用于追踪与识别光刻系统的部件的方法及光刻系统技术方案

本发明专利技术关于一种用于追踪与识别光刻系统，特别是用于半导体光刻的投射曝光装置(100,200,400)的部件(1)的方法。所述部件(1)中的每一个具有至少一个转发器(2)。该转发器(2)具有数据存储器(3)，其上储存有关各部件(1)的数据。该转发器(2)设置成拾取读取器(4)的无线抵达信号并采用来自该数据存储器(3)的数据响应。应。应。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于追踪与识别光刻系统的部件的方法及光刻系统
[0001]本申请案主张2020年2月3日所申请的德国专利申请案第DE 102020201 264.4号的优先权，其整个内容在此以引用方式并入本说明书作为本公开的一部分。


[0002]本专利技术关于一种如权利要求1的前序所述的用于追踪与识别光刻系统、特别是用于半导体光刻的投射曝光装置的部件的方法。
[0003]本专利技术还关于一种如权利要求16的前序所述的光刻系统、特别是一种用于半导体光刻的投射曝光装置，其包含具有辐射源的照明系统以及具有多个部件的光学单元。

技术介绍

[0004]光刻系统，特别是用于半导体光刻的投射曝光装置，具有大量部件，所述部件进而含有大量子部件。
[0005]为了追踪与识别所述部件，从现有技术已知所述部件具有多种商品管理系统。在这种情况下，该商品管理系统的编号可通过雕刻或压印而应用于所述部件。然而，可从该商品管理系统的编号直接获得的信息内容有限。
[0006]光刻系统，特别是投射曝光装置可具有个别化配置或客制化配置，这可意味着所述部件同样以个别化或客制化方式设置。举例来说，由于特定客户意愿或个别化，用于特定光刻系统的部件的处理可能与该部件的习惯处理有所不同，或该部件可能已在其中并入类型、设置、或配置与通常并入该部件中的子部件有所不同的子部件。
[0007]从该商品管理系统的编号，此有所不同无法被推论出，或只能推论到有限程度。
[0008]此外，对于光刻系统，特别是投射曝光装置，可具有性质(在规格内)与其他光刻系统或投射曝光装置中所使用的相同类型的部件的性质不同的部件。然而，此部件在该商品管理系统中具有相同编号。
[0009]在光刻系统的情况下，特别是在投射曝光装置的情况下，至关重要的是其在已为客户进行安装之后迅速行动，如在维护的情况下且特别是也在错误讯息发生的情况下。针对此，有必要由现场服务人员迅速识别并适当解决问题。在这种情况下，对该服务人员来说，迅速拥有关于该部件的可用信息可能至关重要。此信息也包括关于个别化或客制化调适的信息，或关于该部件的有所不同性质(在规格内)的信息。
[0010]已证实基于商品管理系统的编号获得前述信息很复杂。这通常需要服务人员基于商品管理系统的编号建立对各种数据库的连接，以获得关于部件的生产、个别化、客制化调适、或进一步性质的更多特定信息。对客户来说，时常无法在现场，特别是在操作光刻系统、特别是投射曝光装置的环境中取回此数据。投射曝光装置通常在无尘室中或在真空环境中进行操作，这导致对应限制。时常也无法或不能直接或不允许做笔记，或使用U盘或其他硬盘储存器件。
[0011]关于光刻系统、特别是用于半导体光刻的投射曝光装置的个别化或客制化制造，若采取简单措施确保将个别化部件或采用客制化方式所配置部件并入正确光刻系统或正
确投射曝光装置中，或将部件交货给正确客户，则尽早在生产期间可能是有利的。前述要求特别是应用于用于半导体光刻的投射曝光装置，但对于其他光刻系统、特别是也对于用于半导体产业中的光光刻掩模的检验和维修的装置，并对于用于半导体产业中的制程控制的装置和系统也很重要。
[0012]关于追踪与识别光刻系统、特别是用于半导体光刻的投射曝光装置的部件的又一缺点在于投射曝光装置(特别是)在无尘室中或在真空环境中进行操作，因此对所述部件的可达性(例如也为了读出商品管理系统的所压印编号的目的)受限。由于这些原因，条形码的使用也仅在有限程度上适合，因为无法可靠确保该条形码可由条形码读取器读出，特别是在已为客户安装投射曝光装置之后。
[0013]而且，条形码具有以下缺点：尽管可在其上储存附加信息，但若欲传达大量信息，则该读取器有必要建立到进一步数据库的连接，特别是也为了能够取回关于可能关键子部件或其类似物的信息。此外，条形码具有以下缺点：一旦该条形码已建立，即无法再更改。即，无法将已如在部件的生产期间所出现的附加信息或例如服务信息记录在该条形码上。即，如在维护的情况下或在错误发生的情况下，服务人员不会在现场直接获得关于部件的所有必要信息。

技术实现思路

[0014]本专利技术基于改良追踪与识别光刻系统、特别是用于半导体光刻的投射曝光装置的部件的目的。
[0015]本专利技术还基于提供光刻系统、特别是投射曝光装置的目的，其中改良部件的追踪与识别。
[0016]关于该方法，此目的根据通过权利要求1所述的本专利技术来实现。
[0017]关于光刻系统、特别是投射曝光装置，此目的通过权利要求16所述特征来实现。
[0018]根据用于追踪与识别光刻系统、特别是用于半导体光刻的投射曝光装置的部件的本专利技术的方法规定，所述部件中的每一个具有至少一个转发器，此后该转发器具有一数据存储器，其上储存有关各部件的数据，且该转发器设置成拾取读取器的无线抵达信号并采用来自该数据存储器的数据响应。
[0019]本专利技术人已确认，前述方法、特别是转发器的使用，特别是适用于使得能够在光刻系统的情况下、特别是在用于半导体光刻的投射曝光装置的情况下追踪与识别部件。
[0020]相较于多种商品管理系统，并也相较于条形码，此转发器具有其上能够直接储存所有相关信息的数据存储器是有利的，使得服务人员(例如为了维护或维修目的)可直接在现场取回相关数据，而不必离开无尘室和/或真空环境。因此，维护或修理措施可以加速方式来执行。
[0021]该数据存储器使其可储存部件及其子部件的甚至更复杂或详细数据，特别是也关于个别化和/或客制化特征。
[0022]为了设计能使转发器可储存所有必要数据的转发器的数据存储器，在本专利技术的背景中可规定首先检查哪些数据欲储存在数据存储器上。
[0023]而且，根据本专利技术的方法的一个特别的优势在于，即使在无尘室或真空环境中，仍可采取简单方式取回数据，而服务人员不必以光学方式读取雕刻在部件中的条形码或多种
商品管理系统(这由于部件的该安装情况而不可能或可能有困难)。
[0024]根据本专利技术的解决方案规定转发器采用来自数据存储器的数据响应读取器的无线抵达信号，使得即使无直接视线仍可读出数据。
[0025]转发器设置成使得在部件和/或光刻系统的生产制程中，选择性地，数据在数据存储器上进行重复储存或更新。因此，也可能(以简单方式)检查正确部件是否并入光刻系统中。
[0026]在根据本专利技术的方法的背景中，可规定光刻系统、特别是用于半导体光刻的投射曝光装置的任意数量的部件设置有转发器。在这种情况下，在本专利技术的背景中，也可规定仅一部件设置有转发器。最好是，多个部件设置有转发器。不言而喻，也可规定所有部件、特别是所有关键部件、且特别是具有多个子部件的部件设置有转发器。
[0027]若读取器的信号为无线或非接触地传送，而无需到转发器的光学视线，则是有利的。若读取器的信号为无线电传送，则特别有利。
[0028]而且，若被动式转发器用作转发器，则是有利的。
[0029]被动式转发器的使用已证实特别适合，因为此本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于追踪与识别光刻系统的部件(1)的方法，特别是用于半导体光刻的投射曝光装置(100,200,400)的部件，其特征在于，所述部件(1)中的每一个具有至少一个转发器(2)，该转发器(2)具有数据存储器(3)，其上储存有关各部件(1)的数据，且该转发器(2)设置成拾取读取器(4)的无线抵达信号并采用来自该数据存储器(3)的数据响应，其中该光刻系统具有该转发器(2)的所述部件(1)是没有电气部件和/或没有电源的机械部件。2.如权利要求1的方法，其特征在于被动式转发器用作转发器(2)。3.如权利要求1或2的方法，其特征在于所述读取器(4)的所述信号通过无线电传送。4.如权利要求1、2、或3的方法，其特征在于所述转发器(2)设置成在该数据存储器(3)上根据需要储存经由所述读取器(4)的所述信号和/或传送器而抵达的数据。5.如权利要求1至4中任一项的方法，其特征在于在所述部件(1)的生产期间和/或在所述光刻系统的生产期间和/或在所述光刻系统的启动之后，所述数据储存在所述数据存储器(3)上。6.如权利要求5的方法，其特征在于在所述部件(1)的生产期间和/或在所述光刻系统的生产期间和/或在所述光刻系统的启动之后，数据重复储存在所述数据存储器(3)上。7.如权利要求1至6中任一项的方法，其特征在于下列一个或多个信息项目储存在所述数据存储器(3)中：
‑
关于部件(1)的类型的识别的数据；
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所述部件(1)的生产的IST数据；
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有关所述部件(1)的个别化和/或客制化调适的数据；
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有关所述部件(1)与特定光刻系统的关联性的数据，特别是个别化光刻系统和/或以客制化方式设置的光刻系统；
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有关所述部件(1)的性质的数据，具有所述性质的所述部件与规格内的相同类型的其他部件(1)不同；
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所述部件(1)的测量数据；
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有关所述部件(1)的全面检修、改良、转换、更新、或置换的数据；
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有关所述部件(1)的服务、启动、维修、和/或维护的数据；
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有关所述部件(1)的生产步骤的数据；
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有关所述部件(1)的一个或多个材料的数据；
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有关所述部件(1)的校准的资料；
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有关该部件(1)的处理的数据；
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有关生产特征的数据；
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有关产品特征的数据；
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有关所述部件(1)的子部件(7)的数据；
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有关所述部件(1)的硬件和/或所述部件(1)的子部件(7)的类型、配置、设置、处理、或状态的数据；
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【专利技术属性】
技术研发人员：M坎普弗罗泽，C沃尔辛，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：