置于空腔内，管筒设有进液口以及出液口，进液口与出液口两者相对设置且均与空腔连通，其中管筒的材质为铁氟龙。
[0007]优选的，半导体清洗专用PTFE电加热器还包括第一感温装置，第一感温装置设置于出液口处。
[0008]优选的，半导体清洗专用PTFE电加热器还包括第二感温装置，第二感温装置设置于加热芯上。
[0009]优选的，半导体清洗专用PTFE电加热器还包括第三感温装置，第三感温装置设置于空腔内。
[0010]优选的，第一感温装置、第二感温装置以及第三感温装置均为PT100感温探头。
[0011]优选的，半导体清洗专用PTFE电加热器还包括过热保护器，过热保护器设置于空腔内。
[0012]优选的，进液口与出液口靠近管筒的顶部设置；进液口与出液口均为螺纹接口。
[0013]优选的，管筒的底部设有排液口。
[0014]优选的，管筒的顶部设有上盖；管筒的底部设有底盖。
[0015]优选的，空腔内设有十字形固定板，加热芯呈螺旋状绕设于十字形固定板上。
[0016](三)有益效果
[0017]与现有技术相比，本技术提供了一种半导体清洗专用PTFE电加热器，具备以下有益效果：该半导体清洗专用PTFE电加热器的管筒的材质为铁氟龙，铁氟龙材质的耐腐蚀性较强，即本技术的管筒具有较强的耐腐蚀性，适用于大多数腐蚀性液体的加热；此外铁氟龙材质的管筒具有耐高温的特点，耐热性能较好；通过上述方式，能够保证加热器的使用寿命。
附图说明
[0018]图1为本技术一种半导体清洗专用PTFE电加热器的一立体结构示意图；
[0019]图2为本技术一种半导体清洗专用PTFE电加热器的一局部结构示意图。
[0020]图中标号为：1管筒、2加热芯、3进液口、4出液口、5排液口、6上盖、7底盖、8电源线、9十字形固定板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]本技术提供一种半导体清洗专用PTFE电加热器，包括：管筒1以及加热芯2。管筒1设有空腔，加热芯2设置于空腔内，管筒1设有进液口3以及出液口4，进液口3与出液口4两者相对设置且均与空腔连通，其中管筒1的材质为铁氟龙。
[0023]本技术半导体清洗专用PTFE电加热器的工作原理为：待加热的液体通过管筒1的进液口3进入空腔内；加热芯2通电发热以对液体进行加热；加热后的液体通过管筒1的出液口4从空腔内流出。
[0024]铁氟龙即聚四氟乙烯(Poly tetra fluoroethylene，PTFE)，俗称“塑料王、特富龙、特氟龙、陶氟隆、德氟隆”等，是一种以四氟乙烯作为单体聚合制得的高分子聚合物，白色蜡状、半透明，聚四氟乙烯具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，耐腐蚀性强，对大多数化学药品和溶剂表现出惰性；同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，使用工作温度可达250℃。本技术半导体清洗专用PTFE电加热器的管筒具有较强的腐蚀性及不粘稠性,因此可应用于氧化酸抛光化学镀金、镀银、镀镍及各种高要求化学药液等的加热。
[0025]可以理解，本技术一种半导体清洗专用PTFE电加热器具备以下有益效果：该半导体清洗专用PTFE电加热器的管筒1的材质为铁氟龙，铁氟龙材质的耐腐蚀性较强，即本技术的管筒具有较强的耐腐蚀性，适用于大多数腐蚀性液体的加热；此外铁氟龙材质的管筒具有耐高温的特点，耐热性能较好；通过上述方式，能够保证加热器的使用寿命。
[0026]此外，上述空腔内设有十字形固定板9，加热芯2沿管筒1的长度方向呈螺旋状绕设于十字形固定板9上，使得加热均匀。半导体清洗专用PTFE电加热器还包括电源线8，通过电源线8使加热芯2通电发热。
[0027]优选的，半导体清洗专用PTFE电加热器还包括第一感温装置，第一感温装置设置于出液口4处，通过第一感温装置检测出液口4处液体的温度，以判断是否满足加热温度要求。
[0028]优选的，半导体清洗专用PTFE电加热器还包括第二感温装置，第二感温装置设置于加热芯2上，通过第二感温装置检测加热芯2的温度，以监测加热芯2温度过高的情况。
[0029]优选的，半导体清洗专用PTFE电加热器还包括第三感温装置，第三感温装置设置于空腔内，通过第三感温装置检测空腔内的温度，以便更好地了解加热器的工作状态。
[0030]具体的，上述第一感温装置、第二感温装置以及第三感温装置可均为PT100感温探头；当然也可为其他感温装置，此处不作过多限制。
[0031]此外，为提高产品的安全性能，本技术的半导体清洗专用PTFE电加热器还包括过热保护器，过热保护器设置于空腔内，当空腔内的温度超过一阈值时，过热保护器即启动过热保护措施，断开加热芯2的电连接；过热保护器为现有技术，关于其结构及原理此处不作过多赘述。
[0032]具体的，上述进液口3与出液口4靠近管筒1的顶部设置；进液口3与出液口4均为螺纹接口，以便于与液体输送管道进行连接。
[0033]本实施方式中，管筒1的底部设有排液口5，以便于空腔内残留液的排出。此外，管筒1的顶部设有上盖6；管筒1的底部设有底盖7。
[0034]需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0035]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗专用PTFE电加热器，其特征在于，包括：管筒以及加热芯，所述管筒设有空腔，所述加热芯设置于所述空腔内，所述管筒设有进液口以及出液口，所述进液口与所述出液口两者相对设置且均与所述空腔连通，其中所述管筒的材质为铁氟龙。2.根据权利要求1所述的半导体清洗专用PTFE电加热器，其特征在于：还包括第一感温装置，所述第一感温装置设置于所述出液口处。3.根据权利要求2所述的半导体清洗专用PTFE电加热器，其特征在于：还包括第二感温装置，所述第二感温装置设置于所述加热芯上。4.根据权利要求3所述的半导体清洗专用PTFE电加热器，其特征在于：还包括第三感温装置，所述第三感温装置设置于所述空腔内。5.根据权利要求4所述的半导体清洗专用PTFE电加热器，其特征在于：所述第一感温装置、所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐达峰，
申请(专利权)人：广州市保达电热钛制品有限公司，
类型：新型
国别省市：