一种电子级氯化氢分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电子级氯化氢分析装置，包括：分离装置和检测装置，所述分离装置中通入载气以及样品气，所述分离装置用于分离载气中的物质，所述分离装置和检测装置连通，所述检测装置用于分析载气中的不同物质的摩尔百分数。通过设置分离装置和检测装置，可以有效的检测出对氯化氢中杂质的含量，且精度极高，能够极大的避免杂质气体进入工序中也可能导致最终的电子元器件产品质量下降的问题。最终的电子元器件产品质量下降的问题。最终的电子元器件产品质量下降的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级氯化氢分析装置


[0001]本专利技术涉及于气相色谱分析
，特别涉及一种电子级氯化氢分析装置。

技术介绍

[0002]随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展，对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999％以上的纯度。还要求氯化氢的THC、HO和金属离子等有机杂质的含量越低越好。电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理，激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理。
[0003]目前应用于电子行业的氯化氢纯度在5N(99.999％)左右，即使极微量的杂质气体进入工序中也可能导致最终的电子元器件产品质量下降，因此需要一种电子级氯化氢分析装置来分析氯化氢中气体的杂质，以解决氯化氢气体中极微量的杂质气体进入后续工序的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种电子级氯化氢分析装置，用以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术公开了一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，包括：分离装置和检测装置，所述分离装置中通入载气以及样品气，所述分离装置用于分离载气中的物质，所述分离装置和检测装置连通，所述检测装置用于分析载气中的不同物质的摩尔百分数。
[0006]优选的，所述检测装置为DID检测器，所述分离装置包括：4个切换阀、5个波纹管阀、2个定量环、4根色谱柱，所述4个切换阀包括：2个四通阀和2个十通阀，所述4个切换阀均有两个状态为：CCW和CW，且所述载气为高纯氦气。
[0007]优选的，所述载气包括：第一路载气、第二路载气、第三路载气、第四路载气和第五路载气，在第一四通阀和第二四通阀处于CCW状态，第一十通阀和第二十通阀处于CW状态时，所述第一路载气通过第一波纹管阀与第一四通阀的1号口连通，所述第一四通阀的1号口连通第一四通阀的2号口，所述第一四通阀的2号口连通第一放空口。
[0008]优选的，所述第二路载气通过第二波纹管阀与第一十通阀的1号口连通，所述第一十通阀的1号口连通第一十通阀的2号口，所述第一十通阀的2号口连通第一分析色谱柱，所述第一分析色谱柱另一端连通所述第二四通阀的2号口，所述第二四通阀的2号口连通所述第二四通阀的1号口，所述第二四通阀的1号口连通DID检测器；
[0009]所述第三路载气通过第三波纹管阀与第一十通阀的4号口连通，所述第一十通阀的4号口与第一十通阀的3号口连通，所述第一十通阀的3号口连通第一预分离色谱柱，所述第一预分离色谱柱的另一端连通第一十通阀的9号口，所述第一十通阀的9号口连通第一十通阀的10号口，所述第一十通阀的10号口连通第二放空口；
[0010]所述第四路载气通过第四波纹管阀与第二十通阀的1号口连通，所述第二十通阀
的1号口连通第二四通阀的2号口，所述第二十通阀的2号口连通第二分析色谱柱，所述第二分析色谱柱的另一端连通第二四通阀的4号口，所述第二四通阀的4号口连通第二四通阀的3号口，所述第二四通阀的3号口连通第四放空口；
[0011]所述第五路载气通过第五波纹管阀与第二十通阀的4号口连通，所述第二十通阀的4号口连通所述第二十通阀的3号口，所述第二十通阀的3号口连通第二预分离色谱柱，所述第二预分离色谱柱的另一端连通第二十通阀的9号口，所述第二十通阀的9号口连通第二十通阀的10号口，所述第二十通阀的10号口连通第三放空口。
[0012]优选的，所述样品气连通第一四通阀的3号口，所述第一四通阀的3号口连通第一四通阀的4号口，所述第一四通阀的4号口连通第一十通阀的7号口，所述第一十通阀的7号口连通第一十通阀的8号口，所述第一十通阀的8号口连通第一定量环，所述第一定量环的另一端连通第一十通阀的5号口，所述第一十通阀的5号口连通第一十通阀的6号口，所述第一十通阀的6号口连通第二十通阀的6号口，所述第二十通阀的6号口连通第二十通阀的5号口，所述第二十通阀的5号口连通第二定量环，所述第二定量环的另一端连通第二十通阀的8号口，所述第二十通阀的8号口连通第二十通阀的7号口，之后样品气排出。
[0013]优选的，所述DID检测器包括：电离腔和集电腔，所述电离腔下端贯通连接一根极细管路，所述极细管路的另一端贯通连接集电腔；
[0014]所述电离腔内固定设有两根左右对称的放电电极，所述集电腔内固定设有收集极；
[0015]所述分离装置贯通连接第一管路，所述第一管路的另一端通过VCR接头连通第二管路，所述第二管路连通所述DID检测器的电离腔。
[0016]优选的，所述VCR接头包括：内螺纹套筒和外螺纹套筒，所述内螺纹套筒和外螺纹套筒之间螺纹连接，且所述内螺纹套筒上设有泄露测试孔，所述第一管路穿过外螺纹套筒，且所述第一管路与外螺纹套筒内壁贴合，且所述第一管路左侧固定连接垫圈，所述垫圈右端与外螺纹套筒左端贴合，所述垫圈设置于内螺纹套筒内，且所述垫圈与内螺纹套筒内壁贴合；
[0017]所述第二管路右侧延伸进内螺纹套筒中，且所述第二管路右侧固定设有限位块，所述限位块与内螺纹套筒左侧壁贴合，且所述限位块右侧与垫圈接触配合。
[0018]优选的，所述内螺纹套筒上还设有防松装置，所述防松装置包括：安装箱和夹紧机构，所述安装箱左侧与内螺纹套筒可拆卸连接，所述夹紧机构夹持在外螺纹套筒上；
[0019]所述安装箱内设有：驱动电机，所述驱动电机上端固定设置在安装箱上侧内壁上，所述驱动电机下端通过输出轴固定连接第一转动杆，所述第一转动杆下端固定设有第一齿轮；
[0020]第一安装板，所述第一安装板左右两端分别与安装箱左右两侧内壁固定连接，且所述第一安装板上设有点动按钮，所述点动按钮与驱动电机电连接；
[0021]所述第一齿轮下表面固定设有第一移动杆，所述第一移动杆下端固定设有第一伸出杆，所述第一伸出杆位于点动按钮前侧；
[0022]优选的，所述夹紧机构包括：夹持箱，所述夹持箱夹持在外螺纹套筒周侧，且所述夹持箱上设有若干滑槽，所述夹持箱内设有：转动板，所述转动板周侧与夹持箱内壁接触配合，所述转动板上设有六边形凹槽，且所述转动板上还固定设有推动块，所述夹持箱上设有
第一开口；
[0023]若干夹持块，所述夹持块设置在夹持箱内，所述夹持块靠近所述转动板一侧固定设有滑块，所述滑块滑动设置在凹槽内，所述夹持块上远离滑块的一端还固定连接第一滑动杆，所述第一滑动杆延伸进滑槽内；
[0024]所述第一开口处固定设有限位箱，所述限位箱上设有第二开口，所述推动块穿过第一开口和第二开口延伸出夹持箱，所述限位箱的上下两侧内壁上设有若干限位槽，所述限位箱内还对称设有夹簧，所述夹簧夹持在推动块上，所述夹簧上远离推动块的一端固定设有限位块，所述限位块与限位槽接触配合；
[0025]在所述夹持箱上远离推动块的一端固定连接第一弧形齿条，所述安装箱左壁设有第三开口，所述第一弧形齿条右端穿过第三开口与第一齿轮啮合连接。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，包括：分离装置和检测装置，所述分离装置中通入载气以及样品气，所述分离装置用于分离载气中的物质，所述分离装置和检测装置连通，所述检测装置用于分析载气中的不同物质的摩尔百分数。2.根据权利要求1所述的一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，所述检测装置为DID检测器(16)，所述分离装置包括：4个切换阀、5个波纹管阀、2个定量环、4根色谱柱，所述4个切换阀包括：2个四通阀和2个十通阀，所述4个切换阀均有两个状态为：CCW和CW，且所述载气为高纯氦气。3.根据权利要求2所述的一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，所述载气包括：第一路载气、第二路载气、第三路载气、第四路载气和第五路载气，在第一四通阀(1)和第二四通阀(4)处于CCW状态，第一十通阀(2)和第二十通阀(3)处于CW状态时，所述第一路载气通过第一波纹管阀(5)与第一四通阀(1)的1号口连通，所述第一四通阀(1)的1号口连通第一四通阀(1)的2号口，所述第一四通阀(1)的2号口连通第一放空口。4.根据权利要求3所述的一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，所述第二路载气通过第二波纹管阀(6)与第一十通阀(2)的1号口连通，所述第一十通阀(2)的1号口连通第一十通阀(2)的2号口，所述第一十通阀(2)的2号口连通第一分析色谱柱(12)，所述第一分析色谱柱(12)另一端连通所述第二四通阀(4)的2号口，所述第二四通阀(4)的2号口连通所述第二四通阀(4)的1号口，所述第二四通阀(4)的1号口连通DID检测器(16)；所述第三路载气通过第三波纹管阀(7)与第一十通阀(2)的4号口连通，所述第一十通阀(2)的4号口与第一十通阀(2)的3号口连通，所述第一十通阀(2)的3号口连通第一预分离色谱柱(10)，所述第一预分离色谱柱(10)的另一端连通第一十通阀(2)的9号口，所述第一十通阀(2)的9号口连通第一十通阀(2)的10号口，所述第一十通阀(2)的10号口连通第二放空口；所述第四路载气通过第四波纹管阀(8)与第二十通阀(3)的1号口连通，所述第二十通阀(3)的1号口连通第二四通阀(3)的2号口，所述第二十通阀(3)的2号口连通第二分析色谱柱(13)，所述第二分析色谱柱(13)的另一端连通第二四通阀(4)的4号口，所述第二四通阀(4)的4号口连通第二四通阀(4)的3号口，所述第二四通阀(4)的3号口连通第四放空口；所述第五路载气通过第五波纹管阀(9)与第二十通阀(3)的4号口连通，所述第二十通阀(3)的4号口连通所述第二十通阀(3)的3号口，所述第二十通阀(3)的3号口连通第二预分离色谱柱(11)，所述第二预分离色谱柱(11)的另一端连通第二十通阀(3)的9号口，所述第二十通阀(3)的9号口连通第二十通阀(3)的10号口，所述第二十通阀(3)的10号口连通第三放空口。5.根据权利要求2所述的一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，所述样品气连通第一四通阀(1)的3号口，所述第一四通阀(1)的3号口连通第一四通阀(1)的4号口，所述第一四通阀(1)的4号口连通第一十通阀(2)的7号口，所述第一十通阀(2)的7号口连通第一十通阀(2)的8号口，所述第一十通阀(2)的8号口连通第一定量环(14)，所述第一定量环(14)的另一端连通第一十通阀(2)的5号口，所述第一十通阀(2)的5号口连通第一十通阀(2)的6号口，所述第一十通阀(2)的6号口连通第二十通阀(3)的6号口，所述第二十通阀(3)的6号口连通第二十通阀(3)的5号口，所述第二十通阀(3)的5号口连通第二定量环(15)，所述第二定量环(15)的另一端连通第二十通阀(3)的8号口，所述第二十通阀(3)的8号口连通第二十
通阀(3)的7号口，之后样品气排出。6.根据权利要求2所述的一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，所述DID检测器(16)包括：电离腔(20)和集电腔(21)，所述电离腔(20)下端贯通连接一根极细管路(18)，所述极细管路(18)的另一端贯通连接集电腔(21)；所述电离腔(20)内固定设有两根左右对称的放电电极(19)，所述集电腔(21)内固定设有收集极(17)；所述分离装置贯通连接第一管路(23)，所述第一管路(23)的另一端通过VCR接头连通第二管路(26)，所述第二管路(26)连通所述DID检测器(16)的电离腔(20)。7.根据权利要求6所述的一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，所述VCR接头包括：内螺纹套筒(27)和外螺纹套筒(24)，所述内螺纹套筒(27)和外螺纹套筒(24)之间螺纹连接，且所述内螺纹套筒(27)上设有泄露测试孔(25)，所述第一管路(23)穿过外螺纹套筒(24)，且所述第一管路(23)与外螺纹套筒(24)内壁贴合，且所述第一管路(23)左侧固定连接垫圈(22)，所述垫圈(22)右端与外螺纹套筒(24)左端贴合，所述垫圈(22)设置于内螺纹套筒(27)内，且所述垫圈(22)与内螺纹套筒(27)内壁贴合；所述第二管路(26)右侧延伸进内螺纹套筒(27)中，且所述第二管路(26)右侧固定设有限位块，所述限位块与内螺纹套筒(27)左侧壁贴合，且所述限位块右侧与垫圈(22)接触配合。8.根据权利要求7所述的一种电子级氯化氢分析装置，其特征在于，所述内螺纹套筒(27)上还设有防松装置(28)，所述防松装置(...

【专利技术属性】
技术研发人员：万小光，邓前，刘丽娜，
申请(专利权)人：北京高麦克仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：