一种蚀刻废液处理系统技术方案

本实用新型专利技术提出了一种蚀刻废液处理系统，包括储液桶、反应釜、吸附装置、加热装置、固化剂添加装置和分离装置，所述储液桶用于存放蚀刻废液，且与所述反应釜的进料端连通；所述反应釜的出气导向所述吸附装置；所述加热装置设置于所述反应釜上；所述固化剂添加装置与所述反应釜的进料端连通，用于向所述反应釜中添加固化剂，使所述固化剂与所述蚀刻废液反应；所述分离装置与所述反应釜的出料端连通。本实用新型专利技术的蚀刻废液处理系统对蚀刻废液中的含氟化合物进行了无害处理，避免对环境造成污染。避免对环境造成污染。避免对环境造成污染。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻废液处理系统


[0001]本技术涉及蚀刻废液处理
，尤其涉及一种蚀刻废液处理系统。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的飞速发展及其在生活中应用越来越广泛，半导体蚀刻液的需求快速增加，包括BOE缓冲氧化物蚀刻液、铜蚀刻液，其成分主要为氟化氢、氟化氢铵和氟化铵，由于这些含氟化合物对环境危害极大。如何将生产过程中报废的BOE缓冲氧化物蚀刻液、铜蚀刻液进行无害化处理、资源化回收则成了当务之急。因此迫切需要设计一种既简单实用又能对含氟有机溶剂进行有效回收，同时对人和环境不会造成危害的装置。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题中：针对如何无害化处理蚀刻废液中的含氟化合物的问题，提供一种蚀刻废液处理系统。
[0004]本技术提供了一种蚀刻废液处理系统，包括储液桶、反应釜、吸附装置、加热装置、固化剂添加装置和分离装置，所述储液桶用于存放蚀刻废液，且与所述反应釜的进料端连通；所述反应釜的出气导向所述吸附装置；所述加热装置设置于所述反应釜上；所述固化剂添加装置与所述反应釜的进料端连通，用于向所述反应釜中添加固化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻废液处理系统，其特征在于，包括储液桶、反应釜、吸附装置、加热装置、固化剂添加装置和分离装置，所述储液桶用于存放蚀刻废液，且与所述反应釜的进料端连通；所述反应釜的出气导向所述吸附装置；所述加热装置设置于所述反应釜上；所述固化剂添加装置与所述反应釜的进料端连通，用于向所述反应釜中添加固化剂，使所述固化剂与所述蚀刻废液反应；所述分离装置与所述反应釜的出料端连通。2.根据权利要求1所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述吸附装置包括吸附塔和吸附罐，所述反应釜的出气导向所述吸附塔，所述吸附塔内设置有氧化铝吸附层，用于吸附酸性气体；吸附塔的出气导向所述吸附罐，所述吸附罐内存储有酸性溶液，用于吸附碱性气体。3.根据权利要求2所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述蚀刻废液处理系统还包括抽风装置，所述抽风装置包括抽风罩和排风管，所述抽风罩设置在所述储液桶上方，所述排风管连接所述抽风罩与所述吸附罐。4.根据权利要求1所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述固化剂添加装置为氧化钙投料罐。5.根据权利要求1所述的蚀刻废液处理系统，其特征在于，所述加热装置包括加热器和加热管道，所述加热管道的进水端和出水端分别与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵大成，鄢艳华，陈思宇，杨婷元，刘雁，
申请(专利权)人：深圳新宙邦科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：