一种真空镀膜机往复平移工件架制造技术

本申请涉及镀膜辅助架的领域，尤其是涉及一种真空镀膜机往复平移工件架，包括：安装架，用于安装在真空镀膜机的真空腔室内；行星轮系，安装在所述安装架上；驱动机构，用于驱动所述行星轮系的行星齿轮自传或公转；平移机构，安装在所述安装架上，包括用于带动被镀工件往复移动的随动板以及连接在所述随动板和所述行星轮系上任一行星齿轮之间的传动组件，所述传动组件通过所述行星齿轮的自传带动所述随动板往复移动。本申请具有可以减少对被镀工件进行检测时的检测成本，降低检测时繁琐性的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机往复平移工件架


[0001]本申请涉及镀膜辅助架的领域，尤其是涉及一种真空镀膜机往复平移工件架。

技术介绍

[0002]目前在对工件进行镀膜时，主要采用单体镀膜机（也称真空镀膜机）镀膜，单体镀膜机主要包括一个圆形的真空腔室，镀膜时，直接将靶材安装在圆形真空腔室的内壁上，然后在真空腔室内安装工件架，并将工件放置在工件架上，从而通过靶材对工件进行镀膜。
[0003]而为了保证镀膜的均匀性，现有的工件架主要包括安装在真空腔室底部的固定盘以及安装在固定盘上的行星轮系，通过将固定盘安装在真空腔室底部的中心，将待镀膜的工件安装在行星轮系的行星齿轮上，通过行星轮系将带动被镀工件公转或自传，以实现对工件的均匀镀膜。
[0004]然而此种方式主要适用于双面镀膜的小尺寸工件，而对于单面镀膜的大尺寸板类工件，常常需要在靶基距恒定的情况下进行镀膜作业。因此对于单面镀膜的大尺寸板类工件，目前主要采用连续镀膜线的镀膜方式，保证镀膜质量，提高镀膜效率。连续镀膜线包括依次连接在一起的多个腔室，每个腔室内安装有不同的靶材以为被镀工件镀不同的膜。通过传输线将多个腔室连通，被镀工件通过传输线依次从每个腔室穿过，通过多个腔室实现为被镀工件镀多层膜。
[0005]而在镀膜前或更换靶材时，往往需要对被镀工件的静态沉积速率、动态沉积速率、测量镀膜的温度累积情况以及测量成膜的结合力等进行统计，以便得出被镀工件在每个靶材处的被镀时间，从而对镀膜的质量进行把控。而由于连续镀膜线的长度一般长达数十米或几十米，当需要在连续镀膜线上对被镀工件的镀膜参数进行检测时，需要将整个生产线关停，然后将被镀工件取出以对被镀工件的参数进行检测，整个生产线将被循环启停，检测成本较高；并且随着被镀工件依次在不同腔室内镀膜，需要在不同位置将被镀工件取出，操作非常不便。
[0006]内容为了减少对被镀工件进行检测时的检测成本，降低检测时的繁琐性，本申请提供一种真空镀膜机往复平移工件架。
[0007]本申请提供的一种真空镀膜机往复平移工件架采用如下的技术方案：一种真空镀膜机往复平移工件架，包括：安装架，用于安装在单体镀膜机的真空腔室内；行星轮系，安装在所述安装架上；驱动机构，用于驱动所述行星轮系的行星齿轮自传或公转；平移机构，安装在所述安装架上，包括用于带动被镀工件往复移动的随动板以及连接在所述随动板和所述行星轮系上任一行星齿轮之间的传动组件，所述传动组件通过所述行星齿轮的自传带动所述随动板往复移动。
[0008]通过采用上述技术方案，当需要对被镀工件的参数进行检测时，直接将平移机构
安装在单体镀膜机内，然后将被镀工件安装在随动板上，并通过驱动机构带动行星齿轮自传。当行星齿轮自传的过程中，行星齿轮将通过传动组件带动随动板往复移动，随动板也将带动被镀工件直线运动，以模拟在工件在连续镀膜线上的镀膜工况。在镀膜的过程中，工作人员可以随时根据需要将单体镀膜机停止，直接将被镀工件从单体镀膜机内取出即可，不会对其余的被镀工件造成影响。而单体镀膜机的四周内壁上可以安装不同类型的靶材，使得在对被镀工件镀完一层膜后，可以通过驱动机构带动行星齿轮公转，以改变被镀工件的位置，使得被镀工件转移至另一靶材处。然后驱动机构带动行星齿轮自传，以通过另一靶材对被镀工件进行镀膜。通过将平移机构安装在现有的单体镀膜机内，即可实现对被镀工件的镀膜，且能够模拟连续镀膜线的镀膜要求，保持被镀工件与靶材之间的靶基距恒定。大大减少了对被镀工件进行检测时的检测成本，降低了检测时的繁琐性。
[0009]可选的，所述传动组件包括安装在所述安装架上的安装座、转动连接在所述安装座上的不完全齿轮以及滑动连接在所述安装座上的两条齿条，所述随动板同时固接在两条所述齿条上，两条所述齿条的齿牙相对设置，所述不完全齿轮与所述行星轮系上任一行星齿轮同轴固接且位于两条所述齿条之间，当所述不完全齿轮转动时，所述不完全齿轮依次与两条所述齿条啮合以带动所述齿条往复运动。
[0010]通过采用上述技术方案，当驱动机构带动行星齿轮自传时，与不完全齿轮连接的行星齿轮也带动不完全齿轮转动，当不完全齿轮与其中一条齿条啮合时，将带动齿条沿其长度方向往一端移动；当不完全齿轮与另一条齿条啮合时，由于两条齿条齿牙相对设置，将带动另一齿条反方向运动，实现带动齿条往复运动。
[0011]可选的，所述安装座上固接有两条支撑轨道，两条所述齿条分别滑动连接在两条所述支撑轨道内。
[0012]通过采用上述技术方案，支撑轨道可以对齿条起到导向的作用。
[0013]可选的，所述安装架包括用于固定在真空腔室内的固定盘、转动连接在所述固定盘上的主轴以及转动连接在所述主轴上的工装盘，所述平移机构安装在所述工装盘上，所述行星轮系的中心齿轮固接在所述主轴上，所述行星轮系的行星齿轮转动连接在所述工装盘上。
[0014]通过采用上述技术方案，使用时，直接将固定盘安装在单体镀膜机的底部，当驱动装置带动主轴转动时，将带动中心齿轮转动，以带动与中心齿轮啮合的行星齿轮转动，实现行星齿轮的自传；当驱动机构同时带动中心轴和工装盘转动时，将实现行星齿轮的公转。使用时，可以根据需要操作驱动机构驱动合适的部件转动。
[0015]可选的，所述驱动机构包括伺服电机以及连接在所述伺服电机和所述主轴之间的换向传动组件，所述换向传动组件用于将所述伺服电机的动力传递至所述安装架以带动所述行星齿轮自传或公转。
[0016]通过采用上述技术方案，通过伺服电机可以为行星轮系提供转动的动力，通过换向传动组件可以改变伺服电机传递至行星轮系上的力，以实现行星齿轮的自传或公转。
[0017]可选的，所述换向传动组件包括与所述伺服电机的输出轴同步转动的伸缩杆，所述伸缩杆上沿其轴线方向间隔固接有第一主动齿轮和第二主动齿轮，所述主轴上固接有第一从动齿轮，所述主轴上套设有与所述工装盘同步转动的第二从动齿轮；所述伸缩杆具有至少两种伸缩状态以对应所述行星齿轮的自传和公转，当所述伸缩杆处于第一状态时，所
述第一从动齿轮与所述第一主动齿轮啮合，所述第二从动齿轮与所述第二主动齿轮啮合；当所述伸缩杆处于第二状态时，所述第二从动齿轮脱离与所述第二主动齿轮的啮合关系，所述第一从动齿轮从与所述第一主动齿轮啮合改变为与所述第二主动齿轮啮合。
[0018]通过采用上述技术方案，当操作伸缩杆处于第一状态时，伺服电机将通过伸缩杆同时带动第一主动齿轮和第二主动齿轮同时转动，而第一主动齿轮和第二主动齿轮也通过第一从动齿轮和第二从动齿轮带动中心轴和工装盘同时转动，以带动中心齿轮和行星齿轮的同时转动，实现行星齿轮的公转。当伸缩杆处于第二状态时，伺服电机将同时带动第一主动齿轮和第二主动齿轮同时转动，而第一主动齿轮将带动第一从动齿轮转动，以通过工装盘带动行星齿轮转动，实现行星齿轮的自转。
[0019]可选的，所述伸缩杆包括与所述伺服电机输出轴同步转动的滑套以及滑动连接在所述滑套内的滑动轴，所述滑套侧壁上穿设有定位销，所述滑动轴上开设有供所述定位销穿过的至少两个定位孔，所述伸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机往复平移工件架，其特征在于，包括：安装架(1)，用于安装在真空镀膜机的真空腔室内；行星轮系(2)，安装在所述安装架(1)上；驱动机构(3)，用于驱动所述行星轮系(2)的行星齿轮(21)自传或公转；平移机构(4)，安装在所述安装架(1)上，包括用于带动被镀工件往复移动的随动板(41)以及连接在所述随动板(41)和所述行星轮系(2)上任一行星齿轮(21)之间的传动组件(42)，所述传动组件(42)通过所述行星齿轮(21)的自传带动所述随动板(41)往复移动。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机往复平移工件架，其特征在于：所述传动组件(42)包括安装在所述安装架(1)上的安装座(421)、转动连接在所述安装座(421)上的不完全齿轮(422)以及滑动连接在所述安装座(421)上的两条齿条(423)，所述随动板(41)同时固接在两条所述齿条(423)上，两条所述齿条(423)的齿牙相对设置，所述不完全齿轮(422)与所述行星轮系(2)上任一行星齿轮(21)同轴固接且位于两条所述齿条(423)之间，当所述不完全齿轮(422)转动时，所述不完全齿轮(422)依次与两条所述齿条(423)啮合以带动所述齿条(423)往复运动。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机往复平移工件架，其特征在于：所述安装座(421)上固接有两条支撑轨道(424)，两条所述齿条(423)分别滑动连接在两条所述支撑轨道(424)内。4.根据权利要求1所述的真空镀膜机往复平移工件架，其特征在于：所述安装架(1)包括用于固定在真空腔室内的固定盘(11)、转动连接在所述固定盘(11)上的主轴(12)以及转动连接在所述主轴(12)上的工装盘(13)，所述平移机构(4)安装在所述工装盘(13)上，所述行星轮系(2)的中心齿轮(22)固接在所述主轴(12)上，所述行星轮系(2)的行星齿轮(21)转动连接在所述工装盘(13)上。5.根据权利要求4所述的真空镀膜机往复平移工件架，其特征在于：所述驱动机构(3)包括伺服电机(31)以及连接在所述伺服电机(31)和所述主轴(12)之间的换向传动组件(32)，所述换向传动组件(32)用于将所述伺服电机(31)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕明，吴子敬，刘旭，金晨，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：