一种蚀刻废液处理系统技术方案

本实用新型专利技术提出了一种蚀刻废液处理系统，包括储液桶、反应釜、吸附装置、加热装置、固化剂添加装置和分离装置，所述储液桶用于存放蚀刻废液，且与所述反应釜的进料端连通；所述反应釜的出气导向所述吸附装置；所述加热装置设置于所述反应釜上；所述固化剂添加装置与所述反应釜的进料端连通，用于向所述反应釜中添加固化剂，使所述固化剂与所述蚀刻废液反应；所述分离装置与所述反应釜的出料端连通。本实用新型专利技术的蚀刻废液处理系统对蚀刻废液中的含氟化合物进行了无害处理，避免对环境造成污染。避免对环境造成污染。避免对环境造成污染。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻废液处理系统


[0001]本技术涉及蚀刻废液处理
，尤其涉及一种蚀刻废液处理系统。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的飞速发展及其在生活中应用越来越广泛，半导体蚀刻液的需求快速增加，包括BOE缓冲氧化物蚀刻液、铜蚀刻液，其成分主要为氟化氢、氟化氢铵和氟化铵，由于这些含氟化合物对环境危害极大。如何将生产过程中报废的BOE缓冲氧化物蚀刻液、铜蚀刻液进行无害化处理、资源化回收则成了当务之急。因此迫切需要设计一种既简单实用又能对含氟有机溶剂进行有效回收，同时对人和环境不会造成危害的装置。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题中：针对如何无害化处理蚀刻废液中的含氟化合物的问题，提供一种蚀刻废液处理系统。
[0004]本技术提供了一种蚀刻废液处理系统，包括储液桶、反应釜、吸附装置、加热装置、固化剂添加装置和分离装置，所述储液桶用于存放蚀刻废液，且与所述反应釜的进料端连通；所述反应釜的出气导向所述吸附装置；所述加热装置设置于所述反应釜上；所述固化剂添加装置与所述反应釜的进料端连通，用于向所述反应釜中添加固化剂，使所述固化剂与所述蚀刻废液反应；所述分离装置与所述反应釜的出料端连通。
[0005]可选地，所述吸附装置包括吸附塔和吸附罐，所述反应釜的出气导向所述吸附塔，所述吸附塔内设置有氧化铝吸附层，用于吸附酸性气体；吸附塔的出气导向所述吸附罐，所述吸附罐内存储有酸性溶液，用于吸附碱性气体。
[0006]可选地，所述蚀刻废液处理系统还包括抽风装置，所述抽风装置包括抽风罩和排风管，所述抽风罩设置在所述储液桶上方，所述排风管连接所述抽风罩与所述吸附罐。
[0007]可选地，所述固化剂添加装置为氧化钙投料罐。
[0008]可选地，所述加热装置包括加热器和加热管道，所述加热管道的进水端和出水端分别与所述加热器连接，所述加热管道呈螺旋状设置在所述反应釜外周。
[0009]可选地，所述蚀刻废液处理系统还包括冷却装置，所述冷却装置包括制冷器和冷却管道，所述冷却管道的进水端和出水端分别与所述制冷器连接，所述冷却管道呈螺旋状设置在所述反应釜外周。
[0010]可选地，所述分离装置包括离心机和液体收集罐，所述离心机与所述反应釜的出料端连通，所述液体收集罐连接所述离心机，用于收集经所述离心机分离后的液体。
[0011]可选地，所述分离装置还包括供水装置，所述供水装置通过水管与所述离心机连接。
[0012]可选地，所述反应釜的进料端设置有第一进料口、第二进料口、出气口、取样口和出料口，所述第一进料口处连接有所述固化剂添加装置；所述第二进料口连接所述储液桶；所述出气口连接所述吸附装置；所述取样口用于抽取待检测的蚀刻废液；所述出料口与所
述分离装置连接。
[0013]可选地，所述第二进料口处设置有抽液管，所述抽液管连通所述储液桶与所述第二进料口。
[0014]在本技术中，通过设置加热装置对反应釜内的蚀刻废液进行加热，使蚀刻废液中的氟化铵分解生成氨气和氟化氢，氨气被吸附装置吸收。固化剂添加装置向反应釜内投放固化剂，固化剂与氟离子反应生成含氟化合物沉淀，除去蚀刻废液中的氟离子。分离装置将反应釜内的固液分离，排出除去铵根离子和氟离子的蚀刻废液。
附图说明
[0015]图1是本技术一实施例提供的一种蚀刻废液处理系统的结构示意图。
[0016]附图标记说明：
[0017]1、储液桶；2、反应釜；21、第一进料口；22、第二进料口；23、出气口；24、取样口；25、出料口；3、固化剂添加装置；41、吸附塔；42、吸附罐；51、抽风罩；52、排风管；61、加热器；62、加热管道；71、制冷器；72、冷却管道；81、离心机；82、液体收集罐；83、供水装置；9、抽液管。
具体实施方式
[0018]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0019]为了说明本技术的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
[0020]如图1所示，本技术的一实施例的一种蚀刻废液处理系统，包括储液桶1、反应釜2、吸附装置、加热装置、固化剂添加装置3和分离装置，所述储液桶1用于存放蚀刻废液，且与所述反应釜2的进料端连通。所述反应釜2的出气导向所述吸附装置。所述加热装置设置于所述反应釜2上。所述固化剂添加装置3与所述反应釜2的进料端连通，用于向所述反应釜2中添加固化剂，使所述固化剂与所述蚀刻废液反应。所述分离装置与所述反应釜2的出料端连通。
[0021]蚀刻废液处理系统工作过程如下：加热装置对反应釜2内的蚀刻废液进行加热，加热到62
‑
64℃，氟化铵分解成氨气和氢氟酸，氨气因沸点低携带氟化氢气体挥发至吸附装置，被吸附装置吸收。反应釜2内蚀刻废液加热24h后，检测溶液中铵根离子的含量小于等于200ppm以后，固化剂添加装置3向反应釜2内投入固化剂，蚀刻废液中剩余的氟化氢与固化剂反应，生成含氟的沉淀物，将反应釜2内蚀刻废液的pH调节至7
‑
9，通过分离装置将反应釜2内的固体和液体分离，经分离装置分离出来的液体经取样检测氟离子含量为1pppm，为合格废水，液体可排入污水口排放。
[0022]在本实施例中，通过设置加热装置对反应釜2内的蚀刻废液进行加热，使蚀刻废液中的氟化铵分解生成氨气和氟化氢，氨气被吸附装置吸收。固化剂添加装置3向反应釜2内投放固化剂，固化剂与氟离子反应生成含氟化合物沉淀，除去蚀刻废液中的氟离子。分离装置将反应釜2内的固液分离，排出除去铵根离子和氟离子的蚀刻废液。
[0023]如图1所示，在本技术的一些实施例中，所述吸附装置包括吸附塔41和吸附罐42，所述反应釜2的出气导向所述吸附塔41，所述吸附塔41内设置有氧化铝吸附层，用于吸
附酸性气体。吸附塔41的出气导向所述吸附罐42，所述吸附罐42内存储有酸性溶液，用于吸附碱性气体。氧化铝与氟化氢反应，氨气经过吸附塔41后流向吸附罐42，吸附罐42中的酸性溶液为磷酸溶液，磷酸溶液与氨气反应生成磷酸铵，其中酸性溶液也可以是硫酸等其它酸性溶液。
[0024]如图1所示，在本技术的一些实施例中，所述蚀刻废液处理系统还包括抽风装置，所述抽风装置包括抽风罩51和排风管52，所述抽风罩51设置在所述储液桶1上方，所述排风管52连接所述抽风罩51与所述吸附罐42。通过在储液桶1上方设置抽风罩51和排风管52，抽风罩51将防止蚀刻废液挥发，原料桶口处设置有抽风罩51，抽风罩51将蚀刻废液挥发出的气体导向至吸附罐42。
[0025]如图1所示，在本技术的一些实施例中，所述固化剂添加装置3为氧化钙投料罐。固化剂添加装置3向反应釜2中投入氧化钙，氧化钙与蚀刻废液中的含氟化合物反应生成氟化钙沉淀。需要进行说明的是固化剂添加装置3也本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻废液处理系统，其特征在于，包括储液桶、反应釜、吸附装置、加热装置、固化剂添加装置和分离装置，所述储液桶用于存放蚀刻废液，且与所述反应釜的进料端连通；所述反应釜的出气导向所述吸附装置；所述加热装置设置于所述反应釜上；所述固化剂添加装置与所述反应釜的进料端连通，用于向所述反应釜中添加固化剂，使所述固化剂与所述蚀刻废液反应；所述分离装置与所述反应釜的出料端连通。2.根据权利要求1所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述吸附装置包括吸附塔和吸附罐，所述反应釜的出气导向所述吸附塔，所述吸附塔内设置有氧化铝吸附层，用于吸附酸性气体；吸附塔的出气导向所述吸附罐，所述吸附罐内存储有酸性溶液，用于吸附碱性气体。3.根据权利要求2所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述蚀刻废液处理系统还包括抽风装置，所述抽风装置包括抽风罩和排风管，所述抽风罩设置在所述储液桶上方，所述排风管连接所述抽风罩与所述吸附罐。4.根据权利要求1所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述固化剂添加装置为氧化钙投料罐。5.根据权利要求1所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述加热装置包括加热器和加热管道，所述加热管道的进水端和出水端分别与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵大成，鄢艳华，陈思宇，杨婷元，刘雁，
申请(专利权)人：深圳新宙邦科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：