一种Mask清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种Mask清洗设备，包括机架，所述机架内部安装有升降模组，升降模组一侧安装有Mask架，机架内底部安装有清洗槽，清洗槽的侧壁安装有超声波发生器，清洗槽上侧安装有喷淋头，喷淋头一端连接有喷淋管，清洗槽底部一侧开设有排水管，机架内上部安装有烘干机构，机架上端一侧安装有排气口，本实用新型专利技术通过采用KAIJO技术超声波系统清洗，具有超声输出在洗液中周期性移动，超声功率强劲、均匀，功率更加强劲，避免超声输出不均匀而产生清洗死角现象，通过设有的Mask架，用于储放面罩，便于提高清洗的效率，而且Mask架安装在升降模组一侧，便于对Mask架进行升降调节处理，从而便于面罩的取放。从而便于面罩的取放。从而便于面罩的取放。

【技术实现步骤摘要】
一种Mask清洗设备


[0001]本技术涉及清洗设备
，具体是一种Mask清洗设备。

技术介绍

[0002]清洗机，用于电子零部件、光学玻璃、半导体、LCD等在制造、使用过程中去除污染物；也可以适用电子零部件、光学玻璃、半导体、LCD等生产治具的定期维护清洗，提高清洁度，避免或减少因污染而造成的故障，从而保证所生产产品的高性能、高可靠度和长寿命。
[0003]现有技术中申请号为CN201811634729.9的一种双工位往复清洗式Mask掩膜板清洗机，包括第一清洗主体、回转机构、第二清洗主体、第二清洗主体底座、回转机构底座、旋转台、第一清洗主体底座、电气控制柜、上料车和传送带，所述第二清洗主体底座的一侧连接有回转机构底座，所述回转机构底座的一侧连接有第一清洗主体底座，所述第二清洗主体底座的顶部连接有第二清洗主体，所述回转机构底座的顶部安装有旋转台，所述旋转台的顶部安装有回转机构，所述回转机构底座的内部安装有驱动电机且驱动电机的动力输出端与回转机构相连接，本专利技术结构合理有效，且体积较大，对物料的清洗效率高，且清洗质量优良，适合较大体积的电镀设备的大批量清洗。但是，多个面罩堆积易造成清洗不彻底，从而影响清洗的效率，而且不便于面罩的取放。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种Mask清洗设备，以解决现有技术中多个面罩堆积易造成清洗不彻底，从而影响清洗的效率，而且不便于面罩的取放问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种Mask清洗设备，包括机架，所述机架内部安装有升降模组，所述升降模组一侧安装有Mask架，所述机架内底部安装有清洗槽，所述清洗槽的侧壁安装有超声波发生器，超声波发生器采用KAIJO技术超声波系统清洗，所述清洗槽上侧安装有喷淋头，所述喷淋头一端连接有喷淋管，所述清洗槽底部一侧开设有排水管，所述机架内上部安装有烘干机构，所述机架上端一侧安装有排气口。
[0006]进一步的，所述机架下侧安装有下支脚，所述下支脚下侧安装有滑轮。
[0007]进一步的，所述喷淋管一端的输水管上安装有喷淋泵，所述喷淋管的进水端还安装有过滤器。
[0008]进一步的，所述升降模组包括设置在机架内部两侧的丝杆，所述Mask架两端通过滑座与丝杆螺纹连接，所述丝杆一端通过减速齿轮组传动连接有电机。
[0009]进一步的，所述烘干机构包括设有的加热板，且加热板一侧安装有加热灯。
[0010]进一步的，所述清洗槽上侧的进出料端安装有液切风口，且液切风口对称设置有两组。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术通过清洗槽的侧壁安装有超声波发生器，超声波发生器采用KAIJO技术超声波系统清洗，具有超声输出在洗液中周期性移动，超声功率强劲、均匀，功率更加
强劲，避免超声输出不均匀而产生清洗死角现象。
[0013]2、本技术而且通过设有的Mask架，用于储放面罩，而且能够将面罩平面铺设，防止堆积造成清洗不彻底，从而便于提高清洗的效率。
[0014]3、本技术而且Mask架安装在升降模组一侧，升降模组包括设置在机架内部两侧的丝杆，Mask架两端通过滑座与丝杆螺纹连接，丝杆一端通过减速齿轮组传动连接有电机，使得通过电机驱动丝杆旋转调节，从而便于对Mask架进行升降调节处理，便于面罩的取放。
[0015]4、本技术通过机架内上部安装有烘干机构，烘干机构包括设有的加热板，且加热板一侧安装有加热灯，便于对清洗后的面罩进行烘干处理，提高了使用的功能多样性。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0017]图1为本技术的整体结构主视图；
[0018]图2为本技术的整体结构左视图；
[0019]图3为本技术的整体结构俯视图。
[0020]图中：1、机架；2、升降模组；3、清洗槽；4、超声波发生器；5、喷淋头；6、液切风口；7、过滤器；8、喷淋泵；9、输水管；10、排气口；11、Mask架；12、排水管；13、电机；14、减速齿轮组；15、下支脚；16、烘干机构；17、喷淋管；18、滑座；19、丝杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1，图2，图3，本技术实施例中，一种Mask清洗设备，包括机架1，机架1内部安装有升降模组2，升降模组2一侧安装有Mask架11，能够对Mask架11进行升降调节处理，便于面罩的取放，有利于提高清洗的效率，机架1内底部安装有清洗槽3，清洗槽3的侧壁安装有超声波发生器4，超声波发生器4采用KAIJO技术超声波系统清洗，具有超声输出在洗液中周期性移动，超声功率强劲、均匀，功率更加强劲，避免超声输出不均匀而产生清洗死角现象，清洗槽3上侧安装有喷淋头5，喷淋头5一端连接有喷淋管17，清洗槽3底部一侧开设有排水管12，机架1内上部安装有烘干机构16，便于对清洗后的面罩进行烘干处理，提高了使用的功能多样性。机架1上端一侧安装有排气口10。
[0023]优选的，机架1下侧安装有下支脚15，下支脚15下侧安装有滑轮，便于机体的移动调节使用处理。
[0024]优选的，喷淋管17一端的输水管9上安装有喷淋泵8，喷淋管17的进水端还安装有过滤器7，用于对喷淋水进行过滤处理，防止面罩造成二次污染。
[0025]优选的，升降模组2包括设置在机架1内部两侧的丝杆19，Mask架11两端通过滑座18与丝杆19螺纹连接，丝杆19一端通过减速齿轮组14传动连接有电机13，使得通过电机13
驱动丝杆19旋转调节，从而能够对Mask架11进行升降调节处理，便于面罩的取放，有利于提高清洗的效率。
[0026]优选的，烘干机构16包括设有的加热板，且加热板一侧安装有加热灯，能够对面罩一侧进行均匀的烘干处理。
[0027]优选的，清洗槽3上侧的进出料端安装有液切风口6，且液切风口6对称设置有两组，便于除去清洗完成的面罩外表面的水珠。
[0028]本技术的工作原理及使用流程：使用时，将清洗槽内加满工作液，将待清洗工件放入清洗槽内，按下设定好清洗时间，开启超声波，当清洗时间完成后取下工件。通过机架1内部安装有Mask架11，用于储放面罩，而且能够将面罩平面铺设，防止堆积造成清洗不彻底，从而便于提高清洗的效率；而且Mask架11安装在升降模组2一侧，升降模组2包括设置在机架1内部两侧的丝杆19，Mask架11两端通过滑座18与丝杆19本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Mask清洗设备，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)内部安装有升降模组(2)，所述升降模组(2)一侧安装有Mask架(11)，所述机架(1)内底部安装有清洗槽(3)，所述清洗槽(3)的侧壁安装有超声波发生器(4)，所述清洗槽(3)上侧安装有喷淋头(5)，所述喷淋头(5)一端连接有喷淋管(17)，所述清洗槽(3)底部一侧开设有排水管(12)，所述机架(1)内上部安装有烘干机构(16)。2.根据权利要求1所述的一种Mask清洗设备，其特征在于：所述机架(1)下侧安装有下支脚(15)，所述下支脚(15)下侧安装有滑轮。3.根据权利要求1所述的一种Mask清洗设备，其特征在于：所述喷淋管(17)一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：何平，
申请(专利权)人：苏州殷绿勒精密机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：