一种原子层沉积的混合反应器制造技术

本实用新型专利技术公开的属于原子层沉积反应器技术领域，具体为一种原子层沉积的混合反应器，包括反应箱，所述反应箱的上侧壁固定设置有对称的进气管，所述反应箱的右侧壁固定设置有出气管，所述反应箱内壁的上端开设有对称的凹槽，两个所述凹槽之间横向固定设置有条形板，所述条形板的下侧壁开设有条形槽，所述条形槽的内部横向设置有缠绕杆，便于在通入气体时，可以通过隔离层将反应箱的内部有效分隔成两个储存空间来储存不同的气体，当通入的气体到达一定的浓度后，直接通过传动机构带动隔离层上移，将反应箱内部的两个空间变为一个空间，从而可以使通入内部的两种气体直接混合，操作简单，混合效率比较高。混合效率比较高。混合效率比较高。

【技术实现步骤摘要】
一种原子层沉积的混合反应器


[0001]本技术涉及原子层沉积反应器
，具体为一种原子层沉积的混合反应器。

技术介绍

[0002]原子层沉积是一种先进的超薄膜沉积技术，由于其反应过程具有自限制性，因此得到的沉积层具有良好的保形性，并可实现亚纳米级的厚度控制。由于其可在较低温度下实现复杂的三维孔道内均匀保形地沉积，因此逐渐成为聚合物多孔分离材料改性的重要手段。
[0003]目前的原子层沉积反应器在对气体进行储存的过程中不方便进行混合，必须要将两种气体重新装入另一个混合容器中进行混合，操作起来比较麻烦，且混合效果较差，影响混合效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种原子层沉积的混合反应器，以解决上述
技术介绍
中提出的目前的原子层沉积反应器在对气体进行储存的过程中不方便进行混合，必须要将两种气体重新装入另一个混合容器中进行混合，操作起来比较麻烦，且混合效果较差，影响混合效率的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种原子层沉积的混合反应器，包括反应箱，所述反应箱的上侧壁固定设置有对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种原子层沉积的混合反应器，包括反应箱(1)，其特征在于，所述反应箱(1)的上侧壁固定设置有对称的进气管(2)，所述反应箱(1)的右侧壁固定设置有出气管(3)，所述反应箱(1)内壁的上端开设有对称的凹槽，两个所述凹槽之间横向固定设置有条形板(4)，所述条形板(4)的下侧壁开设有条形槽，所述条形槽的内部横向设置有缠绕杆(5)，所述缠绕杆(5)的两端均与所述凹槽的内壁转动连接，所述缠绕杆(5)的杆壁缠绕设置有隔离层(6)，两个所述凹槽的下端均开设有空腔，两个所述空腔的侧壁均开设有条形口，所述隔离层(6)的下端固定设置有移动板(7)，所述反应箱(1)的下侧壁固定设置有机箱(8)，所述机箱(8)的内部固定设置有传动机构。2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积的混合反应器，其特征在于：所述缠绕杆(5)杆壁的两端均固定设置有限位块(9)，两个所述限位块(9)的两端均套接设置有扭力弹簧(10)，两个所述扭力弹簧(10)的一端均与所述限位块(9)的侧壁固定连接，两个所述扭力弹簧(10)的另一端均与所述凹槽的内壁固定连接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊华，
申请(专利权)人：苏州艾森豪尔新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：