一种晶圆抛光设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆抛光设备，涉及晶圆加工技术领域；而本实用新型专利技术包括加工板，加工板的上表面固顶设有气缸，气缸的输出端设有顶板，顶板上设有打磨组件，加工板上固定设有固定组件，加工板的下表面固定设有支撑腿，支撑腿设有四个，固定组件包括圆形块与圆形板，圆形板固定连接在加工板的上表面，圆形板的表面开设有矩形槽，本实用新型专利技术可通过将加工件放置在圆形板的上表面，位于弧形夹块之间，通过转动转盘使其通过转杆带动圆形块转动，从而使圆形杆沿着弧形槽移动，通过圆形杆带动六个滑杆均向圆形板的中心移动，最终通过滑杆的端部的弧形夹块夹持固定住加工件，通过将螺杆插入到相对应的螺纹孔内进行固定。插入到相对应的螺纹孔内进行固定。插入到相对应的螺纹孔内进行固定。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆抛光设备


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体为一种晶圆抛光设备。

技术介绍

[0002]一般，当硅材料结晶成很大的、在其大部分长度上为圆柱体之后，要把这种柱状结晶材料切割成很薄的、成为硅晶片的圆片，由于其形状为圆形，这样的硅晶片也可称为晶圆。
[0003]在对晶圆进行抛光时还存在着一些问题：
[0004]1、现有的抛光设备在使用时，不便于对大小不同的晶圆进行固定；
[0005]2、不便于对抛光轮进行更换，影响抛光加工的精度，针对上述问题，专利技术人提出一种晶圆抛光设备用于解决上述问题。

技术实现思路

[0006]为了解决抛光设备在使用时，不便于对大小不同的晶圆进行固定的问题；本技术的目的在于提供一种晶圆抛光设备。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种晶圆抛光设备，包括加工板，加工板的上表面固顶设有气缸，气缸的输出端设有顶板，顶板上设有打磨组件，加工板上固定设有固定组件，加工板的下表面固定设有支撑腿，支撑腿设有四个；
[0008]固定组件包括圆形块与圆形板，圆形板固定连接在加工板的上表面，圆形板的表面开设有矩形槽，矩形槽内滑动设有滑杆，滑杆的一端固定设有弧形夹块，滑杆的下表面固定设有圆形杆，圆形板的下表面转动设有转杆，转杆贯穿加工板，转杆的下端固定设有转盘，转盘的表面与加工板的下表面均开设有螺纹孔，螺纹孔设有十个，且螺纹孔环形阵列分布在转盘的下表面，螺纹孔内螺纹插设有螺杆，加工板的上表面开设有圆形槽，转杆的外侧表面套设有圆形块，圆形块的表面开设有弧形槽，弧形槽设有六个，且弧形槽环形阵列分布在圆形块的上，圆形杆贯穿弧形槽，圆形杆与弧形槽滑动贴合，矩形槽开设有六个，且矩形槽环形阵列分布在圆形板的表面，可通过将加工件放置在圆形板的上表面，位于弧形夹块之间，通过转动转盘使其通过转杆带动圆形块转动，从而使圆形杆沿着弧形槽移动，通过圆形杆带动六个滑杆均向圆形板的中心移动，最终通过滑杆的端部的弧形夹块夹持固定住加工件，通过将螺杆插入到相对应的螺纹孔内进行固定。
[0009]优选地，打磨组件包括电机与连接块，电机固定连接在顶板的上表面，电机的输出端设有连接杆，连接杆贯穿顶板，连接杆下端固定设有空心块，空心块的外侧表面开设有连接孔，连接块的外侧表面开设有圆槽，圆槽开设有两个，且圆槽对称设置在连接块的表面，圆槽的内表面固定设有弹簧，弹簧的一端固定设有滚珠，连接块可活动插设在空心块内，滚珠可活动插设在连接孔内。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0011]1、本技术可通过将加工件放置在圆形板的上表面，位于弧形夹块之间，通过
转动转盘使其通过转杆带动圆形块转动，从而使圆形杆沿着弧形槽移动，通过圆形杆带动六个滑杆均向圆形板的中心移动，最终通过滑杆的端部的弧形夹块夹持固定住加工件，通过将螺杆插入到相对应的螺纹孔内进行固定；
[0012]2、本技术通过打开电机使其最终带动抛光盘转动，通过打开气缸使抛光盘与加工件接触进行加工，可通过按压滚珠使其从连接孔内脱离，使连接块从空心块内脱离，将抛光盘拆卸下来，可通过将细轮抛光盘换上，在对加工件抛光，提升加工件抛光面的加工精度。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术结构示意图。
[0015]图2为本技术固定组件结构示意图。
[0016]图3为本技术打磨组件结构示意图。
[0017]图中：1、加工板；11、气缸；12、顶板；13、支撑腿；2、打磨组件；21、电机；22、连接杆；23、空心块；231、连接孔；24、连接块；25、圆槽；26、弹簧；27、滚珠；28、抛光盘；3、固定组件；31、圆形块；32、弧形槽；33、连接块；34、转杆；35、转盘；351、螺纹孔；36、螺杆；37、圆形板；371、矩形槽；38、滑杆；39、弧形夹块。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例一：
[0020]如图1
‑
3所示，本技术提供了一种晶圆抛光设备，包括加工板1，加工板1的上表面固顶设有气缸11，气缸11的输出端设有顶板12，顶板12上设有打磨组件2，加工板1上固定设有固定组件3；
[0021]固定组件3包括圆形块31与圆形板37，圆形板37固定连接在加工板1的上表面，圆形板37的表面开设有矩形槽371，矩形槽371内滑动设有滑杆38，滑杆38的一端固定设有弧形夹块39，滑杆38的下表面固定设有圆形杆33，圆形板37的下表面转动设有转杆34，转杆34贯穿加工板1，转杆34的下端固定设有转盘35，转盘35的表面与加工板1的下表面均开设有螺纹孔351，螺纹孔351内螺纹插设有螺杆36，加工板1的上表面开设有圆形槽，转杆34的外侧表面套设有圆形块31，圆形块31的表面开设有弧形槽32，圆形杆33贯穿弧形槽32，圆形杆33与弧形槽32滑动贴合，可通过将加工件放置在圆形板37的上表面，位于弧形夹块39之间，通过转动转盘35使其通过转杆34带动圆形块31转动，从而使圆形杆33沿着弧形槽32移动，通过圆形杆33带动六个滑杆38均向圆形板37的中心移动，最终通过滑杆38的端部的弧形夹
块39夹持固定住加工件，通过将螺杆36插入到相对应的螺纹孔351内进行固定。
[0022]加工板1的下表面固定设有支撑腿13，支撑腿13设有四个。
[0023]通过采用上述技术方案，辅助支撑。
[0024]螺纹孔351设有十个，且螺纹孔351环形阵列分布在转盘35的下表面。
[0025]通过采用上述技术方案，便于转动后固定。
[0026]弧形槽32设有六个，且弧形槽32环形阵列分布在圆形块31的上。
[0027]通过采用上述技术方案，便于夹持。
[0028]矩形槽371开设有六个，且矩形槽371环形阵列分布在圆形板37的表面。
[0029]通过采用上述技术方案，便于固定。
[0030]实施例二：
[0031]如图1所示，打磨组件2包括电机21与连接块24，电机21固定连接在顶板12的上表面，电机21的输出端设有连接杆22，连接杆22贯穿顶板12，连接杆22下端固定设有空心块23，空心块23的外侧表面开设有连接孔231，连接块24的外侧表面开设有圆槽25，圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆抛光设备，包括加工板(1)，其特征在于：所述加工板(1)的上表面固顶设有气缸(11)，所述气缸(11)的输出端设有顶板(12)，所述顶板(12)上设有打磨组件(2)，所述加工板(1)上固定设有固定组件(3)；所述固定组件(3)包括圆形块(31)与圆形板(37)，所述圆形板(37)固定连接在加工板(1)的上表面，所述圆形板(37)的表面开设有矩形槽(371)，所述矩形槽(371)内滑动设有滑杆(38)，所述滑杆(38)的一端固定设有弧形夹块(39)，所述滑杆(38)的下表面固定设有圆形杆(33)，所述圆形板(37)的下表面转动设有转杆(34)，所述转杆(34)贯穿加工板(1)，所述转杆(34)的下端固定设有转盘(35)，所述转盘(35)的表面与加工板(1)的下表面均开设有螺纹孔(351)，所述螺纹孔(351)内螺纹插设有螺杆(36)，所述加工板(1)的上表面开设有圆形槽，所述转杆(34)的外侧表面套设有圆形块(31)，所述圆形块(31)的表面开设有弧形槽(32)，所述圆形杆(33)贯穿弧形槽(32)，所述圆形杆(33)与弧形槽(32)滑动贴合。2.如权利要求1所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，所述打磨组件(2)包括电机(21)与连接块(24)，所述电机(21)固定连接在顶板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张陈军，陈福文，张焜鸣，
申请(专利权)人：江苏嘉洛精仪智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：