一种紫外显微镜制造技术

技术编号:34897059 阅读:12 留言:0更新日期:2022-09-10 13:57
本实用新型专利技术涉及光学镜头技术领域,尤其为一种紫外显微镜,包括前组镜片、光阑和后组镜片,前组镜片包括从物侧至像侧依次设置的双凸透镜A、双凸透镜B、正弯月透镜A、双凹透镜和平凹透镜,后组镜片包括从物侧至像侧依次设置的平凸透镜、正弯月透镜B和双凸透镜C,光阑设置在前组镜片和后组镜片之间。本实用新型专利技术,通过使用双凸透镜、双凸透镜、正弯月透镜、双凹透镜、平凹透镜、平凸透镜、正弯月透镜B和双凸透镜C作为紫外显微镜的结构,畸变小,且相对照度高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外显微镜


[0001]本技术涉及光学镜头
,具体为一种紫外显微镜。

技术介绍

[0002]紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。
[0003]目前市面上曝光机大多使用LED光源,在曝光过程中,曝光机紫外光源强度的稳定性和均匀性极为重要,既然曝光机紫外光源强度的稳定性和均匀性极为重要,那么测试其紫外光源的稳定性和均匀性的仪器,也需要具备高度的稳定性和仪器之间的一致性,因此,针对上述问题提出一种紫外显微镜。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种紫外显微镜,通过使用双凸透镜、双凸透镜、正弯月透镜、双凹透镜、平凹透镜、平凸透镜、正弯月透镜B和双凸透镜C作为紫外显微镜的结构,畸变小,且相对照度高,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种紫外显微镜,包括前组镜片、光阑和后组镜片,具体的:
[0007]前组镜片包括从物侧至像侧依次设置的双凸透镜A、双凸透镜B、正弯月透镜A、双凹透镜和平凹透镜;
[0008]后组镜片包括从物侧至像侧依次设置的平凸透镜、正弯月透镜B和双凸透镜C;
[0009]光阑设置在前组镜片和后组镜片之间;
[0010]双凸透镜A、双凸透镜B、正弯月透镜A、双凹透镜、平凹透镜、平凸透镜、正弯月透镜B和双凸透镜C分别在光轴上的中心厚度之和为∑CT,双凸透镜A物侧面到双凸透镜C像侧面的最大距离为TTL,且满足下列关系式:0.6<∑CT/TTL<0.8。
[0011]作为一种优选方案,双凸透镜A的焦距范围F1在正68.3mm

正68.6mm之间。
[0012]作为一种优选方案,双凸透镜B的焦距范围F2在正68.3mm

正68.6mm之间。
[0013]作为一种优选方案,正弯月透镜A的焦距范围F3在正93.8mm

正94.1mm之间。
[0014]作为一种优选方案,双凹透镜的焦距范围F4在负20.8mm

负21.1mm。
[0015]作为一种优选方案,平凹透镜的焦距范围F5在负20.8mm

负21.1mm之间。
[0016]作为一种优选方案,平凸透镜的焦距范围F6在正38.1mm

正38.3mm之间。
[0017]作为一种优选方案,正弯月透镜B的焦距范围F7在正91.3mm

正91.5mm之间。
[0018]作为一种优选方案,双凸透镜C的焦距范围F8在正54.4mm

正54.6mm之间。
[0019]由上述本技术提供的技术方案可以看出,本技术提供的一种紫外显微镜,有益效果是:通过使用双凸透镜、双凸透镜、正弯月透镜、双凹透镜、平凹透镜、平凸透镜、正弯月透镜B和双凸透镜C作为紫外显微镜的结构,畸变小,且相对照度高,适用于曝光机产业。
附图说明
[0020]图1为本技术一种紫外显微镜整体结构示意图;
[0021]图2为本技术一种紫外显微镜的调制传递函数MTF曲线示意图;
[0022]图3为本技术一种紫外显微镜的场曲/畸变图;
[0023]图4为本技术一种紫外显微镜的相对照度图。
[0024]图中:1、双凸透镜A;2、双凸透镜B;3、正弯月透镜A;4、双凹透镜;5、平凹透镜;6、平凸透镜;7、正弯月透镜B;8、双凸透镜C;9、光阑。
具体实施方式
[0025]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0026]需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0027]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0029]为了更好地理解上述技术方案,下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
[0030]如图1

4所示,本技术实施例提供一种紫外显微镜,包括前组镜片、光阑9和后组镜片,具体的:
[0031]前组镜片包括从物侧至像侧依次设置的双凸透镜A1、双凸透镜B2、正弯月透镜A3、双凹透镜4和平凹透镜5;
[0032]后组镜片包括从物侧至像侧依次设置的平凸透镜6、正弯月透镜B7和双凸透镜C8;
[0033]光阑9设置在前组镜片和后组镜片之间;
[0034]双凸透镜A1、双凸透镜B2、正弯月透镜A3、双凹透镜4、平凹透镜5、平凸透镜6、正弯月透镜B7和双凸透镜C8分别在光轴上的中心厚度之和为∑CT,双凸透镜A1物侧面到双凸透镜C8像侧面的最大距离为TTL,且满足下列关系式:0.6<∑CT/TTL<0.8。
[0035]上述结构中,双凸透镜A1的焦距范围F1在正68.3mm

正68.6mm之间
[0036]上述结构中,双凸透镜B2的焦距范围F2在正68.3mm

正68.6mm之间。
[0037]上述结构中,正弯月透镜A3的焦距范围F3在正93.8mm

正94.1mm之间。
[0038]上述结构中,双凹透镜4的焦距范围F4在负20.8mm

负21.1mm。
[0039]上述结构中,平凹透镜5的焦距范围F5在负20.8mm

负21.1mm之间。
[0040]上述结构中,平凸透镜6的焦距范围F6在正38.1mm

正38.3mm之间。
[0041]上述结构中,正弯月透镜B7的焦距范围F7在正91.3mm

正91.5mm之间。
[0042]上述结本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外显微镜,包括前组镜片、光阑(9)和后组镜片,其特征在于:所述前组镜片包括从物侧至像侧依次设置的双凸透镜A(1)、双凸透镜B(2)、正弯月透镜A(3)、双凹透镜(4)和平凹透镜(5);所述后组镜片包括从物侧至像侧依次设置的平凸透镜(6)、正弯月透镜B(7)和双凸透镜C(8);所述光阑(9)设置在前组镜片和后组镜片之间;所述双凸透镜A(1)、双凸透镜B(2)、正弯月透镜A(3)、双凹透镜(4)、平凹透镜(5)、平凸透镜(6)、正弯月透镜B(7)和双凸透镜C(8)分别在光轴上的中心厚度之和为∑CT,所述双凸透镜A(1)物侧面到双凸透镜C(8)像侧面的最大距离为TTL,且满足下列关系式:0.6<∑CT/TTL<0.8。2.根据权利要求1所述的一种紫外显微镜,其特征在于:所述双凸透镜A(1)的焦距范围F1在正68.3mm

正68.6mm之间。3.根据权利要求1所述的一种紫外显微镜,其特征在于:所述双凸透镜B(2)的焦距范围F2在正68.3mm

...

【专利技术属性】
技术研发人员:王维
申请(专利权)人:福建光旭科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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