一种方镜拆卸工装制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻机工件台技术领域，具体为一种方镜拆卸工装，包括顶盖，所述顶盖上表面的左右两侧各设有一个把手，所述顶盖的中央设有顶部吸盘面保护板，所述顶部吸盘面保护板的左右两侧各设有两个衬套锁紧螺母，所述顶部吸盘面保护板的前后两侧各设有两个导向衬套锁紧螺母；位于方镜拆卸工装下方的方镜的上表面设有与四个衬套锁紧螺母、四个导向衬套锁紧螺母的位置相对应的八个方镜镶嵌件，其中与四个导向衬套锁紧螺母的位置相对应的四个方镜镶嵌件上各装有一个导向杆。在工件台维护过程中方镜拆卸作业过程中，可在保证方镜表面清洁的前提下，提高方镜拆卸作业的安全性。提高方镜拆卸作业的安全性。提高方镜拆卸作业的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种方镜拆卸工装


[0001]本技术涉及光刻机工件台
，特别是涉及一种方镜拆卸工装。

技术介绍

[0002]光刻机是集成电路制造的关键设备，光刻机工件台是决定光刻机产率、套刻精度等核心指标的重要分系统。高端光刻机工件台一般采用双频激光干涉仪与方镜组成反馈定位传感系统，工件台方镜的面形精度影响工件台同步及扫描定位精度，进而影响光刻机套刻精度与产率，因此高端光刻机对工件台方镜的面形加工检测精度以及安装、拆卸提出了很高要求。
[0003]现有的65nm双工件台方镜拆卸时需靠人工双手夹持方镜指定位置完成，存在方镜掉落、磕碰等风险，并且不符合现场标准作业规范要求，因此针对方镜拆卸需设计拆卸工装辅助拆卸。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种方镜拆卸工装，在工件台维护过程中方镜拆卸作业过程中，可在保证方镜表面清洁的前提下，提高方镜拆卸作业的安全性，此外，还通过4个方镜镶嵌件设计了4个导向杆作为方镜拆卸工装的防呆装置，提高了方镜拆卸作业效率和拆卸工装的可操作性。
[0005]为了解决上述技术问题，本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方镜拆卸工装，其特征在于：包括顶盖(3)，所述顶盖(3)上表面的左右两侧各设有一个把手(2)，所述顶盖(3)的中央设有顶部吸盘面保护板(4)，所述顶部吸盘面保护板(4)的左右两侧各设有两个衬套锁紧螺母(9)，所述顶部吸盘面保护板(4)的前后两侧各设有两个导向衬套锁紧螺母(10)；位于方镜拆卸工装下方的方镜(7)的上表面设有与四个衬套锁紧螺母(9)、四个导向衬套锁紧螺母(10)的位置相对应的八个方镜镶嵌件(8)，其中与四个导向衬套锁紧螺母(10)的位置相对应的四个方镜镶嵌件(8)上各装有一个导向杆(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李孔孔，张明，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：