测试电路制造技术

本申请提供了一种测试电路，包括开关模块、测量装置及浮动控制电路，其中，开关模块用于根据动作信号控制待测器件接入对应的测试电路，以使测试电路达到对应的工作状态；测量装置与开关模块连接，用于测量待测器件的漏电流；浮动控制电路，与开关模块及测量装置均连接，用于根据接收的测试触发信号动作，为开关模块提供动作信号，以控制开关模块动作。上述测试电路中，通过设置浮动控制电路，对开关线圈进行独立控制，与正常的测试电路分隔开，能够最大限度的减小开关对测试电路的影响，此外，测试电路通过开关的通断能够灵活实现不同参数的测试电路的切换，提高测试的效率，满足大规模工业生产需求。大规模工业生产需求。大规模工业生产需求。

【技术实现步骤摘要】
测试电路


[0001]本申请涉及电路测试
，特别是涉及一种测试电路。

技术介绍

[0002]在集成电路测试中，特别是半导体分立器件(比如MOSFET、三极管、IGBT等)的测试中，通常需要对被测试器件(后面称为DUT，Device Under Test)进行漏电流测试。由于在实际测试过程时，在同一夹具上会同时进行除了漏电流之外的其它参数测试，这就使得在测试电路设计时，需要增加切换电路，进行多个测试电路的切换和测试。
[0003]通常，测试电路的切换采用的方法是串联开关，通过开关的开通/关断实现测试电路的切换，但是由于开关线圈与触点之间无法避免存在漏电阻，在纳安级甚至皮安级的半导体分立器件漏电流测试中，由开关漏电阻导致的漏电流不可忽略。在大规模工业生产中，为了提高测试效率，测试设备(包括测试电源、测试仪表等)往往为成套设备，通过向外引出测试探头的方式进行测试试验，因此，在有开关的半导体微小电流测试电路中，测试设备不可避免会引入开关漏电流干扰，严重影响半导体测试的准确性，如何消除开关漏电流，成为集成电路测试中亟待解决的问题。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试电路，其特征在于，包括：开关模块，用于根据动作信号控制待测器件接入对应的测试电路，以使所述测试电路达到对应的工作状态；测量装置，与所述开关模块连接，用于测量所述待测器件的漏电流；浮动控制电路，与所述开关模块及所述测量装置均连接，用于根据接收的测试触发信号动作，为所述开关模块提供所述动作信号，以控制所述开关模块动作。2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，所述动作信号包括漏电流测试动作信号及其它测试动作信号，所述开关模块包括：第一开关，被配置为：第一触点通过所述测量装置与第一电源连接，第二触点与所述待测器件连接，第一线圈端口与第二线圈端口均与所述浮动控制电路连接；所述第一开关还被配置为：根据所述漏电流测试动作信号闭合，以控制所述待测器件接入漏电流测试电路，或根据所述其它测试动作信号断开，以切断所述待测器件与所述漏电流测试电路的连接；第二开关，被配置为：第一触点与所述第一开关的第二触点连接，第二触点与其它测试电路连接，第一线圈端口与第二线圈端口均与所述浮动控制电路连接；所述第二开关还被配置为：根据所述漏电流测试动作信号断开，以切断所述待测器件与所述其它测试电路的连接，或根据所述其它测试动作信号闭合，以控制所述待测器件接入所述其它测试电路的测试回路；第三开关，被配置为：第一触点与第一电源及所述浮动控制电路均连接，第二触点与所述第二开关的第二触点连接，第一线圈端口与第二电源连接，第二线圈端口与所述浮动控制电路连接；所述第三开关还被配置为：根据所述漏电流测试动作信号闭合，以使所述第二开关的第一触点与所述第二开关的第二触点通过所述测量装置短接，或根据所述其它测试动作信号断开。3.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，所述工作状态包括漏电流测试工作状态，所述开关模块被配置为：所述第一开关闭合，所述第二开关断开，所述第三开关闭合，所述测试电路进入漏电流测试工作状态。4.根据权利要求3所述的电路，其特征在于，所述工作状态包括其它测试工作状态，所述开关模块被配置为：所述第一开关断开，所述第二开关闭合，所述第三开关断开，所述测试电路进入其它测试工作状态。5.根据权利要求2所述的电路，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛怀宇，李威，
申请(专利权)人：北京华峰测控技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：