一种用于电子级化学品的取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于电子级化学品的取样装置，包括原料储备装置、取样室、取样瓶、取样管和真空管；所述真空管用于连接所述取样室和真空泵；所述取样管用于连接所述取样瓶和所述原料储备装置；所述取样瓶位于所述取样室内；所述取样室具有用于拿取所述取样瓶的取样窗口。本实用新型专利技术能够避免化学品收到环境污染，提高检测的可靠性。提高检测的可靠性。提高检测的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子级化学品的取样装置


[0001]本技术属于化学品生产设备
，特别是涉及一种用于电子级化学品的取样装置。

技术介绍

[0002]超纯电子级化学试剂，又称湿化学品，是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一。
[0003]在制备过程中，需要使用专业取样装置在取样口对化学品进行取样，目前的装置只能保证取样环境洁净度等级保持在10000级，远不能满足取样环境洁净度等级保持在10级的要求。
[0004]取样环境的洁净程度达不到要求，会导致化学品受到环境污染，造成测量结果不准影响生产线正常生产。

技术实现思路

[0005]本技术主要解决的技术问题是提供一种用于电子级化学品的取样装置，能够避免化学品收到环境污染，提高检测的可靠性。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：一种用于电子级化学品的取样装置，包括原料储备装置、取样室、取样瓶、取样管和真空管；
[0007]所述真空管用于连接所述取样室和真空泵；所述取样管用于连接所述取样瓶和所述原料储备装置；
[0008]所述取样瓶位于所述取样室内；
[0009]所述取样室具有用于拿取所述取样瓶的取样窗口。
[0010]本技术为解决其技术问题所采用的进一步技术方案是：
[0011]进一步地说，所述取样室为密闭式取样室。
[0012]进一步地说，所述取样管的一端穿过所述取样室并与所述取样瓶连通，所述取样管的另一端与所述原料储备装置连通。
[0013]进一步地说，所述原料储备装置为非耐力容器。
[0014]本技术的有益效果至少具有以下几点：
[0015]1、本技术的取样瓶可以完全隔绝外部污染，提高化学品检测的可靠性；
[0016]2、本技术可以避免工作人员直接接触化学品，降低生产安全隐患；
[0017]3、本技术取样瓶和取样管组装时无需通过阀门，可避免阀门对取样管产生污染，进而对化学品造成污染。
附图说明
[0018]图1是本技术的工艺设备结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0020]实施例：一种用于电子级化学品的取样装置，如图1所示，包括原料储备装置1、取样室2、取样瓶3、取样管4和真空管5；
[0021]所述真空管用于连接所述取样室和真空泵6；所述取样管用于连接所述取样瓶和所述原料储备装置；
[0022]所述取样瓶位于所述取样室内；
[0023]所述取样室具有用于拿取所述取样瓶的取样窗口7。
[0024]所述取样室为密闭式取样室。
[0025]所述取样管的一端穿过所述取样室并与所述取样瓶连通，所述取样管的另一端与所述原料储备装置连通。
[0026]所述原料储备装置包括但不限定于铁桶、200升桶、20升桶等非耐压力容器。
[0027]本技术的工作原理如下：
[0028]使用时，将取样瓶放入取样室内，关闭取样窗口后，启动真空泵，此时取样室内产生负压以使原料储备装置内的化学品通过取样管流入取样瓶内，取样结束后，关闭真空泵，取出取样瓶即可。
[0029]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级化学品的取样装置，其特征在于：包括原料储备装置、取样室、取样瓶、取样管和真空管；所述真空管用于连接所述取样室和真空泵；所述取样管用于连接所述取样瓶和所述原料储备装置；所述取样瓶位于所述取样室内；所述取样室具有用于拿取所述取样瓶的取样窗口。2.根据权利要求1所述的一种用于电子级化学品的取样装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：林益兴，陈仁才，
申请(专利权)人：联仕昆山化学材料有限公司，
类型：新型
国别省市：