干式真空泵制造技术

本发明专利技术涉及一种干式真空泵(1)，其包括弹性的外密封件(16)和至少一个弹性的内密封件(17)，这些密封件分别包括相互平行并插入相应的端件(9，10)与半壳(7，8)之间的第一和第二端部环形部(161，171，162，172)，以及连接所述端部环形部(161，171，162，172)并与之成直角的两个侧轨(163，173)，侧轨(163，173)插在半壳(7，8)之间，所述至少一个内密封件(17)布置在外密封件(16)内部，使得所述至少一个内密封件(17)和外密封件(16)形成对于气体的至少两个连续密封屏障。密封屏障。密封屏障。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】干式真空泵


[0001]本专利技术涉及一种干式真空泵。

技术介绍

[0002]干式的真空泵包括一个或多个串联的泵级，待泵送的气体在所述泵级中循环。可区分的已知真空泵是也称为“罗茨”式的具有旋转叶片的真空泵，或也称为“爪”式的具有喙部的真空泵。这些真空泵被说成“干式”是因为，在运行时转子在定子内部旋转，并且转子之间或转子与定子之间没有机械接触，从而允许在泵级中不使用油。
[0003]作为示例，文献US6,572,351B2公开了一种真空泵结构，该真空泵结构具有半壳形式的定子，这些半壳在大致平行于转子轴线的纵向接合表面上接合。该真空泵包括一体式密封件，该密封件具有两个端部环形部和连接所述端部环形部并与之成直角的两个侧轨。两个端部环形部相互平行，并各自插入端件与半壳之间。侧轨插入半壳之间。该一体式密封件既确保了半壳之间的密封，还确保了半壳与增设的端件之间的密封，以将压缩级与外部气氛隔绝。
[0004]然而，在某些泵送应用中，例如在半导体、“平板显示器”和光伏行业中使用的泵送方法中以及在涂覆方法中，所使用的气体可能具有腐蚀性，尤其是在清洁工艺室的过程中使用的气体。对于气体NF3、ClF3、F2、Cl2尤其是这样的情况。这些腐蚀性气体会损坏位于半壳之间的密封件。
[0005]除了泵送装置的性能损失以外，这种密封件的劣化还会导致安全问题。一方面，来自周围空气的氧气或水蒸气会进入泵室并与所输送的气体发生反应，这尤其会导致所泵送气体点燃或爆炸的风险。而且，有毒气体可能会从真空泵的泵室泄漏到大气中，尤其是从高压泵级，这会对人员的安全构成威胁。
[0006]为避免这种情况，真空泵采用切片式架构，其中定子通过轴向组装多个定子元件而组成，包括被径向压缩在定子元件之间的环形密封件，其与接纳在同一环形密封沟槽中的(或PTFE)密封件配对。密封件采用具有平行六面体截面的条带形式，该条带被挤压在定子元件之间以产生密封。环形密封件与屏障的配对使得以相对经济的成本固定密封件成为可能。
[0007]然而，非常适用于具有切片式架构的泵的该实施例不能简单地应用于具有半壳架构的泵，其中密封由上述的一体式密封件产生。实际上，用生产三维密封件并不容易，并且在通过挤压而接合的多个部件中生成屏障也不是令人满意的解决方案，这是因为，由于小的接触表面和的非弹性特性，无法保证在没有气体进入的情况下不同部件之间的密封。
[0008]此外，在端部部分包括与半壳轴向接合的鼻部的情况下，在轴向鼻部周围安装既没有弹性也不是超环面的屏障也不是轻松的操作。而且，半壳在轴向方向上与增设端件的鼻部的装配不允许有效压缩屏障。

技术实现思路

[0009]本专利技术的一个目的是至少部分地克服上述缺点之一。
[0010]为此，本专利技术的主题是一种干式真空泵，包括：
[0011]‑
定子，所述定子包括至少一个第一和至少一个第二互补的半壳以及一个第一端件和一个第二端件，半壳和端件通过轴向组装彼此接合，以形成泵级的至少一个泵室，
[0012]‑
两个转子轴，所述两个转子轴配置成在至少一个泵级中反向同步旋转，
[0013]其特征在于，所述真空泵还包括：
[0014]‑
弹性的外密封件和至少一个弹性的内密封件，其分别包括：
[0015]‑
一个第一和一个第二端部环形部，所述端部环形部相互平行并插入相应的端件与半壳之间，和
[0016]‑
两个侧轨，所述两个侧轨连接端部环形部并与之成直角，所述侧轨插入半壳之间，所述至少一个内密封件布置在外密封件内部，使得所述至少一个内密封件和外密封件形成对于气体的至少两个连续密封屏障。
[0017]所述至少一个内密封件比外密封件小，从而能够以“嵌套”布置方式布置在内部。因此可以将密封件加倍，甚至增至三倍。这种密封屏障的倍增可以确保从外部到内部的良好密封，反之亦然，并且允许为每个密封件使用能够提供腐蚀性气体和/或耐热性能水平随着与泵室距离而下降的不同材料。
[0018]该真空泵还可以包括在下文中描述的单独或组合使用的一个或多个特征。
[0019]所述外密封件可以是一体式的。
[0020]所述至少一个内密封件可以是一体式的。
[0021]根据另一示例性实施例，外密封件和/或内密封件端对端地接合而成，也就是说，通过端对端地放置多个弹性密封部分而形成。
[0022]所述至少一个内密封件可以由比外密封件的材料更耐腐蚀、耐磨和/或耐高温的材料形成。
[0023]所述外密封件可由氟化弹性体材料制成。
[0024]所述至少一个内密封件可由全氟弹性体材料制成。
[0025]根据一个示例性实施例，半壳和端件通过第一和第二轴向鼻部与互补的第一和第二轴向空隙的轴向组装而彼此接合，轴向鼻部和轴向空隙中的一者由半壳承载，另一者由端件承载，第一和第二端部环形部插入相应的轴向鼻部与互补的轴向空隙之间。
[0026]第一和至少一个第二周边环形沟槽可形成在至少一个轴向鼻部和/或至少一个轴向空隙中，以接纳外密封件和所述至少一个内密封件的第一和第二端部环形部。
[0027]根据另一示例性实施例，半壳和端件在不存在互补的轴向鼻部和空隙的情况下彼此接合。端件和/或半壳例如具有形成在端件的平面和半壳的对向边缘的平面中的环形沟槽。
[0028]至少两个纵向沟槽可以在一个和/或另一个半壳中形成在接合表面中并位于泵室的两侧，以接纳外密封件和内密封件的侧轨。
[0029]至少一个注入管道可以形成在定子的半壳中，并经至少一个注入孔口出现在位于所述至少一个内密封件与外密封件之间的间隙空间中，真空泵包括气体供给装置，该气体供给装置配置成将中性气体注入到注入管道中。气体的这种循环产生了对于气体的第三密
封屏障，以及热屏障。这种密封屏障尤其可以保护外密封件，特别是在外密封件的材质的耐腐蚀、耐磨和/或耐高温性能较低的情况下。
[0030]所述注入管道可出现在位于半壳的接合表面中且在两个侧轨之间的间隙空间的区域中。
[0031]气体供给装置可配置成加热中性气体。
[0032]气体供给装置可配置成以过压注入中性气体。
[0033]至少一个抽吸管道可以形成在定子的半壳中，并经至少一个抽吸孔口出现在位于所述至少一个内密封件与外密封件之间的间隙空间中，抽吸管道将间隙空间与真空泵的泵室或级间通道连接。
[0034]所述抽吸管道可出现在位于半壳的接合表面中且在两个侧轨之间的间隙空间的区域中。
[0035]该真空泵可包括压力传感器，该压力传感器配置成测量位于所述至少一个内密封件与外密封件之间的间隙空间中的压力。高于阈值的压力变化测量值可以表明存在泄漏并因此存在密封缺陷。
[0036]该真空泵可包括气体传感器，该气体传感器配置成确定在位于所述至少一个内密封件与外密封件之间的间隙空间中是否存在至少一种腐蚀性气体物质，例如Cl或Cl2、O2、F或F2、H或H2、HBr、HF、HCl、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种干式真空泵(1)，包括：
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定子(2)，所述定子(2)包括至少一个第一和至少一个第二互补半壳(7，8)以及一个第一端件和一个第二端件(9，10)，所述半壳(7，8)和所述端件(9，10)通过轴向组装而接合在一起，以形成泵级(3a
‑
3f)的至少一个泵室，
‑
两个转子轴(6)，所述两个转子轴(6)配置成在至少一个泵级中反向同步转动，其特征在于，所述真空泵(1)还包括：
‑
弹性的外密封件(16)和弹性的至少一个内密封件(17)，所述外密封件(16)和所述内密封件(17)分别包括：
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一个第一和一个第二端部环形部(161，171，162，172)，所述第一和第二端部环形部彼此平行并插在相应的端件(9，10)与半壳(7，8)之间，和
‑
两个侧轨(163，173)，所述两个侧轨连接所述端部环形部(161，171，162，172)并与所述端部环形部成直角，所述侧轨(163，173)插在半壳(7，8)之间，所述至少一个内密封件(17)布置在所述外密封件(16)内部，使得所述至少一个内密封件(17)和所述外密封件(16)形成对于气体的至少两个连续的密封屏障。2.根据前一项权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于，所述外密封件(16)是一体式的。3.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个内密封件(17)是一体式的。4.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个内密封件(17)由比所述外密封件(16)的材料更耐腐蚀、耐磨和/或耐高温的材料形成。5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述外密封件(16)由氟化弹性体材料制成，并且所述至少一个内密封件(17)由全氟弹性体材料制成。6.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述半壳(7，8)和所述端件(9，10)通过第一和第二轴向鼻部(12)与互补的第一和第二轴向空隙(13)的轴向组装而相互接合，所述轴向鼻部和轴向空隙中的一者由所述半壳(7，8)承载，另一者由所述端件(9，10)承载，第一和第二端部环形部(161，171，162，172)插在相应的互补的轴向鼻部(12)与轴向空隙(13)之间。7.根据前一项权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于：
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在至少一个轴向鼻部(12)和/或至少一个轴向空隙(13)中形成有第一和至少一个第二周边环形沟槽(18a，18b)，以接纳所述外密封件(16)和所述至少一个内密封件(17)的第一和第二端部环形部(161，171，162，172)，
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在所述半壳(7，8)的一者和/或另一者中且在接合表面(11)中并且在所述泵室的两侧，形成有至少两个纵向沟槽(19a，19b)，以接纳所述外密封件(16)和所述内密封件(17)的侧轨(163，...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y，
申请(专利权)人：普发真空公司，
类型：发明
国别省市：