一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，包括载台底座和载台上盖；载台底座为圆形结构且安装在设备镀锅的镀锅孔处；载台底座开设有第一放片孔，第一放片孔的内侧边缘设置有一圈第一台阶，第一台阶用于放置2寸玻璃片；载台上盖包括第一上盖，第一上盖与第一放片孔的形状相同，且第一上盖的边缘为一圈第一环形凸台，第一环形凸台用于将2寸玻璃片压紧在第一台阶远离设备镀锅的一面。本实用新型专利技术能极大提升DBR玻璃片反射率测试的稳定性及减少成本。及减少成本。及减少成本。

【技术实现步骤摘要】
一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置


[0001]本技术涉及半导体电子
，特别涉及一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置。

技术介绍

[0002]DBR分布式布拉格反射镜(Distributed Bragg reflector)是一种利用不同界面反射光的“相长干涉”对不同波长的光进行增强反射的光学器件，一般由多个1/4波长反射镜组成，实现对多个波长入射光的高效反射。
[0003]DBR玻璃片的反射率可达99％以上，在LED领域其芯片的设计也需要用DBR玻璃片来增强反射效果，芯片厂一般是一炉130片4寸玻璃片进行镀膜作业，作业后确认本炉次片源的反射率是否达到设计的要求。现有通常直接采用设备镀锅的镀锅孔作为4寸玻璃片的载台，常规作业时一个设备镀锅上通过5 个镀锅孔各自装载单片4寸玻璃片进行跟片镀膜，镀膜作业后测量反射率。测试反射率时，单片4寸玻璃片直接放置于设备镀锅的镀锅孔处，如图1所示，再旋上镀锅卡扣进行固定，而镀锅卡扣存在松紧时会造成玻璃片上下抖动，对所镀的膜层可能有所影响，影响反射率基准，而4寸玻璃片的测试点一般为靠近镀锅孔的边缘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，包括载台底座和载台上盖；所述载台底座为圆形结构且安装在设备镀锅的镀锅孔处；所述载台底座开设有第一放片孔，所述第一放片孔的内侧边缘设置有一圈第一台阶，所述第一台阶用于放置2寸玻璃片；所述载台上盖包括第一上盖，所述第一上盖与所述第一放片孔的形状相同，且所述第一上盖的边缘为一圈第一环形凸台，所述第一环形凸台用于将2寸玻璃片压紧在所述第一台阶远离所述设备镀锅的一面。2.根据权利要求1所述的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，所述载台底座还开设有第二放片孔，所述第二放片孔的内侧边缘设置有一圈第二台阶，所述第二台阶用于放置1寸玻璃片；所述第一放片孔与所述第二放片孔分布在所述载台底座的同一中线上；所述载台上盖还包括第二上盖，所述第二上盖与所述第二放片孔的形状相同，且所述第二上盖的边缘为一圈第二环形凸台，所述第二环形凸台用于将1寸玻璃片压紧在所述第二台阶远离所述设备镀锅的一面。3.根据权利要求2所述的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，所述第一上盖的边缘远离所述第一环形凸台的一侧开设有一个第一盖面槽；所述第一盖面槽在所述第一上盖将2寸玻璃片压紧在所述第一台阶处时与所述设备镀锅的一个镀锅卡扣的位置及形状相对应。4.根据权利要求3所述的一种测试DBR玻璃片反射率的载台装置，其特征在于，所述第二上盖的边缘远离所述第二环形凸台的一侧开设有一个第二盖面槽；所述第二盖面槽在所述第二上盖将1寸玻璃片压紧在所述第二台...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪加添，刘印昂，李朝翔，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：