用于对半导体器件进行测试的自动化测试设备制造技术

一种用于对半导体器件进行测试的自动化测试设备(ATE)，该测试设备包括测试处理器、备用件或接触器插接件、以及半导体器件测试仪。备用件包括电子部件，该电子部件用于对关于备用件或该备用件的一部分的数据进行存储和/或处理。测试设备包括操作者终端，该操作者终端包括显示器或GUI、以及数据交换接口，该数据交换接口连接至或可连接至备用件内的电子部件，以至少显示存储在电子部件中的数据。ATE还包括用于对数据进行缓冲的数据缓冲单元、用于对测试设备的维护动作进行计划和控制的维护计划和控制单元、以及驻留在控制计算机中的专用数据库。数据库。数据库。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于对半导体器件进行测试的自动化测试设备


[0001]本专利技术涉及一种用于对半导体器件进行测试的自动化测试设备，该测试设备包括测试处理器，备用件、特别是接触器插接件，以及半导体器件测试仪，其中备用件包括电子部件，该电子部件用于对关于备用件或该备用件的一部分的数据进行存储和/或处理。

技术介绍

[0002]作为背景现有技术，可以参考WO2012159003A1、US2004066207A1、US7474089B2、WO2013155348A1、WO2015081081A1。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种改进的自动化测试设备(ATE，automated test equipment)，该自动化测试设备特别地为适当地且灵活地处理在备用件(接触器插接件)内测量的参数提供更多选项，并且可以被用在计划和控制测试程序以及维护测试设备中。
[0004]在所附权利要求1至4中的每一项中单独或以它们的任何组合提出了对该问题的解决方案。进一步的实施方式是从属权利要求的主题。
[0005]尽管所附权利要求是装置权利要求，但本专利技术也可以作为操作自动化测试设备的方法来执行，其中方法步骤对应于所附权利要求中的装置特征。
[0006]根据本专利技术的实施方式，用于对半导体器件进行测试的自动化测试设备包括：测试处理器、备用件(特别是接触插接件)、以及半导体器件测试仪，其中，备用件包括电子部件，该电子部件用于对关于备用件或该备用件的一部分的数据进行存储和/或处理，并且其中测试设备包括操作者终端，该操作者终端包括显示器或GUI以及数据交换接口，该数据交换接口连接至或可连接至备用件内的电子部件，以至少显示存储在电子部件中的数据。
[0007]表述“自动化测试设备(ATE)”可以表示通常包括处理器以及用于对半导体器件进行测试(DUT)的测试仪的系统。表述“操作者终端”可以表示便携式器件，该便携式器件包括用于接收数据的数据交换接口、以及用于显示信息(特别是接收到的数据)的屏幕。此外，操作者终端可以包括独立的、也是便携式的电源。表述“备用件”可以指处理器的一部分、或处理器内部的一部分，该部分在ATE的典型使用时磨损。备用件可以是接触插接件、引线背衬、接触单元保持器、PCB、用于生成在MEMS测试中使用的刺激的处理器部分、柱塞等。除了其特定用途和设计之外，备用件还可以包括存储器、传感器、以及备用件接口。备用件接口可以与操作终端的数据交换接口交换数据。
[0008]根据本专利技术的主旨，一种包括处理器和测试仪的自动化测试设备(ATE)包括：可分离的(显示)终端，以及包括用于进行存储的电子部件的备用件。存储在备用件的电子部件中的数据，可以被提交至操作者终端，并且数据也可以从操作者终端被提交至备用件，以被存储在备用件的电子部件中。操作者终端可以包括用于连接至备用件的电子部件的数据交换接口，使得备用件的电子部件与操作者终端可以交换数据。经交换的数据可以包括关于备用件的先前使用的数据，和/或用于备用件的未来使用的指令。终端或操作者终端可以足
够小，使得在测试台上工作的操作者可以容易地能够将(操作者)终端携带到需要它的工作地点。操作者可以在屏幕或操作者终端的显示处看到某些任务是否应该被完成。操作者终端可以包括数据交换接口以连接至ATE的器件内的各种其他器件，诸如连接至测试仪、处理器、备用件的电子部件和/或手动维护基础。
[0009]备用件可以包括一个或更多个传感器，通过该一个或更多个传感器可以捕获对备用件的使用，并且传感器数据可以包括性能数据，该性能数据可以被存储在电子部件中以稍后被提交给操作者终端。存储其自己使用的数据的备用件和便携式操作终端的组合可以允许对备用件的使用进行分析，以用于“联机(on the fly)”监控和维护的目的。具有显示器的操作者终端可以允许快速收集关于例如触地次数和/或维护指令的信息。特别地，所显示的信息可以包括标记位、最新服务标签的值、从机地址。操作者终端可以具有正在显示的GUI，使得手持设备上的内容可以是可选择的和/或可自定义的。对于每个备用件，ID标签可以是唯一的。
[0010]根据本专利技术的实施方式，一种用于对半导体器件进行测试的自动化测试设备包括测试处理器，备用件、特别是接触器插接件，以及半导体器件测试仪，其中备用件包括电子部件，该电子部件用于对关于备用件或该备用件的一部分的数据进行存储和/或处理，其中测试设备包括数据缓冲单元，该数据缓冲单元包括数据交换接口，该数据交换接口连接至或可连接至备用件内的电子部件，以对存储在电子部件中的数据进行缓冲。
[0011]表述“数据缓冲单元”可以指存储器件，特别是指包括一个或更多个数据交换接口、用于存储ATE的处理数据生成的存储器件。数据缓冲单元可以被定位在ATE系统的中温区域，使得ID标签以及由感测器件生成且在(数据缓冲单元的)数据交换接口与备用件的数据交换接口之间进行交换的感测数据可以独立于ATE系统的工作温度而被存储在数据缓冲单元中。备用件的电子部件可以包括微控制器，该微控制器用于对来自电子部件的传感器的数据进行处理，使得数据缓冲单元可以存储来自备用件的提取数据。数据缓冲单元可以针对每个连接的备用件使用相同的存储器(例如EEPROM)或相同类型的存储器，并且可以被适配成对多个备用件进行寻址。此外，数据缓冲单元可以包括专用于一个或更多个备用件的微控制器，使得数据缓冲单元的微控制器可以对多个备用件(例如8个备用件)进行寻址。例如，数据缓冲单元可以存储最后插入的数量和/或时间。数据缓冲单元可以计算(简化的)插入预测。数据缓冲单元可以被适配成报告设置结论和/或可以提供检查和测试(checksum test)。
[0012]每个备用件可以包括唯一服务标签号。备用件可以包括用于在最高达175℃下存储数据的温度稳定的存储器。具体地，温度稳定的存储器可以在最高达150℃的温度下可写入。备用件可以是接触插接件。根据关于数据缓冲单元的温度能力和/或(备用件的)电子部件的存储器的考虑，时间和数据可以根据备用件的温度和/或数据缓冲单元的温度而变化。数据可以由数据缓冲单元通过有线和/或无线方式进行交换。
[0013]当连接至多个备用件(插接件)时，数据缓冲单元可以位于板或接口板上。接口板可以包括传感器，该传感器作为控制来自备用件的数据交换以及与备用件之间的数据交换的基础。数据缓冲单元可以利用适配器连接至接口板，使得适配器可以保留，而数据缓冲单元和/或备用件可以是可交换的。此外，数据缓冲单元可以被适配成对接触插接件和接触站点进行标识。数据缓冲单元、备用件、或插接件或一批插接件可以具有共用的电源。作为替
代，备用件和数据缓冲单元可以具有不同的电源，例如自供电的外部电源、从测试仪至测试板的电源、以及从处理器至数据交换接口的电源。数据缓冲单元可以被适配成进行接触站点分配。
[0014]数据缓冲单元可以通过位于(多个)插接件与数据缓冲单元之间的一个或更多个接口连接至一个或多个插接件。在数据缓冲单元与备用件(接触插接件)之间的连接可以包括：P本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于对半导体器件(280)进行测试的自动化测试设备(100)，所述测试设备(100)包括：测试处理器(110)，备用件(140)，特别地，所述备用件(140)是接触插接件(141)，以及半导体器件测试仪(120)，其中，所述备用件(140)包括电子部件(142)，所述电子部件(142)用于对关于所述备用件(140)或者所述备用件(140)的一部分的数据进行存储和/或处理，并且其中，所述测试设备(100)包括操作者终端(130)，所述操作者终端(130)包括显示器(131)或GUI(139)、以及数据交换接口(152)，所述数据交换接口(152)连接至或能够连接至所述备用件(140)内的所述电子部件(142)，以至少显示存储在所述电子部件(142)中的数据。2.一种用于对半导体器件(280)进行测试的自动化测试设备(100)，所述测试设备(100)包括：测试处理器(110)，备用件(140)，特别地，所述备用件(140)是接触插接件(141)，以及半导体器件测试仪(120)，其中，所述备用件(140)包括电子部件(142)，特别地，所述电子部件(142)是根据权利要求1所述的电子部件(142)，所述电子部件(142)用于对关于所述备用件(140)或者所述备用件(140)的一部分的数据进行存储和/或处理，其中，所述测试设备(100)包括数据缓冲单元(500)，所述数据缓冲单元(500)包括数据交换接口(154)，所述数据交换接口(154)连接至或能够连接至所述备用件(140)内的所述电子部件(142)，以对存储在所述电子部件(142)中的数据进行缓冲。3.一种用于对半导体器件(280)进行测试的自动化测试设备(100)，所述测试设备(100)包括：测试处理器(110)，备用件(140)，特别地，所述备用件(140)是接触插接件(141)，以及半导体器件测试仪(120)，其中，所述备用件(140)包括电子部件(142)，特别地，所述电子部件(142)是根据权利要求1或2所述的电子部件(142)，所述电子部件(142)用于对关于所述备用件(140)或者所述备用件(140)的一部分的数据进行存储和/或处理，其中，所述测试设备(100)包括维护计划和控制单元(104)，所述维护计划和控制单元(104)包括处理单元(105)和数据交换接口(154)，所述数据交换接口(154)连接至或能够连接至所述备用件(140)内的所述电子部件(142)，以对所述测试设备(100)的维护动作进行计划和控制。4.一种用于对半导体器件(280)进行测试的自动化测试设备(100)，所述测试设备(100)包括：测试处理器(110)，备用件(140)，特别地，所述备用件(140)是接触插接件(141)，以及半导体器件测试仪(120)，其中，所述备用件(140)包括电子部件(142)，特别地，所述电子部件(142)是根据权利
要求1至3中的一项所述的电子部件(142)，所述电子部件(142)用于对关于所述备用件(140)或者所述备用件(140)的一部分的数据进行存储和/或处理，其中，所述测试设备(100)包括驻留在控制计算机(106)中的专用数据库(107)、以及数据交换接口(154)，所述数据交换接口(154)连接至或能够连接至所述备用件(140)内的所述电子部件(142)，以将关于所述备用件(140)的工作设置的数据存储在所述数据库(107)中以供所述测试处理器(110)使用。5.根据前述权利要求中的一项所述的自动化测试设备(100)，其中，所述备用件(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：马库斯，
申请(专利权)人：科休有限责任公司，
类型：发明
国别省市：