一种可精确定位应用于3-Omega实验系统的探针卡技术方案

本实用新型专利技术公开一种可精确定位应用于3

【技术实现步骤摘要】
一种可精确定位应用于3
‑
Omega实验系统的探针卡


[0001]本技术涉及电路连接实验
具体地说是一种可精确定位应用于3
‑
Omega实验系统的探针卡。

技术介绍

[0002]3‑
Omega实验系统用于测量块体、薄膜等材料的热物性，其基本原理是在待测材料表面制备一定尺度和形状的图形化金属膜，把该金属膜同时作为加热器和温度传感器，然后根据热波频率与金属膜温度变化之间的关系求得待测材料的热导率。
[0003]在实验过程中，首先上述图形化金属膜施加频率为1ω的交流电压，由于金属的电阻温度系数的存在，会在金属膜上产生3ω的微弱电压，最后由锁相放大器将这部分3ω电压提取出来，根据相关公式计算温度随频率变化情况，最终得出待测材料的热导率。
[0004]3‑
Omega实验样品的金属电极(即上述图形化金属膜)具有四个焊盘，焊盘的尺寸量级为几百微米，在进行实验电路与金属膜导通时，需要将金属线与金属焊盘相连，传统连接方式通常有导电银胶黏接、金属线压焊和探针台连接三种方式。由于金属焊盘的尺寸很小，导电银胶黏结这种方式操作难度大；金属线压焊易造成纳米级厚度的金属电极的损坏，在实验过程中易造成细小金属丝断裂影响实验进程；而探针台自身重量较重，不利于实验系统的移动和操作，且探针在对准金属电极时较为不便。

技术实现思路

[0005]为此，本技术所要解决的技术问题在于提供一种精准定位金属电极，减少金属电极的损坏，减少信号失真的可能性，增加金属电极的利用率，的一种可精确定位应用于3
‑
Omega实验系统的探针卡。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种可精确定位应用于3
‑
Omega实验系统的探针卡，包括壳体、滑动板和探针，所述壳体的正面开设有安装腔，所述安装腔的上方开设有滑动腔，所述安装腔的底壁上开设有底槽，所述滑动腔的底端与所述安装腔贯通，所述滑动板滑动安装在所述滑动腔内，所述滑动板的底端穿出所述滑动腔并固定连接有伸缩组件，所述探针的顶端安装有绝缘块，所述绝缘块固定安装在所述伸缩组件的活动端端部上，所述滑动腔的两侧壁面上均开设有定位球孔，所述底槽内设置有有待测材料，所述待测材料上设置有金属电极，所述探针的端部与所述金属电极的位置相互对应；所述滑动板的两侧上均安装有定位组件，所述定位组件的定位端插入所述定位球孔内，所述伸缩组件的两侧均设置有探针升降控制组件，所述探针升降控制组件的底端抵顶在所述安装腔的内底壁上，所述探针升降控制组件的升降端与所述伸缩组件的活动端固定连接。
[0007]上述一种可精确定位应用于3
‑
Omega实验系统的探针卡，所述壳体的背面沿其宽度方向开设有圆孔，所述圆孔内安装有BNC母头，所述BNC母头与所述探针通过连接线相连。
[0008]上述一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，所述定位组件包括定位球、顶杆和第一弹簧，所述滑动板的两侧壁面上均沿其长度方向开设有伸缩孔，所述顶杆滑
动配合在所述伸缩孔内，所述第一弹簧安装在所述伸缩孔的孔底和顶杆的端部之间，所述顶杆远离所述第一弹簧的一端端部上开设有球孔，所述定位球滚动安装在所述球孔内；所述滑动腔两侧壁面上的定位球孔对称设置，两侧所述定位球孔的数量均为两个或两个以上，且两侧所述定位球孔均沿所述滑动腔的宽度方向设置；所述待测材料和所述底槽的底壁之间设置有绝缘基板，所述待测材料上设置有两个或两个以上的所述金属电极，相邻两个所述金属电极的间距和相邻两个所述定位球孔的间距相等。
[0009]上述一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，所述伸缩组件包括连接筒、伸缩杆和第二弹簧，所述伸缩杆滑动配合在带动连接筒内，所述第二弹簧安装在所述连接筒内，所述第二弹簧的一端与所述连接筒的顶壁搭接，所述第二弹簧的另一端与所述伸缩杆的底端搭接；所述连接筒的顶端与所述滑动板的底部固定连接，所述伸缩杆的底端端部上开设有凹槽，所述绝缘块安装在所述凹槽内。
[0010]上述一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，所述伸缩组件的两侧均设置有连接杆，所述连接杆沿所述安装腔的长度方向设置，两个所述连接杆之间固定安装有连接柱，所述连接柱与所述伸缩组件的活动端侧壁固定连接，所述连接杆的两端均固定连接有连接板，所述探针升降控制组件与所述连接板固定连接。
[0011]上述一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，所述探针升降控制组件包括外套筒、支撑杆、按钮和活动柱，所述外套筒与所述连接板固定连接，所述支撑杆的上部滑动配合在所述外套筒内，所述支撑杆的侧壁上部设置有凸环，所述支撑杆的中部套有第三弹簧，所述第三弹簧的一端搭接在所述凸环上，所述第三弹簧的另一端搭接在所述外套筒的内底壁上，所述支撑杆的底端端部上开设有球形孔，所述球形孔内滚动安装有滚球，所述滚球抵顶在所述安装腔的底壁上，所述活动柱固定安装在所述按钮的底端上，所述活动柱同轴设置在所述外套筒内，所述按钮突出所述外套筒的顶端，所述支撑杆的顶部中间开设有凹腔，所述支撑杆的顶部两侧均通过支撑架安装有齿轮，所述外套筒的内侧壁上沿其轴向固定连接有第二齿条，所述第二齿条与所述齿轮的一侧啮合，所述活动柱的侧壁上沿其轴向固定连接有第一齿条，所述第一齿条与所述齿轮的另一侧啮合；所述活动柱上套有第四弹簧，所述第四弹簧的一端与所述按钮的底壁固定连接，所述第四弹簧的另一端与所述支撑架的顶部固定连接。
[0012]上述一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，所述安装腔内安装有护板，所述护板的形状为L形，所述护板的顶部两侧开设有矩形孔，所述按钮穿过所述矩形孔，所述护板的底部安装在所述安装腔的底壁上。
[0013]上述一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，所述滑动腔的两侧内壁从其中部至底部之间的距离逐渐缩小，所述滑动板的两侧距离从其中部至底部逐渐缩小。
[0014]本技术的技术方案取得了如下有益的技术效果：
[0015]1、通过设置滑动腔，配合滑动板，能够起到支撑探针的作用，并便于对移动进行探针，从而便于对多个金属电极进行实验；通过设置定位球孔和定位组件的配合，对每次位移后进行定位，使探针可以准确的对准金属电极。
[0016]2、通过设置探针升降控制组件，能够便于控制探针的升降，提高操作的便捷程度，并且探针与金属电极的距离可以控制，不易造成金属电极的损坏，同时两侧的探针升降控制组件能够起到辅助支撑探针的目的，提高实验时和移动时探针的稳定性。
附图说明
[0017]图1本技术的立体结构示意图；
[0018]图2本技术中壳体的透视立体图；
[0019]图3本技术的俯视剖面结构示意图；
[0020]图4本技术中护板的立体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，其特征在于，包括壳体(1)、滑动板(12)和探针(19)，所述壳体(1)的正面开设有安装腔(2)，所述安装腔(2)的上方开设有滑动腔(10)，所述安装腔(2)的底壁上开设有底槽(3)，所述滑动腔(10)的底端与所述安装腔(2)贯通，所述滑动板(12)滑动安装在所述滑动腔(10)内，所述滑动板(12)的底端穿出所述滑动腔(10)并固定连接有伸缩组件，所述探针(19)的顶端安装有绝缘块，所述绝缘块固定安装在所述伸缩组件的活动端端部上，所述滑动腔(10)的两侧壁面上均开设有定位球孔(11)，所述底槽(3)内设置有有待测材料(8)，所述待测材料(8)上设置有金属电极(9)，所述探针(19)的端部与所述金属电极(9)的位置相互对应；所述滑动板(12)的两侧上均安装有定位组件，所述定位组件的定位端插入所述定位球孔(11)内，所述伸缩组件的两侧均设置有探针升降控制组件，所述探针升降控制组件的底端抵顶在所述安装腔(2)的内底壁上，所述探针升降控制组件的升降端与所述伸缩组件的活动端固定连接。2.根据权利要求1所述的一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，其特征在于，所述壳体(1)的背面沿其宽度方向开设有圆孔(6)，所述圆孔(6)内安装有BNC母头(7)，所述BNC母头(7)与所述探针(19)通过连接线相连。3.根据权利要求1所述的一种可精确定位应用于3
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Omega实验系统的探针卡，其特征在于，所述定位组件包括定位球(13)、顶杆(14)和第一弹簧(15)，所述滑动板(12)的两侧壁面上均沿其长度方向开设有伸缩孔，所述顶杆(14)滑动配合在所述伸缩孔内，所述第一弹簧(15)安装在所述伸缩孔的孔底和顶杆(14)的端部之间，所述顶杆(14)远离所述第一弹簧(15)的一端端部上开设有球孔，所述定位球(13)滚动安装在所述球孔内；所述滑动腔(10)两侧壁面上的定位球孔(11)对称设置，两侧所述定位球孔(11)的数量均为两个或两个以上，且两侧所述定位球孔(11)均沿所述滑动腔(10)的宽度方向设置；所述待测材料(8)和所述底槽(3)的底壁之间设置有绝缘基板，所述待测材料(8)上设置有两个或两个以上的所述金属电极(9)，相邻两个所述金属电极(9)的间距和相邻两个所述定位球孔(11)的间距相等。4.根据权利要求1所述的一种可精确定位应用于3
‑
Omega实验系统的探针卡，其特征在于，所述伸缩组件包括连接筒(16)、伸缩杆(17)和第二弹簧(18)，所述伸缩杆(17)滑动配合在带动连接筒(16)内，所述第二弹簧(18)安装在所述连接筒(16)内，所述第二弹簧(18)的一端与所述连接筒(16)的顶壁搭接，所述第二弹簧(18)的另一端与所述伸缩杆(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓亮，左春猛，唐大伟，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：新型
国别省市：