本实用新型专利技术的实施例提出一种涂布系统，所述涂布系统包括涂布组件和清洁组件。所述涂布组件包括涂布液罐、涂布模头、涂布液管道和涂布泵；所述涂布液管道连通所述涂布液罐和涂布模头，所述涂布泵设在所述涂布液管道上，所述清洁组件包括清洁液罐、第一清洁管路和第二清洁管路，所述第一清洁管路连通所述清洁液罐和所述涂布液罐，所述第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通。因此，根据本实用新型专利技术实施例的涂布系统具有清洁效率高的优点。具有清洁效率高的优点。具有清洁效率高的优点。
【技术实现步骤摘要】
涂布系统
[0001]本技术涉及光阻应用
，具体涉及一种涂布系统。
技术介绍
[0002]涂布管路的工作原理为，在恒定的动力下(CDA，氮气)，涂布液(光阻)沿着管路流动，管路各机构通过电磁阀控制开合，后进入涂布模头压出而把涂布液均匀的转移到基板上。相关技术中，清洁组件的清洗液与通过涂布液罐进入涂布液管路系统，最终从涂布模头排出，存在清洗效率低和清洗时间长的问题。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的实施例提出一种涂布系统。该涂布系统具有清洁效率高的优点。
[0004]本技术实施例的涂布系统包括涂布组件和清洁组件，所述涂布组件包括涂布液罐、涂布模头、涂布液管道和涂布泵；所述涂布液管道连通所述涂布液罐和涂布模头，所述涂布泵设在所述涂布液管道上，所述清洁组件包括清洁液罐、第一清洁管路和第二清洁管路，所述第一清洁管路连通所述清洁液罐和所述涂布液罐，所述第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通。例如，所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布液管道；或所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布泵；或者所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布模头。
[0005]本技术实施例的涂布系统，通过第一清洁管路与涂布液罐连通，再通过第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通，第二清洁管路中的清洁液不需要再流经涂布液罐，可以缩减第二清洁管路中清洁液的行程。由此，该涂布系统大大提升清洁的效率。
[0006]因此，本技术实施例的涂布系统具有清洁效率高的优点。
[0007]在一些实施例中，所述涂布组件还包括涂布液缓存罐，所述涂布液管道包括第一涂布液管段和第二涂布液管段，所述第一涂布液管段连通所述涂布液缓存罐和所述涂布液罐，所述第二涂布液管段连通所述涂布液缓存罐和所述涂布模头，所述第二清洁管路与所述第一涂布液管段和所述第二涂布液管段中的至少一者连通。
[0008]在一些实施例中，所述涂布系统还包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀设在所述第一涂布液管道上，所述第二控制阀设在所述第二涂布液管道上，所述第二清洁管路与所述第一控制阀和所述第二控制阀中的至少一者连通。
[0009]在一些实施例中，所述涂布组件还包括过滤器和第三控制阀，所述第一涂布液管段包括第一分管段和第二分管段，所述第一分管段连通所述过滤器和所述涂布液罐，所述第二分管段连通所述过滤器和所述涂布液缓存罐，所述第一控制阀设置在所述第一分管段上，所述第三控制阀设置在所述第二分管段上。
[0010]在一些实施例中，所述第二清洁管路有至少两个，至少两个所述第二清洁管路与
所述第一分管段、所述过滤器、所述第二分管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少两个一一对应地连通。
[0011]在一些实施例中，所述涂布系统还包括废液组件，所述废液组件包括废液罐、第一废液管路和第二废液管路，所述第一废液管路与所述涂布模头连通构成第一回液通路，所述第二废液管路与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵连通构成第二回液通路。
[0012]在一些实施例中，所述第二废液管路有至少两个，至少两个所述第二废液管路与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵中的至少两个一一对应地连通。
[0013]在一些实施例中，多个所述第二清洁管路一一对应地与所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段、所述涂布泵和所述涂布模头连通，多个所述第二废液管路一一对应地与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵连通以便形成多个回液通路。
[0014]在一些实施例中，所述涂布系统还包括动力组件，所述动力组件包括气源和多个动力管路，多个所述动力管路与每个所述回液通路一一对应地连通。
[0015]在一些实施例中，所述废液组件还包括废液缓存罐和废液主管，所述第一废液管路和所述第二废液管路中的每一者均与所述废液缓存罐连通，所述废液主管连通所述废液缓存罐和所述废液罐。
[0016]在一些实施例中，所述涂布液管道还包括第三涂布液管段，所述涂布液罐包括第一涂布液罐和第二涂布液罐，所述第三涂布液管段连通所述第一涂布液罐和所述第二涂布液罐。
[0017]在一些实施例中，所述清洁液罐包括第一清洁液罐和第二清洁液罐，所述第一清洁液罐通过所述第二清洁管路连通所述涂布液管道、所述涂布泵及所述涂布模头中的至少一者。
附图说明
[0018]图1是本技术一个实施例的涂布系统的总布置图。
[0019]图2是图1中部分示意图，下侧。
[0020]图3是图1中部分示意图，上侧。
[0021]图4是本技术实施例的涂布组件的布置图。
[0022]图5是本技术实施例的涂布组件和清洗组件的布置图。
[0023]附图标记：
[0024]涂布系统100；
[0025]涂布组件1；涂布液罐11；第一涂布液罐111；第二涂布液罐112；
[0026]过滤器12；涂布液缓存罐13；涂布泵14；涂布模头15；
[0027]涂布液管道16；第一涂布液管段161；第一分管段1611；第二分管段1612；第二涂布液管段162；第三涂布液管段163；
[0028]清洁组件2；清洁液罐21；第一清洁液罐211；第二清洁液罐212；第一清洁管路22；第二清洁管路23；
[0029]废液组件3；废液罐31；第一废液管路32；第二废液管路33；废液缓存罐34；废液主管35；
[0030]第一控制阀41；第二控制阀42；第三控制阀43。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0032]下面参考图1至图5描述本技术实施例的涂布系统100。
[0033]本技术实施例的涂布系统100包括涂布组件1和清洁组件2。
[0034]涂布组件1包括涂布液罐11、涂布模头15、涂布液管道16和涂布泵14；涂布液管道16连通涂布液罐11和涂布模头15，涂布泵14设在涂布液管道16上。清洁组件2包括清洁液罐21、第一清洁管路22和第二清洁管路23，第一清洁管路22连通清洁液罐21和涂布液罐11，第二清洁管路23与涂布液管道16、涂布泵14和涂布模头15中的至少一者连通。例如，第一清洁管路22连通清洁液罐21和涂布液管道16；或第二清洁管路23连通清洁液罐21和涂布泵14，或第二清洁管路23连通清洁液罐21和涂布模头15。
[0035]其中，在涂布系统100进行涂布过程中，涂布液在涂布泵14的作用下，由涂布液罐11通过涂布液本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种涂布系统(100)，其特征在于，包括：涂布组件(1)，所述涂布组件(1)包括涂布液罐(11)、涂布模头(15)、涂布液管道(16)和涂布泵(14)；所述涂布液管道(16)连通所述涂布液罐(11)和涂布模头(15)，所述涂布泵(14)设在所述涂布液管道(16)上；和清洁组件(2)，所述清洁组件(2)包括清洁液罐(21)、第一清洁管路(22)和第二清洁管路(23)，所述第一清洁管路(22)连通所述清洁液罐(21)和所述涂布液罐(11)，所述第二清洁管路(23)与所述涂布液管道(16)、所述涂布泵(14)和所述涂布模头(15)中的至少一者连通。2.根据权利要求1所述的涂布系统(100)，其特征在于，所述涂布组件(1)还包括涂布液缓存罐(13)，所述涂布液管道(16)包括第一涂布液管段(161)和第二涂布液管段(162)，所述第一涂布液管段(161)连通所述涂布液缓存罐(13)和所述涂布液罐(11)，所述第二涂布液管段(162)连通所述涂布液缓存罐(13)和所述涂布模头(15)，所述第二清洁管路(23)与所述第一涂布液管段(161)和所述第二涂布液管段(162)中的至少一者连通。3.根据权利要求2所述的涂布系统(100)，其特征在于，还包括第一控制阀(41)和第二控制阀(42)，所述第一控制阀(41)设在所述第一涂布液管道(16)上，所述第二控制阀(42)设在所述第二涂布液管道(16)上，所述第二清洁管路(23)与所述第一控制阀(41)和所述第二控制阀(42)中的至少一者连通。4.根据权利要求3所述的涂布系统(100)，其特征在于，所述涂布组件(1)还包括过滤器(12)和第三控制阀(43)，所述第一涂布液管段(161)包括第一分管段(1611)和第二分管段(1612)，所述第一分管段(1611)连通所述过滤器(12)和所述涂布液罐(11)，所述第二分管段(1612)连通所述过滤器(12)和所述涂布液缓存罐(13)，所述第一控制阀(41)设置在所述第一分管段(1611)上，所述第三控制阀(43)设置在所述第二分管段(1612)上。5.根据权利要求4所述的涂布系统(100)，其特征在于，所述第二清洁管路(23)有至少两个，至少两个所述第二清洁管路(23)与所述第一分管段(1611)、所述过滤器(12)、所述第二分管段(1612)、所述涂布液缓存罐(13)、所述第二涂布液管段(162)、所述涂布泵(14)和所述涂布模头(15)中的至少两个一一对应地连通。6.根据权利要求5所述的涂布系统(100)，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：阙磊，
申请(专利权)人：成都拓米智能系统技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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