除尘装置及太阳能电池生产系统制造方法及图纸

技术编号:35002791 阅读:61 留言:0更新日期:2022-09-21 14:52
本实用新型专利技术涉及一种除尘装置及太阳能电池生产系统,能够利用抽真空组件对切割过程中产生的硅粉尘进行抽吸而达到除尘的效果,避免硅粉尘附着在激光振镜和硅片上,保证切割能够准确的进行,减少碎片、划伤、崩边、隐裂等不良率问题。利用离子发生元件先对硅片进行去离子处理,从而对硅片表面上的静电进行去除,能够有效的降低硅片的表面吸附杂质和颗粒的可能性,再将硅片送入真空腔内进行切割,结合抽真空组件对硅片进行抽真空除尘处理,能够有效的避免硅粉尘附着在硅片的表面上,不仅保证切割过程中硅片表面的完整性,提升切割效果以及切割良率,也能保证切割后的硅片在后续加工过程中的良率,提高产品品质。提高产品品质。提高产品品质。

【技术实现步骤摘要】
除尘装置及太阳能电池生产系统


[0001]本技术涉及除尘设备
,特别是涉及一种除尘装置及太阳能电池生产系统。

技术介绍

[0002]太阳能电池在生产过程中,需要对硅片进行切割,在切割过程中会产生大量的硅粉尘,若不及时对硅粉尘进行去除,易引发火灾。同时,硅粉尘附着在激光振镜和硅片上后,易导致振镜切割异常以及硅片脏污,从而降低产品良率,因此,需要利用除尘装置对硅粉尘进行去除。传统的除尘装置通常采用抽真空的方式对硅粉尘进行抽吸去除,依然存在硅片被脏污的问题。

技术实现思路

[0003]基于此,有必要针对硅片被脏污的问题,提供一种除尘装置及太阳能电池生产系统。
[0004]其技术方案如下:
[0005]一方面,提供了一种除尘装置,包括抽真空组件及离子发生元件,所述抽真空组件用于对硅片进行抽真空除尘处理,所述离子发生元件用于对硅片进行去离子处理,沿硅片输送方向,所述离子发生元件设置于所述抽真空组件的前方。
[0006]下面进一步对技术方案进行说明:
[0007]在其中一个实施例中,所述抽真空组件包括箱体、连通管及抽真空元件,所述箱体设有真空腔,所述连通管用于连通所述真空元件与所述真空腔。
[0008]在其中一个实施例中,所述连通管包括第一管段及第二管段,所述箱体具有相对间隔设置的第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁设有与所述真空腔连通的第一开口,所述第二侧壁设有与所述真空腔连通的第二开口,所述第一管段用于连通所述第一开口与所述抽真空元件,所述第二管段用于连通所述第二开口与所述抽真空元件。
[0009]在其中一个实施例中,所述抽真空组件还包括第一集尘罩,通过所述第一集尘罩将所述第一管段与所述第一开口连通;和/或所述抽真空组件还包括第二集尘罩,通过所述第二集尘罩将所述第二管段与所述第二开口连通。
[0010]在其中一个实施例中,所述除尘装置还包括收集组件,所述收集组件设有集尘腔,所述收集组件设置于所述连通管与所述抽真空元件之间,使所述集尘腔与所述连通管及所述抽真空元件均连通。
[0011]在其中一个实施例中,所述收集组件包括收集箱及第一过滤件,所述收集箱设有所述集尘腔,所述第一过滤件设置于所述集尘腔内并将所述集尘腔分隔为第一腔室和第二腔室,所述连通管和所述抽真空元件中的其中一个与所述第一腔室连通而另外一个与所述第二腔室连通。
[0012]在其中一个实施例中,所述收集组件还包括去除元件,所述去除元件设置于所述
集尘腔内,所述去除元件用于对所述第一过滤件上的硅粉尘进行去除。
[0013]在其中一个实施例中,所述除尘装置还包括喷射元件,所述喷射元件设置于所述真空腔内,所述喷射元件用于对所述硅片进行喷射除尘处理。
[0014]在其中一个实施例中,所述除尘装置还包括第二过滤件,所述箱体的底部设有排水槽,所述第二过滤件设置于所述排水槽内。
[0015]另一方面,提供了一种太阳能电池生产系统,包括所述的除尘装置。
[0016]上述实施例的除尘装置及太阳能电池生产系统,能够利用抽真空组件对切割过程中产生的硅粉尘进行抽吸而达到除尘的效果,避免硅粉尘附着在激光振镜和硅片上,保证切割能够准确的进行,减少碎片、划伤、崩边、隐裂等不良率问题,也保证硅片在后续处理过程中的品质,产品良率高。利用离子发生元件先对硅片进行去离子处理,从而对硅片表面上的静电进行去除,能够有效的降低硅片的表面吸附杂质和颗粒的可能性,再将硅片送入真空腔内进行切割,结合抽真空组件对硅片进行抽真空除尘处理,能够有效的避免硅粉尘附着在硅片的表面上,不仅保证切割过程中硅片表面的完整性,提升切割效果以及切割良率,也能保证切割后的硅片在后续加工过程中的良率,提高产品品质。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解,本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术,并不构成对本技术的不当限定。
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为一个实施例的除尘装置的结构示意图;
[0020]图2为图1的除尘装置的抽真空组件及离子发生元件的位置示意图;
[0021]图3为图1的除尘装置的抽真空组件的结构示意图。
[0022]附图标记说明:
[0023]100、抽真空组件;110、箱体;111、第一侧壁,112、第二侧壁;120、连通管;121、第一管段;122、第二管段;130、抽真空元件;141、第一集尘罩;142、第二集尘罩;150、收集组件;151、集尘腔;1511、第一腔室;1512、第二腔室;152、收集箱;153、第一过滤件;154、去除元件;160、喷射元件;170、排水槽;180、第二过滤件;200、离子发生元件;1000、硅片;2000、激光切割机。
具体实施方式
[0024]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进,因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0025]如图1及图2所示,在一个实施例中,提供了一种太阳能电池生产系统,其包括除尘
装置,从而利用除尘装置能够对硅片1000的切割进行除尘处理,能够避免硅粉尘脏污硅片1000,提升产品良率。
[0026]需要进行说明的是,在实际生产过程中,太阳能电池生产系统还包括用于对硅片1000进行输送的输送带、用于对硅片1000进行切割的激光切割机2000等,由于其可以属于现有装置,在此不再赘述。
[0027]可以理解的是,硅片1000还可以通过机械手进行抓取转运,硅片1000还可以通过其他现有的方式进行切割,不得理解为对本申请实施例的限定。
[0028]可选地,除尘装置包括抽真空组件100及离子发生元件200。
[0029]其中,抽真空组件100设有真空腔,利用抽真空组件100能够对硅片1000进行抽真空除尘处理。
[0030]具体地,将硅片1000送至真空腔内利用激光切割机2000进行切割,从而能够利用抽真空组件100对切割过程中产生的硅粉尘进行抽吸而达到除尘的效果,避免硅粉尘附着在激光振镜和硅片1000上,保证切割能够准确的进行,减少碎片、划伤、崩边、隐裂等不良率问题,也保证硅片1000在后续处理过程中的品质,产品良率高。
[0031]可以理解的是,去硅片1000进行切割处理可以与对硅片1000进行抽真空除尘处理同步进行,保证硅粉尘不会附着在激光振镜和硅片1000上。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种除尘装置,其特征在于,包括抽真空组件及离子发生元件,所述抽真空组件用于对硅片进行抽真空除尘处理,所述离子发生元件用于对硅片进行去离子处理,沿硅片输送方向,所述离子发生元件设置于所述抽真空组件的前方。2.根据权利要求1所述的除尘装置,其特征在于,所述抽真空组件包括箱体、连通管及抽真空元件,所述箱体设有真空腔,所述连通管用于连通所述真空元件与所述真空腔。3.根据权利要求2所述的除尘装置,其特征在于,所述连通管包括第一管段及第二管段,所述箱体具有相对间隔设置的第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁设有与所述真空腔连通的第一开口,所述第二侧壁设有与所述真空腔连通的第二开口,所述第一管段用于连通所述第一开口与所述抽真空元件,所述第二管段用于连通所述第二开口与所述抽真空元件。4.根据权利要求3所述的除尘装置,其特征在于,所述抽真空组件还包括第一集尘罩,通过所述第一集尘罩将所述第一管段与所述第一开口连通;和/或所述抽真空组件还包括第二集尘罩,通过所述第二集尘罩将所述第二管段与所述第二开口连通。5.根据权利要求2所述的除尘装置,其特征在于,所述除尘装置还...

【专利技术属性】
技术研发人员:高永强苏世杰余义
申请(专利权)人:通威太阳能安徽有限公司
类型:新型
国别省市:

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