一种离子源高压放电现象观察装置制造方法及图纸

技术编号:35126512 阅读:30 留言:0更新日期:2022-10-05 09:57
本申请公开了一种离子源高压放电现象观察装置,由于包括离子源真空腔体以及与其连接的抽气管道,所述离子源真空腔体的表面开设有至少一个观察窗,因此能够通过改观察窗来观察离子源在真空环境下的放电情况,便于了解绝缘柱的薄弱位置,从而对绝缘柱进行有针对性的优化改进。化改进。化改进。

【技术实现步骤摘要】
一种离子源高压放电现象观察装置


[0001]本技术涉及离子源设备
,更具体地说,涉及一种离子源高压放电现象观察装置。

技术介绍

[0002]基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪(简称质谱仪)是一种常用的软电离质谱仪,质谱仪的离子源通常安装在真空腔室内,主要用于为带电离子提供电场,以使离子运动具备最初的动力,离子源包括至少两个相互平行的电极板,通过在相邻两个电极板上接入不同的电源形成电势差,从而产生加速电场,将离子加速,从而飞入质量分析器完成检测,相邻两个电极板之间的电势差一般为20kV。为组装离子源,一般用绝缘柱将相邻的两个电极板间隔开来,由于电压比较大,而且离子源在短时间内施加的是高电压,然后迅速释放,这就为放电提供了条件,当绝缘材料稍有瑕疵时,就会将绝缘柱击穿,产生放电现象,该绝缘柱可以是用peek材料制备的柱状连接体,简称peek柱,两端存在20kV的电压,被电压击穿时,peek柱被击穿部位为1个小点,具体如何产生放电,最先放电位置在哪里都是无法确定的,同时,peek材料在真空状态下与大气压环境下的电阻以及放电都是存在差异的。然而,现有技术中并没有能够对离子源真空放电现象进行观察的装置。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题,本技术提供了一种离子源高压放电现象观察装置,能够观察离子源在真空环境下的放电情况,便于了解绝缘柱的薄弱位置,从而对绝缘柱进行有针对性的优化改进。
[0004]本技术提供的一种离子源高压放电现象观察装置,包括离子源真空腔体以及与其连接的抽气管道,所述离子源真空腔体的表面开设有至少一个观察窗。
[0005]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述离子源真空腔体的顶部开设有顶部观察窗。
[0006]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述离子源真空腔体的侧部还开设有至少一个侧部观察窗。
[0007]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述离子源真空腔体的侧部开设有四个所述侧部观察窗。
[0008]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述顶部观察窗包括从外至内依次堆叠的顶部玻璃压板、顶部玻璃板和顶部封板,所述顶部封板和所述顶部玻璃板之间还利用O型密封圈进行密封,所述顶部封板与所述离子源真空腔体密封连通。
[0009]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述侧部观察窗包括从内至外依次堆叠的侧部玻璃板、侧部玻璃压板和保护壳,所述侧部玻璃板覆盖在所述离子源真空腔体的侧壁开口处,所述侧部玻璃板与所述离子源真空腔体的侧壁利用O型密封圈进行密封。
[0010]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述抽气管道分别与真空规、抽真空设备连接,所述抽真空设备用于对所述离子源真空腔体抽取真空。
[0011]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述抽真空设备包括低真空抽取设备和高真空抽取设备,所述低真空抽取设备与所述抽气管道连通,所述高真空抽取设备通过真空阀与所述抽气管道连通。
[0012]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述侧部玻璃压板为塑料压板。
[0013]优选的,在上述离子源高压放电现象观察装置中,所述观察窗为石英玻璃观察窗。
[0014]从上述技术方案可以看出,本技术所提供的上述离子源高压放电现象观察装置,由于包括离子源真空腔体以及与其连接的抽气管道,所述离子源真空腔体的表面开设有至少一个观察窗,因此能够通过改观察窗来观察离子源在真空环境下的放电情况,便于了解绝缘柱的薄弱位置,从而对绝缘柱进行有针对性的优化改进。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0016]图1为本技术提供的一种离子源高压放电现象观察装置的实施例的示意图;
[0017]图2为离子源高压放电现象观察装置中的一种顶部观察窗的爆炸图;
[0018]图3为离子源高压放电现象观察装置中的一种侧部观察窗的爆炸图;
[0019]图4为离子源高压放电现象观察装置中的抽气管道连接相关设备的示意图。
具体实施方式
[0020]本技术的核心是提供一种离子源高压放电现象观察装置,能够观察离子源在真空环境下的放电情况,便于了解绝缘柱的薄弱位置,从而对绝缘柱进行有针对性的优化改进。
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]本技术提供的一种离子源高压放电现象观察装置的实施例如图1所示,图1为本技术提供的一种离子源高压放电现象观察装置的实施例的示意图,该离子源高压放电现象观察装置包括离子源真空腔体1以及与其连接的抽气管道2,离子源真空腔体1的表面开设有至少一个观察窗3。
[0023]需要说明的是,该图1中,离子源真空腔体1可以利用铝合金制作而成,其上部还有离子源模块4,下面可以用铝合金制作的支撑框体5进行支撑,而且可以根据需要来调整这种支撑框体5的大小和高度等参数,以适用于不同的应用环境,上述离子源真空腔体1是保持真空环境的主体部件,在其任意表面都可以开设观察窗3以便于人们从窗中看到腔体里面的情况,既可以是上部开窗也可以是侧部开窗还可以是上部和侧部同时开窗,这都是可
以根据实际需要来选择的,利用该观察窗3,外界人员就可以观察到里面的离子源的放电情况,便于了解绝缘柱的绝缘薄弱处,从而便于对绝缘柱结构进行优化改进,并且能够观察离子源peek柱在真空中被电流击穿的位置,另外还能确定离子源peek柱在真空中的最大击穿电压,还需要说明的是,上述抽气管道的作用是抽取腔体内部的气体,以保持真空度。
[0024]从上述技术方案可以看出,本技术所提供的上述离子源高压放电现象观察装置的实施例中,由于包括离子源真空腔体以及与其连接的抽气管道,离子源真空腔体的表面开设有至少一个观察窗,因此能通过该观察窗来观察离子源在真空环境中的放电情况,便于了解绝缘柱的薄弱位置,从而对绝缘柱进行有针对性的优化改进。
[0025]在上述离子源高压放电现象观察装置的一个具体实施例中,继续参考图1,离子源真空腔体1的顶部开设有顶部观察窗301,在这种情况下,就能够从顶部来观察离子源真空腔体1的内部情况,在另一个具体实施例中,离子源真空腔体1的侧部还开设有至少一个侧部观察窗302,也就是说,可以开设一个侧部观察窗,也可以开设两个侧部观察窗,以及三个或者四个,此处并不限制,这样就能够从侧部来观察离子源真空腔体1的内部本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子源高压放电现象观察装置,其特征在于,包括离子源真空腔体以及与其连接的抽气管道,所述离子源真空腔体的表面开设有至少一个观察窗。2.根据权利要求1所述的离子源高压放电现象观察装置,其特征在于,所述离子源真空腔体的顶部开设有顶部观察窗。3.根据权利要求2所述的离子源高压放电现象观察装置,其特征在于,所述离子源真空腔体的侧部还开设有至少一个侧部观察窗。4.根据权利要求3所述的离子源高压放电现象观察装置,其特征在于,所述离子源真空腔体的侧部开设有四个所述侧部观察窗。5.根据权利要求2所述的离子源高压放电现象观察装置,其特征在于,所述顶部观察窗包括从外至内依次堆叠的顶部玻璃压板、顶部玻璃板和顶部封板,所述顶部封板和所述顶部玻璃板之间还利用O型密封圈进行密封,所述顶部封板与所述离子源真空腔体密封连通。6.根据权利要求3所述的离子源高压放电现象观察装置,其特征在于,所述侧部观察窗包括从内...

【专利技术属性】
技术研发人员:成王军郑君涛张子奇
申请(专利权)人:安图实验仪器郑州有限公司
类型:新型
国别省市:

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