半导体废气处理设备制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体生产设备相关技术领域，尤其为半导体废气处理设备，包括处理箱体，处理箱体的左右两侧均固定连接有密封块，右侧密封块的内侧固定连接有进水喷头，进水喷头的右侧固定连接有进水管道，进水喷头的左侧开设有若干组进水喷孔，处理箱体的内部从上至下依次设置有第一过滤板、第二过滤板、第三过滤板，处理箱体的内部固定连接有第二进气管道，第二进气管道的下端延伸至第二过滤板与第三过滤板之间，解决了半导体在生产的过程中会产生大量的废气，直接排放容易对环境造成污染，现有的废气处理设备的处理效果较差，排放的废气中还会存在少量的有害物质，且传统废气处理设备的排气的速度较慢，导致处理效率较低的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
半导体废气处理设备


[0001]本技术涉及半导体生产设备相关
，具体为半导体废气处理设备。

技术介绍

[0002]半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。
[0003]半导体在生产的过程中会产生大量的废气，直接排放容易对环境造成污染，现有的废气处理设备的处理效果较差，排放的废气中还会存在少量的有害物质，且传统废气处理设备的排气的速度较慢，导致处理效率较低，因此需要半导体废气处理设备对上述问题做出改善。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供半导体废气处理设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]半导体废气处理设备，包括处理箱体，所述处理箱体的左右两侧均固定连接有密封块，右侧所述密封块的内侧固定连接有进水喷头，所述进水喷头的右侧固定连接有进水管道，所述进水喷头的左侧开设有若干组进水喷孔，所述处理箱体的内部从上至下依次设置有第一过滤板、第二过滤板、第三过滤板，所述处理箱体的内部固定连接有第二进气管道，所述第二进气管道的下端延伸至所述第二过滤板与所述第三过滤板之间。
[0007]作为本技术的进一步方案，所述第二进气管道的上端固定连接有第一进气管道，所述第一进气管道的左侧穿过所述密封块延伸至所述处理箱体的外侧。
[0008]作为本技术的进一步方案，所述处理箱体的上方固定连接有排气室，所述排气室的上方固定连接有排气管道。
[0009]作为本技术的进一步方案，所述排气室的内部通过四根连接杆固定连接有固定壳体。
[0010]作为本技术的进一步方案，所述固定壳体的内部固定安装有电动马达，所述电动马达的输出轴固定连接有排气扇叶。
[0011]作为本技术的进一步方案，所述处理箱体的下方固定连接有集水箱体。
[0012]作为本技术的进一步方案，所述集水箱体的下方固定连接有排水管道，所述排水管道与所述集水箱体的连接处设置有排水阀门。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.本技术中，通过在右侧密封块的内侧固定连接有进水喷头，处理箱体的内
部从上至下依次设置有第一过滤板、第二过滤板、第三过滤板，处理箱体的内部固定连接有第二进气管道，进水喷头将混合液体喷送至处理箱体内部，通过处理箱体内部的混合液体对废气内的有害物质进行溶解，第一过滤板、第二过滤板对废气内的固体颗粒进行吸附，达到了提升废气的净化效果，减少废气内有害物质排放的有益效果，解决了现有的废气处理设备的处理效果较差，排放的废气中还会存在少量的有害物质的问题。
[0015]2.本技术中，通过处理箱体的上方固定连接有排气室，排气室的内部设置有排气扇叶，通过电动马达带动排气扇叶转动，达到了提高排气速度，提升废气净化效率的有益效果，解决了传统废气处理设备的排气的速度较慢，导致处理效率较低的问题。
附图说明
[0016]图1为本技术半导体废气处理设备的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术半导体废气处理设备的剖视结构示意图；
[0018]图3为本技术半导体废气处理设备的排气室内部结构示意图；
[0019]图4为本技术半导体废气处理设备的处理箱体内部结构示意图。
[0020]图中：1、处理箱体；11、密封块；12、第一进气管道；13、第二进气管道；14、集水箱体；15、排水管道；2、进水喷头；21、进水管道；22、第一过滤板；23、第二过滤板；24、第三过滤板；25、进水喷孔；3、排气室；31、排气管道；32、固定壳体；33、电动马达；34、排气扇叶。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0023]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0024]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0025]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：
[0026]半导体废气处理设备，包括处理箱体1，处理箱体1的左右两侧均固定连接有密封块11，右侧密封块11的内侧固定连接有进水喷头2，进水喷头2的右侧固定连接有进水管道21，进水喷头2的左侧开设有若干组进水喷孔25，处理箱体1的内部从上至下依次设置有第
一过滤板22、第二过滤板23、第三过滤板24，处理箱体1的内部固定连接有第二进气管道13，第二进气管道13的下端延伸至第二过滤板23与第三过滤板24之间，第二进气管道13的上端固定连接有第一进气管道12，第一进气管道12的左侧穿过密封块11延伸至处理箱体1的外侧。
[0027]具体的，进水喷头2将混合液体喷送至处理箱体1内部，混合液体用于对废气中的有害物质进行分解，第一过滤板22、第二过滤板23用于对废气内的固体颗粒进行吸附，第三过滤板24用于防止固体颗粒落入排水管道15中。
[0028]作为本实施例的优选，处理箱体1的上方固定连接有排气室3，排气室3的上方固定连接有排气管道31，排气室3的内部通过四根连接杆固定连接有固定壳体32，固定壳体32的内部固定安装有电动马达33，电动马达33的输出轴固定连接有排气扇叶34。
[0029]需要补充的，净化后的废气汇集到排气室3中，电动马达33的输出轴带动排气扇叶34转动，加速废气排出。
[0030]作为本实施例的优选，处理箱体1的下方固定连接有集水箱体14，集水箱体14的下方固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.半导体废气处理设备，包括处理箱体(1)，其特征在于：所述处理箱体(1)的左右两侧均固定连接有密封块(11)，右侧所述密封块(11)的内侧固定连接有进水喷头(2)，所述进水喷头(2)的右侧固定连接有进水管道(21)，所述进水喷头(2)的左侧开设有若干组进水喷孔(25)，所述处理箱体(1)的内部从上至下依次设置有第一过滤板(22)、第二过滤板(23)、第三过滤板(24)，所述处理箱体(1)的内部固定连接有第二进气管道(13)，所述第二进气管道(13)的下端延伸至所述第二过滤板(23)与所述第三过滤板(24)之间。2.根据权利要求1所述的半导体废气处理设备，其特征在于：所述第二进气管道(13)的上端固定连接有第一进气管道(12)，所述第一进气管道(12)的左侧穿过所述密封块(11)延伸至所述处理箱体(1)的外侧。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：林仲炫，金相辉，申东珍，
申请(专利权)人：无锡洁安洁通用设备有限公司，
类型：新型
国别省市：