一种测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测量装置。该测量装置包括安装台架和位移放大机构，固定在安装台架的单轴位移装置的输出轴能够沿预设方向输出预设位移，位移放大机构的支点座和杠杆通过转动轴转动连接，杠杆包括位于转动轴一侧的动力臂和位于转动轴另一侧的阻力臂，动力臂上的第一标记点与单轴位移装置的输出轴抵接，百分表的表头连接阻力臂的第二标记点处上，第二标记点与转动轴之间的间距d2与第一标记点到转动轴之间的间距d1的比值不小于10:1。该测量装置通过利用杠杆和百分表能够将单轴位移装置输出的直线位移进行两次放大，从而使该测量装置能够达到量测精度的要求，并且该测量装置结构简单，量测成本低，对量测环境要求低。对量测环境要求低。对量测环境要求低。

【技术实现步骤摘要】
一种测量装置


[0001]本技术涉及位移测量
，尤其涉及一种测量装置。

技术介绍

[0002]基于现有的TEM透射电子显微镜的送样装置的单轴移动分辨力的验证要求，需要能够检测到50nm位移分辨力的量测量装置来对其进行性能测试。目前量测精度较高的测量装置主要包括：超高精度百分表和基于迈克尔逊原理的激光干涉仪。
[0003]但是，高精度的百分表的量测精度较低，其量测精度只能到0.001mm，不能满足测试需求。激光干涉仪分为普通激光干涉仪和超高精度干涉仪，普通的激光干涉仪的量测精度受制于激光波长，其量测精度只能到0.0005mm的精度，同样无法满足需求；而超高精度的以稳频氦氖激光为光源的干涉仪可以达到1ppm的分辨力，但是测试结构程序复杂，测量环境要求高，量测成本很高。
[0004]因此，如何提出一种既能够满足量测精度，又结构简单、对量测环境要求较低以及量测成本较低的测量装置是现在亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种测量装置，该测量装置能够达到量测精度的要求，且结构简单，对量测环境本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量装置，其特征在于，包括：安装台架(100)，用于固定待检测的单轴位移装置(10)，所述单轴位移装置(10)的输出轴(11)能够沿预设方向输出预设位移；位移放大机构(200)，所述位移放大机构(200)包括支点座(201)、杠杆(202)、转动轴(203)和百分表(204)，所述支点座(201)固定设置在所述安装台架(100)上，且所述支点座(201)上设置有转动槽，所述杠杆(202)通过所述转动轴(203)转动连接在所述转动槽内，且所述杠杆(202)包括位于所述转动轴(203)一侧的动力臂和位于所述转动轴(203)另一侧的阻力臂，所述动力臂上设置有第一标记点，所述输出轴(11)与所述第一标记点抵接，且在所述输出轴(11)沿所述预设方向输出预设位移时能够驱动所述杠杆(202)绕所述转动轴(203)在预设平面内转动，所述预设平面平行于所述预设方向，所述阻力臂上设置有第二标记点，所述百分表(204)的表头抵接在所述第二标记点处，所述第二标记点与所述转动轴(203)之间的间距d2与所述第一标记点到所述转动轴(203)之间的间距d1的比值不小于10:1。2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述第一标记点处设置有第一刚性块(207)，所述第一刚性块(207)呈球状，所述第一刚性块(207)的球面与所述输出轴(11)抵接。3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述第二标记点处设置有第二刚性块(208)，所述第二刚性块(208)呈球状，所述百分表(204)的表头连接在所述第二刚性块(208)处。4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述位移放大机构(200)还包括底座(209)，所述底座(209)设置在所述支点座(201)上，所述底座(209)内设置有第三刚性块(210)，所述第三刚性块(210)呈球状，所述转动轴(203)的一端穿过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：白生伟，唐爱权，魏志猛，邹文兵，
申请(专利权)人：苏州博众仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：