晶体支撑装置具有两个带有保持卡爪(10)的棘爪(3、4)。与迄今已知的设备相比，保持卡爪(10)不是平行于棘爪的摆动轴伸延，而是优选垂直于其伸延。这允许棘爪陡峭地布置，因为不再存在棘爪(3、4)被支撑力侧向推开的风险。此外，承载缆线可以直接固定在棘爪(3、4)处。4)处。4)处。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】晶体支撑装置和具有这种晶体支撑装置的拉晶设备
[0001]本专利技术涉及一种用于拉晶设备(Kristallziehanlage)的晶体支撑装置(Kristallunterstuetzung)，其具有两个分别围绕摆动轴(或称为摆动轴线，即Schwenkachse)可翻转的棘爪，所述棘爪拥有可以靠置到待拉的晶体的颈部加厚部处的保持卡爪(Haltebacke)，以及具有用于将所述棘爪与所述拉晶设备的承载缆线连接的器件，其中所述棘爪可以占据贴靠位置和释放位置，在所述贴靠位置中所述棘爪贴靠在颈部加厚部处，在所述释放位置中所述棘爪从所述颈部加厚部移除。
技术介绍
[0002]这种类型的晶体支撑装置用于拉晶设备，以便能够从熔体(Schmelz)中拉出具有大直径的晶体。在拉晶体时，首先从晶种(Impfling)产生颈部，该颈部保持尽可能薄，以便产生尽可能均匀的晶体结构。只有当可以预期晶体结构中不再存在任何缺陷时，才开始拉真正的晶体，为了获得具有尽可能大的直径的晶片(Wafer)，该晶体应该尽可能厚。此外，晶体应尽可能长，这会导致高晶体重量。
[0003]拉出的晶体在拉的时候仅仅悬挂在薄的颈部处，从而存在其撕裂的危险。
[0004]因此已经建议，在开始拉动真正的晶体之前，首先在颈部中产生加厚部，其可以被缆线传动装置操纵的晶体支撑装置从下部作用。由此待拉的晶体不仅悬挂在颈部处，而且经由加厚部由晶体支撑装置承载。
[0005]对于尤其在DE 10 2006 034 433 A1、DE 11 2012 001 596 T5、DE 197 10 856 A1 和 DE 10 2008 047 599 A1中所描述的迄今提出的晶体支撑装置共同的是，在围绕晶体或晶体颈部的托架处布置有两个棘爪，其摆动轴切向于晶体地伸延且其自由端部具有保持卡爪，所述保持卡爪翻转到颈部加厚部之下。保持卡爪或者说在保持卡爪之间的分隔平面在此平行于摆动轴伸延。在贴靠位置中接触点(卡爪以该接触点贴靠在颈部加厚部处)分别在分隔平面的平行于摆动轴穿过晶体的轴线伸延的侧面上伸延。因此，两个夹爪相对于该分隔平面对称地构造。由于棘爪从斜下方向压靠加厚部，所以除了施加轴向力之外还施加径向力，这使得必须以相应稳定的方式实施托架，以便棘爪不会被侧向推开。人们可能设想如下：相对陡峭地布置棘爪。然而，这带来棘爪在颈部加厚部处滑落的风险。另一个缺点是生长的晶体的重量对卡爪朝着其释放位置的方向加负载。这存在这样的风险：卡爪缩回，从而晶体可以在分隔平面中侧向偏移。
技术实现思路
[0006]因此，本专利技术基于如下任务：提供一种尽可能轻巧地构建的紧凑且稳定的晶体支撑装置。
[0007]为了解决该问题，本专利技术建议，所述分隔平面在与摆动轴中的至少一个成角度的情况下伸延，并且在所述贴靠位置中，每个卡爪的接触点位于穿过晶体轴线并平行于摆动轴中的一个伸延的晶体平面的两侧。
[0008]这导致，棘爪可以陡峭地定向，因为作用在棘爪上的力围绕摆动轴不产生扭矩或仅仅产生较小的扭矩。相反，主要支撑力平行于摆动轴作用。由于棘爪的陡峭布置，晶体支撑装置需要较小的空间，且因此可以紧凑地构建。此外，棘爪在压缩时比在弯曲时要求更大的压力，这允许轻质结构构造。晶体的陡峭支撑是低振动的，这对拉过程的控制具有积极的反作用。
[0009]如果所述摆动轴彼此平行或同轴伸延，并且如果所述分隔平面与其垂直伸延，则该结构是特别简单的。
[0010]在摆动轴的同轴布置中，几乎完全避免了径向力分量，从而使得摆动轴的支承件只须吸收由于晶体重量而产生的不可避免的轴向力。
[0011]棘爪的操纵优选地利用承载缆线实现。因此，每个棘爪都与承载缆线保持部连接。
[0012]这些承载缆线保持部优选地围绕平行于摆动轴伸延的轴线支承在棘爪处。
[0013]为了操纵棘爪，本专利技术设置成，棘爪可摆动地支承在具有中央自由空间的托架处，在所述托架的上侧处存在两个控制缆线保持部。当托架降低时，棘爪由保持就位的承载缆线抵靠彼此翻转。
[0014]托架还允许将控制缆线保持部相对于摆动轴偏离地布置。由此，控制缆线和承载缆线可以布置在一个平面中，这允许缆线传动卷筒的紧凑布置。
[0015]当摆动轴由支承短柱(控制缆线保持部固定在所述支承短柱处)形成时，获得晶体支撑装置的非常窄的结构。
[0016]优选地，使用以相同方式构建的两个棘爪。棘爪具有弓形形状，其中在支架(或称为弓形件，即Buegel)的端部处实现在摆动轴中的支承。在支架的顶点的侧面分别存在基座，所述基座从支架垂直突出并且在其面向所述支架的顶点的一侧处存在倾斜或垂直于所述支架伸延的内侧，所述内侧形成所述保持卡爪。保持卡爪具有半圆形凹部，加厚部可以置入到该半圆形凹部中。承载缆线保持部支承在支架的后侧处。
[0017]每两个棘爪如此地一起布置在托架中，使得其内侧与基座彼此相对而置，其中，当棘爪抵靠彼此翻转时，棘爪在突起部处彼此滑过，从而使得保持卡爪相对而置并形成闭合的圆形凹部，颈部加厚部可以置入到该圆形凹部中。
[0018]此外本专利技术涉及一种具有晶体支撑装置的拉晶设备，其中在所述拉晶设备的头部中承载缆线卷筒和控制缆线卷筒处于相同高度上，其中，所述承载缆线和所述控制缆线分别在相关联的卷筒的面向另一个卷筒的一侧上进入。
[0019]两个卷筒的轴线在相同高度上平行伸延，其中，承载缆线和控制缆线进入到卷筒之间的间隙中并且彼此反向地卷绕到在分别相关联的卷筒上。
附图说明
[0020]下面要依据两个实施例更详细地解释本专利技术。为此：图1示出本专利技术的第一实施形式的透视图，图2示出本专利技术的第二实施形式的透视图，且图3以俯视图示出了缆线传动装置在两个卷筒处的悬挂。
具体实施方式
[0021]首先参考图1。其示出具有环形托架2的晶体支撑装置1，在环形托架处两个棘爪3、4相对而置地支承在摆动支承件8中，所述摆动支承件的轴线位于共同的、伸延穿过托架中心的直线5上。相对直线5偏移90
°
地，在托架2处存在两个控制缆线保持部6，其与拉晶装置的头部中的控制缆线卷筒连接。
[0022]每个棘爪3、4由弧形的支架7组成，所述支架的向下指向托架2的端部终止于摆动支承件8的各一个中，所述摆动支承件由向内指向托架的支承短柱17组成，端部安插到所述支承短柱上。支架7的顶点向上指向，即在朝向拉晶装置的头部的方向上。
[0023]两个支架7关于晶体平面相对而置，其中，支架7的彼此面向的侧面分别具有基座9。晶体平面由晶体的轴线和由直线5(摆动支承件的轴线位于该直线上)展开。当用于两个棘爪的摆动支承件的轴线彼此间隔开时，晶体平面与所述轴线平行地伸延。基座9彼此抵靠且相对于支架7的中间错开，从而使得在竖立的棘爪3、4的情况下，基座的指向托架中心的内侧相对而置并且分别形成保持卡爪10。
[0024]当棘爪抵靠彼此翻转时，基座9的内侧经过彼此，从而使得保持卡爪10以较小的间距相对而置。保持卡爪10之间的分隔平面因本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于拉晶设备的晶体支撑装置，所述晶体支撑装置具有两个分别围绕摆动轴可翻转的棘爪(3、4)，所述棘爪拥有能够靠置到待拉的晶体的颈部加厚部(13)处的保持卡爪(10)，以及具有用于将所述棘爪(3、4)与所述拉晶设备的承载缆线连接的器件，其中，所述棘爪(3、4)能够占据贴靠位置和释放位置，在所述贴靠位置中所述棘爪贴靠在所述颈部加厚部(13)处，在所述释放位置中所述棘爪从所述颈部加厚部(13)移除，其中，在所述贴靠位置中，卡爪以接触点贴靠在所述颈部加厚部处，所述接触点分别位于分隔平面的一侧上，其特征在于，所述分隔平面在与所述摆动轴中的至少一个成角度的情况下伸延，并且在所述贴靠位置中，每个卡爪的接触点位于穿过晶体轴线并平行于所述摆动轴中的一个地伸延的晶体平面的两侧。2.根据权利要求1所述的晶体支撑装置，其特征在于，所述摆动轴彼此平行或同轴地伸延，并且所述分隔平面与所述摆动轴垂直地伸延。3.根据权利要求1或2所述的晶体支撑装置，其特征在于，所述棘爪(3、4)与所述承载缆线保持部(16)连接。4.根据权利要求3所述的晶体支撑装置，其特征在于，所述承载缆线保持部(16)围绕平行于所述摆动轴伸延的轴线支承在所述棘爪(3、4)处...
【专利技术属性】
技术研发人员：HJ，
申请(专利权)人：PVA特普拉股份公司，
类型：发明
国别省市：
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