光学装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的光学装置包括：多个激光光源(20)；具有光调变器的输出模块(30)；以及配置于所述多个激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光的时间分割器(50)。间分割器(50)。间分割器(50)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法


[0001]本专利技术涉及一种具备激光光源的光学装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法。
[0002]本申请基于2020年1月10日申请的美国专利临时申请第62/959,178号主张优先权，在此援引其内容。

技术介绍

[0003]激光光束被用于各个领域。

技术实现思路

[0004]专利技术所要解决的问题
[0005]在使用激光光束的装置中，不断期望处理精度的提高及能量效率的提高。例如，期望减少激光光束的能量损失、适当控制激光光束的输出强度、抑制散斑(speckle)、适当控制光束输出时机和/或适当控制输出光束波形。
[0006]解决问题的技术手段
[0007]在本专利技术的一方案中，光学装置包括：多个激光光源；输出模块，具有光调变器；以及时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光。
[0008]在本专利技术的另一方案中，光学装置包括：多个激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；以及时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光。
[0009]在本专利技术的又一方案中，光学装置包括：多个输出模块，各自具有光调变器；时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光；以及副分割器，配置于所述多个激光光源与所述时间分割器之间、或者所述时间分割器与所述多个输出模块之间。
[0010]在本专利技术的又一方案中，光学装置包括：激光光源；输出模块；以及时间分割器，配置于所述激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述激光光源射出的激光。所述时间分割器使用多个反射面来分割所述激光。
[0011]在本专利技术的又一方案中，光学装置包括：激光光源；多个输出模块；以及时间分割器，配置于所述激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述激光光源射出的激光。所述时间分割器使用多个反射面来分割所述激光。
[0012]在本专利技术的又一方案中，光学装置包括：激光光源；输出模块，具有光调变器；以及声光元件，配置于所述光源与所述输出模块之间。
[0013]在本专利技术的又一方案中，光学装置包括：激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；以及声光元件，配置于所述激光光源与所述输出模块之间。
[0014]在本专利技术的又一方案中，光学装置包括：激光光源，射出脉冲光；输出模块，具有光
调变器；时间分割器，配置于所述激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割所述脉冲光；以及控制器，基于所述脉冲光的频率来控制所述时间分割器对所述脉冲光的分割。
[0015]在本专利技术的又一方案中，光学装置包括：激光光源，射出脉冲光；多个输出模块，各自具有光调变器；时间分割器，配置于所述激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割所述脉冲光；以及控制器，基于所述脉冲光的频率来控制所述时间分割器对所述脉冲光的分割。
附图说明
[0016][图1]图1是表示包括激光光源的激光光束系统(光学装置)的各种形态例的示意图。
[0017][图2]图2是表示包括激光光源的激光光束系统(光学装置)的其他各种形态例的示意图。
[0018][图3]图3是表示脉冲激光光束的合成控制的例子的图。
[0019][图4]图4是表示CW激光光束的合成控制的例子的图。
[0020][图5]图5是表示输出光束的例子的图。
[0021][图6]图6是表示输出光束的另一例的图。
[0022][图7]图7是表示应用多边形镜器件(polygon mirror device)作为时间分割器(旋转器件)的例子的图。
[0023][图8]图8是表示应用多边形镜器件作为时间分割器(旋转器件)的例子的图。
[0024][图9]图9是表示应用光开关器件作为时间分割器(旋转器件)的例子的图。
[0025][图10]图10是表示应用光开关器件作为时间分割器(旋转器件)的例子的图。
[0026][图11]图11是表示应用光开关器件作为副分割器(动态时间分割器)、应用多边形镜器件作为时间分割器(动态时间分割器)的例子的图。
[0027][图12]图12是表示应用电光调变器作为时间分割器、应用偏振分束器作为副分割器(静态分割器)的例子的图。
[0028][图13]图13是表示应用电光调变器作为副分割器(动态时间分割器)、应用偏振分束器作为副分割器(静态分割器)的例子的图。
[0029][图14]图14是表示具备配置于光路上的光圈(aperture)器件的例子的图。
[0030][图15]图15是概略性表示曝光装置的整体结构的图。
[0031][图16]图16是表示曝光装置的结构例的图。
[0032][图17]图17是用于说明激光光束的重复频率与空间光调变器(SLM)的运行频率之间的关系的图。
[0033][图18]图18是用于说明光源与输出模块的组合的图。
[0034][图19]图19是表示不具备SLM的曝光装置的结构的一例的图。
[0035][图20]图20是表示具备SLM的曝光装置的结构的一例的图。
[0036][图21]图21是用于说明图案线宽与发光时间之间的关系的图。
[0037][图22]图22是用于说明光束的能量损失的图。
[0038][图23]图23是用于说明光束的时间分割的图。
[0039][图24]图24是用于说明基于照射时机的多个SLM间的投影位置的偏差的图。
micro
‑
mirror device，DMD))、磁光学空间光调变器(Magneto Optic Spatial Light Modulator，MOSLM)等。
[0063]时间分割器(时间分配器、动态时间分割器、光学时间分割器、光开关、光快门、动态开关、动态快门、动态分离机、光路切换机)50由控制器40控制，构成为在时间上分割激光光束。例如，作为时间分割器50，可例示多边形镜器件、检流计镜器件、电光调变器(electro
‑
optic modulator，EOM)、声光调变器(acousto
‑
optic modulator，AOM)、振动器件、其他光开关器件(液晶开关等)等。进行了时间分割的光束能够选择性地利用。进而，进行了时间分割的多个光束可合成、混合和/或会聚。例如，来自时间分割器50的选择性地提取的光束进入至输出模块30。在一例中，进行了时间分割的光束每隔时间轴上的规定跨距而被引导至多个光路径。多个进行了时间分割的光束(已分配的多个光束)被分别供给至多个路径。
[0064]在特定的实施方式中，时间分割器50被控制为与输出模块30的SLM 60同步地进行驱动。例如，对SLM 60供给与SLM 60的驱动时机对应的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学装置，其特征在于，包括：多个激光光源；输出模块，具有光调变器；以及时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光。2.一种光学装置，其特征在于，包括：多个激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；以及时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光。3.一种光学装置，其特征在于，包括：多个激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光；以及副分割器，配置于所述多个激光光源与所述时间分割器之间、或者所述时间分割器与所述多个输出模块之间。4.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；输出模块；以及时间分割器，配置于所述激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述激光光源射出的激光，且所述时间分割器使用多个反射面来分割所述激光。5.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；多个输出模块；以及时间分割器，配置于所述激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述激光光源射出的激光，且所述时间分割器使用多个反射面来分割所述激光。6.根据权利要求4或5所述的光学装置，包括多个所述激光光源。7.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；输出模块，具有光调变器；以及声光元件，配置于所述光源与所述输出模块之间。8.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；以及声光元件，配置于所述激光光源与所述输出模块之间。9.根据权利要求7或8所述的光学装置，包括多个所述激光光源。
10.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源，射出脉冲光；输出模块，具有光调变器；时间分割器，配置于所述激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割所述脉冲光；以及控制器，基于所述脉冲光的频率来控制所述时间分割器对所述脉冲光的分割。11.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源，射出脉冲光；多个输出模块，各自具有光调变器；时间分割器，配置于所述激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割所述脉冲光；以及控制器，基于所述脉冲光的频率来控制所述时间分割器对所述脉冲光的分割。12.根据权利要求10或11所述的光学装置，包括多个所述激光光源。13.一种曝光装置，其特征在于，包括：根据权利要求1至12中任一项所述的光学装置；以及基板支撑部，支撑利用由所述光调变器引导的光进行曝光的基板。14.一种曝光装置，在基板上曝光规定图案，其特征在于，包括：光源；空间光调变器，基于记述所述规定图案的图案数据对来自所述光源的所述光进行空间调变；投影光学系，将进行了所述空间调变的所述光的投影像投影至所述基板；以及光路切换机，切换自所述光源依次振荡出的光的光路，依序引导至设置有多个的所述空间调变器，且所述光路切换机包括第1切换机及第2切换机，所述第1切换机将所述光路切换至第一光路与第二光路中的任一者，所述第2切换机将引导至所述第一光路的所述光切换至多个空间光调变器中第一群组的空间光调变器、将引导至所述第二光路的所述光切换至多个空间光调变器中第二群组的空间调变器地分别引导所述光。15.根据权利要求14所述的曝光装置，其中所述第1切换机包括：第一区域，将自所述光源在第一期间内振荡出的所述光引导至所述第一光路；以及第二区域，将自所述光源在与所述第一期间不同的第二期间内振荡出的所述光引导至所述第二光路。16.根据权利要求15所述的曝光装置，其中所述第一区域反射所述光，所述第二区域透过所述光。17.根据权利要求15所述的曝光...

【专利技术属性】
技术研发人员：水野恭志，加藤正纪，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：