一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉制造技术

本申请提供一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉，涉及半导体技术领域。其中，籽晶杆提拉机构包括支撑架、升降架、升降装置和基座；支撑架转动连接于基座，升降装置设于支撑架上，升降架的一端驱动连接于升降装置，升降架的另一端连接于籽晶杆。本申请的技术方案，通过支撑架上的升降装置驱动籽晶杆进行升降，通过基座与支撑架连接并提供支撑，且支撑架可相对于基座转动，从而能够调整籽晶杆的轴向位置，便于拿取籽晶或晶体，以解决现有技术中操作不便的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉。

技术介绍

[0002]蓝宝石晶体是一种优良的单晶材料，被广泛应用于衬底基片、激光基片、光学元件等众多半导体领域。蓝宝石晶体可以通过多种方法制备，如提拉法，其具体过程是：原料在坩埚中被加热至熔化，形成熔体，籽晶接触到熔体，当籽晶和熔体的固液界面存在温度差时(籽晶温度低于熔体温度)，熔体过冷而开始在籽晶的表面凝固，并生长成与籽晶相同晶体结构的单晶，即晶体生长。晶体向四周生长，需要缓慢地将籽晶向上拉升，为晶体生长提供空间，并以一定转速旋转，使熔体逐渐凝固在籽晶的固液界面上，且晶体在生长的过程中始终不与坩埚壁接触。
[0003]现有技术中，通常在坩埚上方设置一根可以旋转和升降的籽晶杆，籽晶装在籽晶杆的底端。由于在晶体生长过程中，籽晶或晶体不能与坩埚壁接触，籽晶杆通常设置在坩埚的中心，因此，在取放籽晶或晶体时非常不便；另外，籽晶杆通常由在其顶部设置的电机驱动进行旋转或升降，晶体生长结束后，电机驱动籽晶杆下降过程较为缓慢，而影响生产效率。
[0004]因此，需要一种提拉机构，以解决取放籽晶或晶体时操作不便、和晶体生长结束后籽晶杆下降过程慢的问题。

技术实现思路

[0005]本申请的主要目的在于，提供一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉，以至少解决取放籽晶或晶体时操作不便、和晶体生长结束后籽晶杆下降过程慢的问题的其中之一。
[0006]为解决上述技术问题，本申请实施例提供如下技术方案：/>[0007]一方面本申请提供一种籽晶杆提拉机构，所述提拉机构包括支撑架、升降架、升降装置和基座；其中，
[0008]所述支撑架转动连接于所述基座，所述升降装置设于所述支撑架上，所述升降架的一端驱动连接于所述升降装置，所述升降架的另一端连接于籽晶杆。
[0009]优选地，所述支撑架包括支撑板、顶板、和设于所述支撑板与所述顶板之间的至少一个立柱和至少一个导轨板；
[0010]所述支撑板位于所述顶板下方，至少一个所述导轨板位于所述支撑板的一端，所述导轨板上设有导轨，所述升降架滑动连接于所述导轨。
[0011]优选地，所述升降装置包括电动升降组件，所述电动升降组件包括丝杠、第一传动装置和电机；其中，
[0012]所述丝杠的顶部和底部分别转动连接于所述顶板和所述支撑板，且所述丝杠与所述导轨平行设置，所述第一传动装置分别连接于所述电机和所述丝杠的底部，所述电机驱动所述第一传动装置运动，以使所述丝杠转动。
[0013]优选地，所述第一传动装置包括蜗轮和蜗杆，所述电机的输出轴与所述蜗杆的一端相连接，所述蜗杆与所述蜗轮啮合连接，所述蜗轮套设于所述丝杠，所述电机通过所述第一传动装置驱动所述丝杠转动。
[0014]优选地，所述第一传动装置还包括减速器，所述电机的输出轴连接于所述减速器的输入端，所述减速器的输出端连接于所述蜗杆的所述一端。
[0015]优选地，所述升降装置还包括手动升降组件，所述手动升降组件包括手轮、手轮轴和第二传动装置，所述手轮连接于所述手轮轴，所述第二传动装置分别连接于所述丝杠的底部和所述手轮轴，所述手轮转动能够带动所述手轮轴转动，以通过所述第二传动装置驱动所述丝杠转动。
[0016]优选地，所述第二传动装置包括主动齿轮、从动齿轮和齿轮轴，所述主动齿轮连接于所述齿轮轴的一端，所述齿轮轴的另一端与所述手轮轴通过第一联轴器相连接，所述从动齿轮与所述主动齿轮啮合，且所述从动齿轮的轴向与所述主动齿轮的轴向垂直；
[0017]所述从动齿轮套设于所述丝杠的底部。
[0018]优选地，所述升降装置还包括离合器，所述离合器包括动盘和衔铁，所述动盘与所述丝杠相连接，所述衔铁与所述蜗轮相连接，所述动盘和所述衔铁能够在通电时吸合以使所述蜗轮带动所述丝杠同步转动。
[0019]优选地，所述升降架上设有与所述导轨适配的滑块，且所述升降架的所述一端设有螺纹孔，所述升降架通过所述螺纹孔螺纹连接于所述丝杠，所述滑块可滑动地卡接于所述导轨；
[0020]所述基座上设有竖直设置的基轴，所述支撑板的另一端设有连接孔，所述连接孔通过第一轴承与所述基轴的顶端转动连接。
[0021]另一方面，本申请提供一种晶体生长炉，包括籽晶杆、坩埚和上述的籽晶杆提拉机构，所述籽晶杆提拉机构驱动所述籽晶杆机构沿所述坩埚的轴向升降、或转动至偏离所述坩埚的轴向。
[0022]相较于现有技术，本申请提供的籽晶杆提拉机构及至少具有以下有益效果：本申请通过支撑架上的升降装置驱动籽晶杆进行升降，通过基座与支撑架连接并提供支撑，且支撑架可相对于基座转动，从而能够调整籽晶杆的轴向位置，便于拿取籽晶或晶体，以解决现有技术中操作不便的问题。
[0023]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0024]通过参考附图阅读下文的详细描述，本申请示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本申请的若干实施方式，相同或对应的标号表示相同或对应的部分，其中：
[0025]图1示出了本申请的一个示例性实施例的籽晶杆提拉机构的结构示意图；
[0026]图2示出了本申请的一个示例性实施例的籽晶杆提拉机构的侧视图；
[0027]图3示出了本申请的一个示例性实施例的籽晶杆提拉机构前视图；
[0028]图4示出了本申请的一个示例性实施例的籽晶杆提拉机构的升降装置的结构示意
图。
[0029]附图标号说明：
[0030]1支撑架，2升降架，3丝杠，4支撑板，5基轴，6蜗轮箱，7导轨，8籽晶杆，9电机，10减速器，11蜗杆，12主动齿轮，13第一联轴器，14手轮轴，15手轮，16第二联轴器，17蜗轮固定轴，18衔铁固定盘，19衔铁，20离合器主体，21离合器固定盘，22顶板，23立柱。
具体实施方式
[0031]下面将参照附图更详细地描述本申请的示例性实施方式。虽然附图中显示了本申请的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0032]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本申请所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0033]实施例一
[0034]如图1至图4所示，为解决现有技术存在的问题，本申请的实施例一提供一种籽晶杆提拉机构，用于驱动籽晶杆8进行升降，提拉机构包括支撑架1、升降架2、升降装置和基座；其中，
[0035]支撑架1转动连接于基座，升降装置设于支撑架1上，升降架2的一端驱动连接于升降装置，升降架2的另一端连接于籽晶杆8。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶杆提拉机构，其特征在于，所述提拉机构包括支撑架、升降架、升降装置和基座；其中，所述支撑架转动连接于所述基座，所述升降装置设于所述支撑架上，所述升降架的一端驱动连接于所述升降装置，所述升降架的另一端连接于籽晶杆。2.根据权利要求1所述的籽晶杆提拉机构，其特征在于，所述支撑架包括支撑板、顶板、和设于所述支撑板与所述顶板之间的至少一个立柱和至少一个导轨板；所述支撑板位于所述顶板下方，至少一个所述导轨板位于所述支撑板的一端，所述导轨板上设有导轨，所述升降架滑动连接于所述导轨。3.根据权利要求2所述的籽晶杆提拉机构，其特征在于，所述升降装置包括电动升降组件，所述电动升降组件包括丝杠、第一传动装置和电机；其中，所述丝杠的顶部和底部分别转动连接于所述顶板和所述支撑板，且所述丝杠与所述导轨平行设置，所述第一传动装置分别连接于所述电机和所述丝杠，所述电机驱动所述第一传动装置运动，以使所述丝杠转动。4.根据权利要求3所述的籽晶杆提拉机构，其特征在于，所述第一传动装置包括蜗轮和蜗杆，所述电机的输出轴与所述蜗杆的一端相连接，所述蜗杆与所述蜗轮啮合连接，所述蜗轮套设于所述丝杠，所述电机通过所述第一传动装置驱动所述丝杠转动。5.根据权利要求4所述的籽晶杆提拉机构，其特征在于，所述第一传动装置还包括减速器，所述电机的输出轴连接于所述减速器的输入端，所述减速器的输出端连接于所述蜗杆的所述一端。6.根据权利要求4所述的籽晶杆提拉机构，其特征在于，所述升降...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱苏宁，
申请(专利权)人：芜湖东旭光电装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：