激光加工用工作台制造技术

激光加工用工作台包括：下板，包括第一区域、包围第一区域的第二区域以及包围第二区域的第三区域；多个内部模块，配置在下板上的第一区域；以及多个外部模块，配置在下板上的第三区域，并且包围多个内部模块。并且包围多个内部模块。并且包围多个内部模块。

【技术实现步骤摘要】
激光加工用工作台


[0001]本专利技术涉及工作台。更详细地，本专利技术涉及激光加工用工作台。

技术介绍

[0002]近几年，半导体产业取得了很大发展，并由此在利用激光对半导体材料基板、压电材料基板或玻璃基板等基板进行切断、划线或图案化等加工技术上也取得了很大发展。
[0003]为了切割单元(cell)，正在利用使用激光束的加工。这种所述单元的激光加工工序将所述单元配置在工作台上，并且将所述激光束照射到期望的位置来进行。向所述单元照射所述激光束的激光扫描仪位于所述单元的激光加工用工作台的上部，并且利用使所述激光扫描仪沿着切割线移动的同时照射所述激光束的方法来实现加工。如上所述，若照射所述激光束，则所述基板沿着所述切割线被切割，从而被分离为作为所述切割线的中心部分的有效单元部分以及作为所述切割线的外廓部分的虚设部分。
[0004]另外，所述虚设部分是被丢弃的部分，并且实质上是不必要的部分，因此正在探索可最小化所述虚设部分的方案。此外，所述基板的切断形状(即，切割线的形状)可被变更，并且在该情况下，存在需要将所述单元的激光加工用工作台替换为与新的切割线对应的激光加工用工作台的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于，提供一种改善了可靠性和有效利用性的激光加工用工作台。
[0006]但是，本专利技术的目的并不限于上述的目的，在不超出本专利技术的思想和领域的范围内可进行各种扩展。
[0007]为了实现前述的本专利技术的目的，本专利技术的一实施例涉及的激光加工用工作台可包括：下板，包括第一区域、包围所述第一区域的第二区域以及包围所述第二区域的第三区域；多个内部模块，配置在所述下板上的所述第一区域；以及多个外部模块，配置在所述下板上的所述第三区域，并且包围所述多个内部模块。
[0008]根据一实施例，可以是，所述第二区域的宽度恒定，所述第二区域具有包括平行于第一方向的边以及平行于不同于所述第一方向的第二方向的边的第一多边形形状。
[0009]根据一实施例，可以是，所述第二区域的宽度恒定，所述第二区域具有包括平行于第一方向的边、平行于不同于所述第一方向的第二方向的边以及平行于不同于所述第一方向及所述第二方向的第三方向的边的第二多边形形状。
[0010]根据一实施例，可以是，所述多个内部模块之中与平行于所述第三方向的所述边相邻的内部模块具有包括平行于所述第三方向的边的形状。
[0011]根据一实施例，可以是，所述多个外部模块之中与平行于所述第三方向的所述边相邻的外部模块具有包括平行于所述第三方向的边的形状。
[0012]根据一实施例，可以是，对于所述多个内部模块之中与所述第二区域相邻的内部模块而言，根据所述第二区域的形状来决定与所述第二区域相邻的所述内部模块的外廓的
形状。
[0013]根据一实施例，可以是，对于所述多个外部模块之中与所述第二区域相邻的外部模块而言，根据所述第二区域的形状来决定与所述第二区域相邻的所述外部模块的外廓的形状。
[0014]根据一实施例，可以是，所述多个内部模块包括具有第一形状的多个第一内部模块以及具有第二形状的多个第二内部模块，并且组合所述多个第一内部模块和所述多个第二内部模块来使所述多个第一内部模块和所述多个第二内部模块的整体形状对应于所述第一区域。
[0015]根据一实施例，可以是，所述多个内部模块包括具有第一形状的多个第一内部模块、具有第二形状的多个第二内部模块以及具有第三形状的多个第三内部模块，并且组合所述多个第一内部模块、所述多个第二内部模块以及所述多个第三内部模块来使所述多个第一内部模块至所述多个第三内部模块的整体形状对应于所述第一区域。
[0016]根据一实施例，可以是，所述多个外部模块包括具有第一形状的多个第一外部模块和具有第二形状的多个第二外部模块，并且组合所述多个第一外部模块和所述多个第二外部模块来使所述多个第一外部模块和所述多个第二外部模块的整体形状对应于所述第三区域。
[0017]根据一实施例，可以是，在所述多个内部模块和所述多个外部模块上配置包括有效单元部分和包围所述有效单元部分的虚设部分的加工对象部件，所述有效单元部分与所述虚设部分的边界被定义为切割线，并且所述切割线与所述第二区域重叠。
[0018]根据一实施例，可以是，所述多个内部模块及所述多个外部模块与所述下板结合。
[0019]根据一实施例，可以是，所述多个内部模块彼此接触。
[0020]根据一实施例，可以是，所述多个外部模块彼此接触。
[0021]根据一实施例，可以是，所述多个内部模块和所述多个外部模块分别使侧面倾斜使得上表面的面积大于底面的面积。
[0022]根据一实施例，可以是，所述下板还包括与所述第二区域重叠并且形成在所述下板的内部的异物质排出流路。
[0023]根据一实施例，可以是，所述下板还包括从所述下板朝向所述多个内部模块和所述多个外部模块的方向突出的多个支承部，所述多个支承部分别包括在内部形成为与所述内部模块或所述外部模块结合的贯通孔。
[0024]根据一实施例，可以是，所述多个支承部使侧面倾斜使得底面的面积大于上表面的面积。
[0025]根据一实施例，可以是，所述多个内部模块和所述多个外部模块分别包括：吸附流路，形成在内部；以及结合部，与所述贯通孔结合，所述结合部的内部与所述吸附流路连接。
[0026]根据一实施例，可以是，所述贯通孔、所述结合部和所述吸附流路彼此被连接，并且所述贯通孔、所述结合部和所述吸附流路各自的内部处于真空状态。
[0027](专利技术效果)
[0028]内部模块和外部模块可与下板分离，从而可根据加工对象部件的形状来替换为具有所述形状的模块。由此，当加工对象部件的形状被变更时，无需替换工作台整体，仅替换数个模块即可，从而可最小化时间、费用和劳动力。因此，可改善激光加工用工作台的有效
利用性。
[0029]模块的底面的面积小于上表面的面积，并且下板的支承部具有底面的面积大于上表面的面积的四角锥台形状，从而可容易实现在激光加工时所产生的异物质的排出。由此，可改善激光加工用工作台的可靠性。
[0030]但是，本专利技术的效果并不限于前述的效果，在不超出本专利技术的思想和领域的范围可进行各种扩展。
附图说明
[0031]图1是示出包括于本专利技术的一实施例涉及的激光加工用工作台的下板的平面图。
[0032]图2是放大了包括于图1的下板的支承部的立体图。
[0033]图3是示出图1的下板的区域的平面图。
[0034]图4和图5是沿着图3的I
‑
I
′
线截取的剖视图。
[0035]图6是放大了包括于本专利技术的一实施例涉及的激光加工用工作台的块的立体图。
[0036]图7是示出包括于本专利技术的一实施例涉及的激光加工用工作台的内部模块和外部模块的平面图。
[0037]图8是示出配置在本专利技术的一实施例涉及的激光加工用工作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光加工用工作台，包括：下板，包括第一区域、包围所述第一区域的第二区域以及包围所述第二区域的第三区域；多个内部模块，配置在所述下板上的所述第一区域；以及多个外部模块，配置在所述下板上的所述第三区域，并且包围所述多个内部模块。2.根据权利要求1所述的激光加工用工作台，其特征在于，所述第二区域的宽度恒定，所述第二区域具有包括平行于第一方向的边以及平行于与所述第一方向交叉的第二方向的边的第一多边形形状。3.根据权利要求1所述的激光加工用工作台，其特征在于，所述第二区域的宽度恒定，所述第二区域具有包括平行于第一方向的边、平行于与所述第一方向交叉的第二方向的边以及平行于与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向的边的第二多边形形状。4.根据权利要求3所述的激光加工用工作台，其特征在于，所述多个内部模块之中与平行于所述第三方向的所述边相邻的内部模块具有包括平行于所述第三方向的边的形状。5.根据权利要求3所述的激光加工用工作台，其特征在于，所述多个外部模块之中与平行于所述第三方向的所述边相邻的外部模块具有包括平行于所述第三方向的边的形状。6.根据权利要求1所述的激光加工用工作台，其特征在于，对于所述多个内部模块之中与所述第二区域相邻的内部模块而言，根据所述第二区域的形状来决定与所述第二区域相邻的所述内部模块的外廓的形状。7.根据权利要求1所述的激光加工用工作台，其特征在于，对于所述多个外部模块之中与所述第二区域相邻的外部模块而言，根据所述第二区域的形状来决定与所述第二区域相邻的所述外部模块的外廓的形状。8.根据权利要求1所述的激光加工用工作台，其特征在于，所述多个内部模块包括具有第一形状的多个第一内部模块以及具有第二形状的多个第二内部模块，组合所述多个第一内部模块和所述多个第二内部模块来使所述多个第一内部模块和所述多个第二内部模块的整体形状对应于所述第一区域。9.根据权利要求1所述的激光加工用工作台，其特征在于，所述多个内部模块包括具有第一形状的多个第一内部模块、具有第二形状的多个第二内部模块以及具有第三形状的多个第三内部模块，组合所述多个第一内部模块、所述多个第二内部模块以及所述多个第三内部模块来使所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭先中，柳洙昌，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：