本实用新型专利技术涉及镜头技术领域，尤其是指一种可切换物镜的视觉检测装置，包括主镜头、光谱共焦镜头、聚焦光学镜片模组以及物镜，聚焦光学镜片模组装设于光谱共焦镜头，主镜头包括后端镜头以及装设于后端镜头的前端镜头，物镜可拆卸装设于前端镜头，前端镜头装设有第一分光件；光谱共焦镜头的发出的光经过聚焦光学镜片模组后形成平行光，再由第一分光件反射至物镜。本实用新型专利技术提供的一种可切换物镜的视觉检测装置，帮助主镜头进行对焦，而聚焦光学镜片模组形成平行光路，配合前端镜头和物镜的平行光路，从而使得物镜可以进行更换，即同一主镜头可以匹配不同的物镜，增加成像系统的倍率调整范围，可以适用于更对不同的产品的检测。可以适用于更对不同的产品的检测。可以适用于更对不同的产品的检测。
【技术实现步骤摘要】
一种可切换物镜的视觉检测装置
[0001]本技术涉及镜头
，尤其是指一种可切换物镜的视觉检测装置。
技术介绍
[0002]显微模组镜头搭配高倍物镜成像系统应用广泛，尤其是半导体行业，但由于物镜的倍率一般很高，如2X、10X、20X、50X、100X、200X等，所以成像的景深就非常小，常规对焦在使用过程中很难对焦清晰，得不到最佳的成像效果。所以目前会有采用激光或者光谱镜头等光学系统辅助镜头进行对焦，但是由于激光或者光谱镜头的镜片模组设置的原因，与物镜只能单一匹配，即一台镜头只能匹配一种倍率的物镜，导致在使用范围上会受限。
技术实现思路
[0003]本技术针对现有技术的问题提供一种可切换物镜的视觉检测装置，采用光谱共焦镜头辅助对焦，配合第一光学镜片能够实现切换不同物镜的目的，提高适用范围。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种可切换物镜的视觉检测装置，包括主镜头、光谱共焦镜头、聚焦光学镜片模组以及物镜，所述聚焦光学镜片模组装设于所述光谱共焦镜头，所述主镜头包括后端镜头以及装设于所述后端镜头的前端镜头，所述物镜可拆卸装设于所述前端镜头，所述前端镜头装设有第一分光件；所述光谱共焦镜头的发出的光经过所述聚焦光学镜片模组后形成平行光，再由第一分光件反射至所述物镜。
[0005]优选的，所述聚焦光学镜片模组与所述主镜头之间装设有第一反光件，所述第一反光件将所述聚焦光学镜片模组发出的平行光反射到所述第一分光件。
[0006]优选的，所述可切换物镜的视觉检测装置还包括照明镜头，所述照明镜头包括光源以及照明镜片模组，所述主镜头靠近物方的一端还装设有第二分光件；所述光源发出的光经过照明镜片模组后，经由第二分光件反射到所述物镜。
[0007]优选的，所述照明镜头还包括第二反光件，所述第二反光件装设于所述第二分光件和照明镜片模组之间，所述照明镜片模组发出的光束经由所述第二反光件反射到第二分光件，再由第二分光件反射到所述物镜。
[0008]优选的，所述前端镜头包括第一角度可调外筒，所述第一分光件装设于所述第一角度可调外筒内，所述第一角度可调外筒转动装设于所述后端镜头，所述聚焦光学镜片模组的出光端装设于所述第一角度可调外筒。
[0009]优选的，所述前端镜头还包括第二角度可调外筒，所述第二分光件装设于所述第二角度可调外筒内，所述第二角度可调外筒转动装设于所述后端镜头，所述照明镜头装设于所述第二角度可调外筒。
[0010]优选的，所述聚焦光学镜片模组与所述主镜头之间还装设有反光角度调节组件，所述第一反光件装设于所述反光角度调节组件，所述反光角度调节组件用于调整所述第一反光件的位置角度。
[0011]优选的，所述光谱共焦镜头发出的光为可见光或不可见光。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]本技术提供的一种可切换物镜的视觉检测装置，将光谱共焦镜头与主镜头同轴设置，可以通过发出光源来辅助主镜头进行对焦，并且，在光谱共焦镜头与主镜头之间设置聚焦光学镜片模组，第一光学镜片将光谱共焦镜头的光源转换为平行光，再经过第一分光件分光至物镜，并透过物镜汇聚到物面，再通过物面反射的光到光谱共焦镜头，可以通过这个过程产生的光程差来计算出被测物的高度、厚度等，从而帮助主镜头进行对焦，而聚焦光学镜片模组形成平行光路，配合前端镜头和物镜的平行光路，从而使得物镜可以进行更换，即同一主镜头可以匹配不同的物镜，增加成像系统的倍率调整范围，可以适用于更对不同的产品的检测。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图一；
[0015]图2为本技术的结构示意图二；
[0016]图3为本技术的结构示意图三；
[0017]图4为本技术的结构示意图四；
[0018]图5为图4的截面图；
[0019]图6为图4中的第一角度可调外筒和第二角度可调外筒改变角度后的结构示意图；
[0020]图7为本技术的结构示意图五。
[0021]在图1至图7中的附图标记包括：
[0022]1‑
主镜头，2
‑
光谱共焦镜头，3
‑
聚焦光学镜片模组，4
‑
物镜，5
‑
后端镜头，6
‑
前端镜头，7
‑
第一分光件，8
‑
第一反光件，9
‑
光源，10
‑
照明镜片模组，11
‑
第二分光件，12
‑
第二反光件，13
‑
第一角度可调外筒，14
‑
第二角度可调外筒，15
‑
反光角度调节组件。
具体实施方式
[0023]为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本技术作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本技术的限定。以下结合附图对本技术进行详细的描述。
[0024]本实施例提供的一种可切换物镜4的视觉检测装置，如图1，包括主镜头1、光谱共焦镜头2、聚焦光学镜片模组3以及物镜4，所述聚焦光学镜片模组3装设于所述光谱共焦镜头2，所述主镜头1包括后端镜头5以及装设于所述后端镜头5的前端镜头6，所述物镜4可拆卸装设于所述前端镜头6，所述前端镜头6装设有第一分光件7；所述光谱共焦镜头2的发出的光经过所述聚焦光学镜片模组3后形成平行光，再由第一分光件7反射至所述物镜4。其中主镜头1可选为高倍率显微装置。
[0025]具体地，如图1所示，本实施例在主镜头1装设光谱共焦镜头2，光谱共焦镜头2包括光源以及光谱共焦镜片模组，均为现有技术，根据实际需求进行选择即可，可以通过光源的光为主镜头1的成像辅助对焦，可选的，光谱共焦镜头2的光源发出的光为可见光或不可见光，当采用不可见光时，如红外光，同样能够完成辅助对焦功能，并且还能避免产生光斑影响成像精度；进一步的，本实施例增设聚焦光学镜片模组3，聚焦光学镜片模组3能够将光谱
共焦镜头2的光路转换为平行光路，具体的原理为：光谱共焦镜头2的光源经过光谱共焦镜片模组后，经过聚焦光学镜片模组3得到平行光，该平行光经过第一分光件7的分光反射作用，透过物镜4汇聚到被测物的物面上，由于主镜头1个光谱共焦镜头2是共用同一物镜4，所以物面在主镜头1成像的同时，还可以反射光线回到光谱共焦镜头2的接收器，因此可以根据光耦共焦镜头发出的光以及接收的光之间的光程差来计算出物面的高度位置等数据，进而主镜头1可以调整倍率以及根据物面的高度进行对焦，可以获得更清晰的成像。本实施例通过光谱共焦镜头2的光学原理，可以实现主镜头1的快速对焦，且对焦准确、速度快。
[0026]进一步的，由于普通的光谱共焦镜头2所发出的光束为非平行光束，而物镜4以及主镜头1的前端镜头6均传输的是平行光，因此由于光束的类型不匹配，所以物镜4需要与光谱共焦镜头2匹配，导致物镜4不能随意更换，限制了主镜头1的倍率调整范围。而本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可切换物镜的视觉检测装置，其特征在于：包括主镜头、光谱共焦镜头、聚焦光学镜片模组以及物镜，所述聚焦光学镜片模组装设于所述光谱共焦镜头，所述主镜头包括后端镜头以及装设于所述后端镜头的前端镜头，所述物镜可拆卸装设于所述前端镜头，所述前端镜头装设有第一分光件；所述光谱共焦镜头的发出的光经过所述聚焦光学镜片模组后形成平行光，再由第一分光件反射至所述物镜。2.根据权利要求1所述一种可切换物镜的视觉检测装置，其特征在于：所述聚焦光学镜片模组与所述主镜头之间装设有第一反光件，所述第一反光件将所述聚焦光学镜片模组发出的平行光反射到所述第一分光件。3.根据权利要求1或2所述一种可切换物镜的视觉检测装置，其特征在于：所述可切换物镜的视觉检测装置还包括照明镜头，所述照明镜头包括光源以及照明镜片模组，所述主镜头靠近物方的一端还装设有第二分光件；所述光源发出的光经过照明镜片模组后，经由第二分光件反射到所述物镜。4.根据权利要求3所述一种可切换物镜的视觉检测装置，其特征在于：所述照明镜头还包括第二反光件，所述第二反光件装设于所述第二分...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄芳林，滕君方，
申请(专利权)人：东莞锐星视觉技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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