本发明专利技术涉及真空镀膜机技术领域，公开了一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，包括旋转盘、支撑柱和和电机，电机的输出端与旋转盘传动连接，支撑柱设置在旋转盘的底端，且支撑柱与旋转盘同轴设置，支撑柱与旋转盘转动配合；本发明专利技术通过支撑柱可对旋转盘进行支撑，通过电机可驱动旋转盘旋转，旋转盘旋转时带动多个旋转柱呈环形轨迹转动，通过传动机构可驱动旋转柱自转，从而使旋转柱一边自转一边呈环形轨迹转动，从而带动旋转柱上的镜片架同步运动，镀膜时将镜片固定在镜片架上，在真空室内材料的原子从加热源离析出来上升并打到被镀镜片表面进行射镀，镜片在真空室内充分运动，从而保证镜片镀膜的均匀性，镀膜均匀性较好。镀膜均匀性较好。镀膜均匀性较好。
【技术实现步骤摘要】
一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置
[0001]本专利技术涉及真空镀膜机
，具体是一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置。
技术介绍
[0002]在镜片生产过程中，需要使用到真空镀膜机进行镀膜，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具有很多种类型，例如真空离子蒸发、磁控溅射等，主要思路分为蒸发和溅射两种，蒸发镀膜机是加热靶材使表面组分以原子团或者离子的形式蒸发出来从而沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，而溅射类镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]中国专利CN214881811U公开了一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，包括主腔顶板，主腔顶板顶部固定有偏心套，偏心套顶部固定连接有偏心法兰，偏心法兰上设有竖直旋转、偏心设置的驱动轴，驱动轴底部同轴设有小齿轮，偏心套内设有齿轮柱，齿轮柱的凸台上设有与小齿轮啮合的大齿轮，齿轮柱底部固定连接有锅架，通过第一伞齿和第二伞齿的啮合传动使驱动轴竖直旋转，通过偏心旋转驱动轴的小齿轮与齿轮柱的大齿轮啮合减速传动，在真空下实现锅架上固定连接的镜片架在真空镀膜时稳定地减速旋转，整体结构紧凑、拆装更换方便、保证了真空封闭性和防护性，有利于避免镀膜凹坑、击穿等现象，保证镀膜均匀性，满足镜片真空镀膜应用需求。
[0004]但是该设备在使用时，仅能驱动镜片架在真空镀膜机的真空室内的某一固定位置进行旋转，在实际镀膜中，由于蒸发源位置的影响，真空室内各位置的镀膜材料原子的浓度可能不同，从而使得各位置镜片的镀膜厚度不同，使得同一批镜片的镀膜厚度存在差异，从而使得良品率降低。
[0005]因此，有必要提供一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置解决上述技术问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于提供一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，包括旋转盘、支撑柱和电机，所述电机的输出端与所述旋转盘传动连接，所述支撑柱设置在所述旋转盘的底端，且所述支撑柱与所述旋转盘同轴设置，所述支撑柱与所述旋转盘转动配合，所述旋转盘的底端设置有多个旋转柱，所述旋转柱上设置有多个镜片架，所述旋转盘内设置有用于驱动旋转柱旋转的传动机构。
[0008]作为本专利技术的进一步方案，所述传动机构包括第一齿轮、第一转轴和传动组件，所述第一齿轮套装在所述支撑柱上，且所述第一齿轮位于所述旋转盘的内腔中，所述第一转轴转动安装于所述旋转盘内，所述第一转轴上套装有第一链轮和第二齿轮，所述第二齿轮
与第一齿轮相啮合，所述传动组件设置在所述旋转柱的顶端，所述第一链轮通过链条与所述传动组件传动连接。
[0009]作为本专利技术的进一步方案，所述传动组件包括旋转座，所述旋转座固定安装于所述旋转柱的顶端，所述旋转座的侧壁固定安装有多个伸缩元件，多个所述伸缩元件以旋转座的轴心为阵列中心呈环形阵列分布，所述伸缩元件远离旋转座的一端设置有安装座，所述安装座上设置有第二链轮，所述链条与第二链轮相啮合。
[0010]作为本专利技术的进一步方案，所述伸缩元件包括第一连接筒和第一连接柱，所述第一连接柱的一端伸入所述第一连接筒内，且所述第一连接柱与所述第一连接筒滑动配合，所述第一连接筒固定安装在所述旋转座的侧壁上，所述第一连接柱远离旋转座的一端与所述安装座固定连接，所述第一连接筒内设置有第一弹簧，所述第一连接柱通过第一弹簧与所述第一连接筒的内侧壁弹性连接，所述第一连接柱伸入第一连接筒内的一端固定连接有第二牵引绳，所述旋转座的顶端设置有用于驱动第二牵引绳移动的调节元件。
[0011]作为本专利技术的进一步方案，所述调节元件包括调节筒和调节螺栓，所述调节筒固定安装于所述旋转座的顶端，所述调节筒内滑动安装有滑座，所述滑座的底端固定连接有第一牵引绳，所述第二牵引绳远离第一连接柱的一端与所述第一牵引绳的底端固定连接，滑座只能相对调节筒上下滑动，无法相对调节筒旋转，所述调节螺栓贯穿所述调节筒的顶壁，且所述调节螺栓与所述调节筒螺纹连接，所述调节螺栓的底端与所述滑座转动配合，所述调节螺栓的顶端固定安装有调节旋钮。
[0012]作为本专利技术的进一步方案，所述旋转盘内设置有多个张紧组件，所述张紧组件包括弹性支撑元件，所述弹性支撑元件的端部固定安装有支撑座，所述支撑座的顶端转动安装有第二转轴，所述第二转轴上套装有第三链轮，所述链条从第三链轮上绕过，且链条与第三链轮相啮合。
[0013]作为本专利技术的进一步方案，所述弹性支撑元件包括第二连接筒和第二连接柱，所述第二连接筒固定安装于所述旋转盘的内腔中，所述第二连接柱的一端伸入所述第二连接筒内，且所述第二连接柱与所述第二连接筒滑动配合，所述第二连接筒内设置有第二弹簧，所述第二连接柱通过第二弹簧与所述第二连接筒的内侧壁弹性连接，所述第二连接柱远离第二连接筒的一端与所述支撑座固定连接。
[0014]作为本专利技术的进一步方案，所述第二链轮通过连接销与所述安装座相连接，其中一个安装座上固定安装有连接帽，位于该安装座上的连接销的端部伸入所述连接帽内，且该连接销与连接帽转动配合，其余连接销与安装座固定连接，第二链轮套装在连接销上，使得其他第二链轮无法相对安装座转动，该安装座的顶端固定安装有储油瓶，所述储油瓶的底端连通设置有出液管，所述连接帽的内部开设有输油通道，所述连接帽的内壁开设有弧形槽，所述输油通道与所述弧形槽相连通，所述连接销伸入连接帽的一端的侧壁上固定安装有限位块，所述限位块滑动设置在所述弧形槽内。
[0015]作为本专利技术的进一步方案，所述弧形槽内填充有吸油棉，吸油棉具备一定的弹性，可在吸油棉内填充气囊来获得弹性，所述输油通道的出液端设置在吸油棉的顶端，当限位块移动至压缩吸油棉后，限位块将输油通道的出液端封闭，从而避免出油过多造成浪费，所述出液管内设置有单向阀。
[0016]作为本专利技术的进一步方案，所述安装座内转动安装有圆盘，所述圆盘的底端固定
连接有连接销，所述第二链轮套装在所述连接销上，所述圆盘上开设有通孔，所述第一连接筒的端部固定安装有锁定柱，所述锁定柱插入所述安装座内，且锁定柱与所述安装座滑动配合，所述锁定柱伸入所述通孔内，当第一连接柱伸出至极限距离时，锁定柱与通孔分离。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过支撑柱可对旋转盘进行支撑，通过电机可驱动旋转盘旋转，旋转盘旋转时带动多个旋转柱呈环形轨迹转动，通过传动机构可驱动旋转柱自转，从而使旋转柱一边自转一边呈环形轨迹转动，从而带动旋转柱上的镜片架同步运动，镀膜时将镜片固定在镜片架上，在真空室内材料的原子从加热源离析出来上升并打到被镀镜片表面进行射镀，镜片在真空室内充分运动，从而保证镜片镀膜的均匀性，镀膜均匀性较好。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的三维结构示意图；图2为本专利技术的俯视剖面结构示意图；图3为本专利技术第一齿轮本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，包括旋转盘（1）、支撑柱（3）和电机（2），所述电机（2）的输出端与所述旋转盘（1）传动连接，其特征在于：所述支撑柱（3）同轴设置在所述旋转盘（1）的底端，且所述支撑柱（3）与所述旋转盘（1）转动配合，所述旋转盘（1）的底端设置有多个旋转柱（4），所述旋转柱（4）上设置有多个用于对镜片进行夹持的镜片架（5），所述旋转盘（1）内设置有用于驱动旋转柱（4）旋转的传动机构。2.根据权利要求1所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，其特征在于：所述传动机构包括第一齿轮（6）、第一转轴（11）和传动组件（7），所述第一齿轮（6）套装在所述支撑柱（3）上，且所述第一齿轮（6）位于所述旋转盘（1）的内腔中，所述第一转轴（11）转动安装于所述旋转盘（1）内，所述第一转轴（11）上套装有第一链轮（9）和第二齿轮（12），所述第二齿轮（12）与第一齿轮（6）相啮合，所述传动组件（7）设置在所述旋转柱（4）的顶端，所述第一链轮（9）通过链条（10）与所述传动组件（7）传动连接。3.根据权利要求2所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，其特征在于：所述传动组件（7）包括旋转座（701），所述旋转座（701）固定安装于所述旋转柱（4）的顶端，所述旋转座（701）的侧壁固定安装有多个伸缩元件，所述伸缩元件远离旋转座（701）的一端设置有安装座（707），所述安装座（707）上设置有第二链轮（708），所述链条（10）与第二链轮（708）相啮合。4.根据权利要求3所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，其特征在于：所述伸缩元件包括第一连接筒（705）和第一连接柱（706），所述第一连接柱（706）的一端伸入所述第一连接筒（705）内，且所述第一连接柱（706）与所述第一连接筒（705）滑动配合，所述第一连接筒（705）固定安装在所述旋转座（701）的侧壁上，所述第一连接柱（706）远离旋转座（701）的一端与所述安装座（707）固定连接，所述第一连接筒（705）内设置有第一弹簧（709），所述第一连接柱（706）通过第一弹簧（709）与所述第一连接筒（705）的内侧壁弹性连接，所述第一连接柱（706）伸入第一连接筒（705）内的一端固定连接有第二牵引绳（712），所述旋转座（701）的顶端设置有用于驱动第二牵引绳（712）移动的调节元件。5.根据权利要求4所述的一种镜片真空镀膜机镜片架旋转驱动装置，其特征在于：所述调节元件包括调节筒（702）和调节螺栓（703），所述调节筒（702）固定安装于所述旋转座（701）的顶端，所述调节筒（702）内滑动安装有滑座（710），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘有亮，
申请(专利权)人：江苏浩纳光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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