一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构、MO源钢瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构、MO源钢瓶，包括与MO源钢瓶瓶身分体或一体封装连接的不锈钢基座，不锈钢基座的外侧面中心部位设有槽结构，且槽结构通过焊接方式进行焊料填充，形成防渗漏焊接部；本实用新型专利技术通过简易结构方案直接消除了MO源钢瓶封头结构存在的微漏隐患，确保其能够良好地应用在对于真空度要求很高的半导体行业中。地应用在对于真空度要求很高的半导体行业中。地应用在对于真空度要求很高的半导体行业中。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构、MO源钢瓶


[0001]本技术属于MO源封装容器
，具体涉及了一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构，本技术还涉及了采用该MO源钢瓶封头结构的MO源钢瓶。

技术介绍

[0002]MO源钢瓶作为一种用于封装超纯化合物（具体可以为液态镁源、液态铟源、电子级三甲基铝、液态膦源等）的封装容器，它能够很好地避免超纯化合物输送面临的复杂性问题。
[0003]作为封装超纯化合物的MO源钢瓶需要具有非常优异的真空度封装性能，因此，现有技术均采用厚度较厚的不锈钢棒料来加工制作MO源钢瓶。然而本申请人发现采用不锈钢金属棒料加工时在其材料芯部可能会产生材料缺陷，虽然该类金属棒料在出厂时均符合相关标准，但该类材料缺陷会导致加工成型的MO源钢瓶存在一定概率的微漏隐患，无法满足对于真空度要求很高的半导体行业，而且该类材料缺陷通过正常无损探伤无法探出，而采用破坏式采样探伤则没有实际检测意义。
[0004]因此，本申请人希望通过寻求技术方案来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构、MO源钢瓶，通过简易结构方案直接消除了MO源钢瓶封头结构存在的微漏隐患，确保其能够良好地应用在对于真空度要求很高的半导体行业中。
[0006]本技术采用的技术方案如下：
[0007]一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构，包括与MO源钢瓶瓶身分体或一体封装连接的不锈钢基座，所述不锈钢基座的外侧面中心部位设有槽结构，且所述槽结构通过焊接方式进行焊料填充，形成防渗漏焊接部。
[0008]优选地，所述槽结构的侧面呈碗状，其中，所述槽结构的碗口朝向所述不锈钢基座的外侧，用于形成用于焊料填充的空间。
[0009]优选地，所述槽结构分别设有槽结构焊接I区和槽结构焊接II区，其中，所述槽结构焊接I区设有第一防渗漏焊接部，所述槽结构焊接II区设有第二防渗漏焊接部，所述第一防渗漏焊接部位于所述槽结构与所述第二防渗漏焊接部之间。
[0010]优选地，所述第一防渗漏焊接部采用不填丝氩弧焊工艺成型，所述第二防渗漏焊接部采用填丝氩弧焊工艺成型。
[0011]优选地，所述槽结构的槽深为1
‑
5mm；所述槽结构的最大槽宽为6
‑
15mm。
[0012]优选地，所述不锈钢基座采用不锈钢棒料加工成型。
[0013]优选地，所述不锈钢基座的内侧面设有锥形槽，该锥形槽的中心线与所述槽结构的中心线平齐。
[0014]优选地，所述锥形槽的槽底与所述槽结构的槽底之间的间距不低于2mm。
[0015]优选地，所述不锈钢基座采用平面基座，所述平面基座的厚度范围为8
‑
40mm。
[0016]优选地，一种MO源钢瓶，包括固定封装为一体的MO源钢瓶瓶身和MO源钢瓶封头，所述MO源钢瓶封头采用如上所述的MO源钢瓶封头结构。
[0017]本申请人通过多次试验发现，在采用不锈钢金属棒料加工MO源钢瓶封头结构时，通常在材料的中心处会偶尔发生材料缺陷，因此，本申请通过在不锈钢基座的外表面中心部位设置槽结构，然后将该槽结构通过焊接方式进行焊料填充，形成防渗漏焊接部，通过该简易结构方案直接消除了MO源钢瓶封头结构存在的微漏隐患，确保其能够良好地应用在对于真空度要求很高的半导体行业中。
附图说明
[0018]图1是本申请实施例1中的MO源钢瓶封头结构示意图；
[0019]图2是本申请实施例2中的MO源钢瓶封头结构示意图；
[0020]图3是图2中的局部结构放大图。
具体实施方式
[0021]本技术实施例公开了一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构，包括与MO源钢瓶瓶身分体或一体封装连接的不锈钢基座，不锈钢基座的外侧面中心部位设有槽结构，且槽结构通过焊接方式进行焊料填充，形成防渗漏焊接部。
[0022]优选地，为了进一步利于防渗漏效果，在本实施方式中，槽结构的侧面呈碗状，其中，槽结构的碗口朝向不锈钢基座的外侧，用于形成用于焊料填充的空间；进一步优选地，为了进一步利于焊接防渗漏效果，在本实施方式中，槽结构分别设有槽结构焊接I区和槽结构焊接II区，其中，槽结构焊接I区设有第一防渗漏焊接部，槽结构焊接II区设有第二防渗漏焊接部，第一防渗漏焊接部位于槽结构与第二防渗漏焊接部之间；具体优选地，第一防渗漏焊接部采用不填丝氩弧焊工艺成型，第二防渗漏焊接部采用填丝氩弧焊工艺成型，通过该结构不仅保证了第一防渗漏焊接部与槽结构之间的稳固复合效果，同时确保了第二防渗漏焊接部的防渗漏效果
[0023]优选地，在本实施方式中，不锈钢基座采用不锈钢棒料加工成型，很好地解决了不锈钢棒料在加工时其中心处偶尔发生的材料缺陷问题。
[0024]在本申请实施时，本领域技术人员可以结合不锈钢基座的尺寸规格来选择所需的槽结构尺寸；优选地，在本实施方式中，槽结构的槽深为1
‑
5mm；槽结构的最大槽宽为6
‑
15mm；在本申请实施时，本领域技术人员可以将不锈钢基座设置成各类所需的基座形状，使其适配MO源钢瓶瓶身的要求，本实施例对其不做唯一限制。
[0025]优选地，本实施例提出了一种MO源钢瓶，包括固定封装为一体（具体可以采用焊接方式）的MO源钢瓶瓶身和MO源钢瓶封头，MO源钢瓶封头采用如上的MO源钢瓶封头结构。
[0026]为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0027]实施例1：请参见图1所示的一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构，包括与MO源钢瓶瓶身分体或一体封装连接的不锈钢基座10，不锈钢基座10采用不锈钢棒料加工成型，不锈钢基座10的内侧面设有锥形槽11；不锈钢基座10的外侧面中心部位设有槽结构12，且槽结构12通过焊接方式（具体采用填丝氩弧焊工艺成型）进行焊料填充，形成防渗漏焊接部13；槽结构12的侧面呈碗状，其中，槽结构12的碗口朝向不锈钢基座10的外侧，用于形成用于焊料填充的空间；该锥形槽11的中心线与槽结构12的中心线平齐；锥形槽11的槽底与槽结构12的槽底之间的间距不低于2mm，优选为2.5
‑
4mm，具体地，在本实施方式中，锥形槽11的槽底与槽结构12的槽底之间的间距为3mm；
[0028]在本实施例1中，槽结构12的槽深约为：2mm，槽结构12的最大槽宽约为：8.8mm，在加工时，可以直接参照图1所示的加工尺寸来制作：H10=3mm，D10=10mm。
[0029]实施例2：本实施例2的其余技术方案同实施例1，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防渗漏效果的MO源钢瓶封头结构，其特征在于，包括与MO源钢瓶瓶身分体或一体封装连接的不锈钢基座，所述不锈钢基座的外侧面中心部位设有槽结构，且所述槽结构通过焊接方式进行焊料填充，形成防渗漏焊接部。2.根据权利要求1所述的MO源钢瓶封头结构，其特征在于，所述槽结构的侧面呈碗状，其中，所述槽结构的碗口朝向所述不锈钢基座的外侧，用于形成用于焊料填充的空间。3.根据权利要求1或2所述的MO源钢瓶封头结构，其特征在于，所述槽结构分别设有槽结构焊接I区和槽结构焊接II区，其中，所述槽结构焊接I区设有第一防渗漏焊接部，所述槽结构焊接II区设有第二防渗漏焊接部，所述第一防渗漏焊接部位于所述槽结构与所述第二防渗漏焊接部之间。4.根据权利要求3所述的MO源钢瓶封头结构，其特征在于，所述第一防渗漏焊接部采用不填丝氩弧焊工艺成型，所述第二防渗漏焊接部采用填丝氩弧焊工艺成型。5.根据权利要求1所述的MO源钢瓶封头结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛亮，郑江，
申请(专利权)人：常熟制药机械厂有限公司，
类型：新型
国别省市：