一种旋转机构实现晶圆干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种旋转机构实现晶圆干燥装置，包括箱体、气动门、机械手、中心旋转平台、旋转盘、托板、晶圆片、上风刀、下风刀、输气管、排气管和排液管，所述箱体内部设置有中心旋转平台，所述箱体内部设置有上风刀，所述箱体内部设置有下风刀。本实用新型专利技术通过，技术效果在于，箱体、气动门、机械手、中心旋转平台、旋转盘、托板、晶圆片、上风刀和下风刀相互配合；优点在于，气动门和机械手实现了晶圆片自动拿进拿出，中心旋转平台、旋转盘和托板实现了晶圆片旋转，上风刀和下风刀实现了晶圆片表面上的小液珠去除功能，制造成本较低，结构较为简单，维修成本较低，去除小液珠效率高的优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转机构实现晶圆干燥装置


[0001]本技术涉及晶圆干燥
，具体涉及一种旋转机构实现晶圆干燥装置。

技术介绍

[0002]旋转机构实现晶圆干燥装置是一种将晶圆边上的小液珠精确吹掉用的，去除小液珠效果较好，制造成本较低，结构较为简单，晶圆边上经常有小液珠，用烘干、风干和甩干等，效果不佳，任有小液珠存在，为了彻底解决晶圆边上的小液珠，利用风刀进行吹走，通过风刀吹走小液珠，晶圆边上的小液珠均被吹走。
[0003]现有的晶圆干燥设备，干燥效率不高，去除小液珠效果不佳，烘干效果并不理想依然存有较小的小液珠，例如公告号CN202120140270.8公开的晶圆干燥设备，制造成本较高，结构较为复杂，维修成本较高，干燥较效率较低。
[0004]因此，专利技术一种旋转机构实现晶圆干燥装置来解决上述制造成本较高，结构较为复杂，维修成本较高，干燥较效率较低的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种旋转机构实现晶圆干燥装置，以解决技术中制造成本较高，结构较为复杂，维修成本较高，干燥较效率较低的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种旋转机构实现晶圆干燥装置，包括箱体、气动门、机械手、中心旋转平台、旋转盘、托板、晶圆片、上风刀、下风刀、输气管、排气管和排液管，所述箱体内部设置有中心旋转平台，所述箱体内部设置有上风刀，所述箱体内部设置有下风刀，上风刀和下风刀用于吹走晶圆片边上的小液珠，解决了制造成本较高，结构较为复杂，维修成本较高，干燥较效率较低的问题。r/>[0007]优选的，所述箱体底外表面设置有气动门，所述箱体底部设置有工作面板，气动门便于自动开关，有利于工作方便。
[0008]优选的，所述箱体内部设置有排气管，所述箱体内部设置有排液管，排气管用于释放箱体内部气压，释放上风刀和下风刀吹进来的气体。
[0009]优选的，所述工作面板顶部设置有气动门，所述工作面板顶部设置有机械手，气动门和机械手配合，气动门负责开关门，机械手将晶圆片拿进拿出。
[0010]优选的，所述中心旋转平台内部设置有旋转盘，所述旋转盘顶部设置有托板，所述托板顶部设置有晶圆片，中心旋转平台内部的旋转盘带动托板，从而带动晶圆片旋转，便于上风刀和下风刀吹走晶圆片表面上的小液珠。
[0011]优选的，所述晶圆片位于上风刀的下方，所述晶圆片位于下风刀的上方，上风刀负责晶圆片上表面的小液珠，下风刀负责晶圆片下表面的小液珠，上风刀和下风刀同时工作。
[0012]优选的，所述输气管端部连接有上风刀，所述输气管端部连接有下风刀，输气管用于对上风刀和下风刀提供气体。
[0013]优选的，所述排气管位于排液管的上方，排气管高于排液管，排气管有利于气体的
排出，排液管有利于液体的排出。
[0014]在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：技术效果在于，箱体、气动门、机械手、中心旋转平台、旋转盘、托板、晶圆片、上风刀和下风刀相互配合；优点在于，气动门和机械手实现了晶圆片自动拿进拿出，中心旋转平台、旋转盘和托板实现了晶圆片旋转，上风刀和下风刀实现了晶圆片表面上的小液珠去除功能，制造成本较低，结构较为简单，维修成本较低，去除小液珠效率高的优点。
附图说明
[0015]图1为本技术机械手的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术箱体的剖视图；
[0017]图3为本技术排气管的立体结构示意图；
[0018]图4为本技术晶圆片的立体结构示意图。
[0019]附图标记说明：
[0020]1、箱体；2、气动门；3、工作面板；4、机械手；5、中心旋转平台；6、旋转盘；7、托板；8、晶圆片；9、上风刀；10、下风刀；11、输气管；12、排气管；13、排液管。
具体实施方式
[0021]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合附图对本技术作进一步的详细介绍。
[0022]本技术提供了如图1
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4所示的一种旋转机构实现晶圆干燥装置，包括箱体1、气动门2、机械手4、中心旋转平台5、旋转盘6、托板7、晶圆片8、上风刀9、下风刀10、输气管11、排气管12和、排液管13，箱体1内部设置有中心旋转平台5，箱体1内部设置有上风刀9，箱体1内部设置有下风刀10。
[0023]箱体1底外表面设置有气动门2，箱体1底部设置有工作面板3，箱体1内部设置有排气管12，箱体1内部设置有排液管13，工作面板3顶部设置有气动门2，工作面板3顶部设置有机械手4，中心旋转平台5内部设置有旋转盘6，旋转盘6顶部设置有托板7，托板7顶部设置有晶圆片8，晶圆片8位于上风刀9的下方，晶圆片8位于下风刀10的上方，输气管11端部连接有上风刀9，输气管11端部连接有下风刀10，排气管12位于排液管13的上方。
[0024]本实用工作原理：
[0025]参照说明书附图1
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4，在使用本装置时，机械手4抓取晶圆片8，气动门2自动打开，机械手4将晶圆片8送至托板7，机械手4缩回，气动门2关闭，箱体1内部的中心旋转平台5工作，带动旋转盘6旋转，旋转盘6带动托板7，托板7带动晶圆片8进行旋转，输气管11对上风刀9和下风刀10输送气体，晶圆片8一边旋转，上风刀9和下风刀10同时吹出气体，将晶圆片8表面上的小液珠出掉，保证晶圆片8外表上的干净，无小液珠，气动门2再次打开，机械手4进入箱体1内部，抓取晶圆片8，放置在一个集中处理的地方，气动门2关闭。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转机构实现晶圆干燥装置，包括箱体(1)、气动门(2)、工作面板(3)、机械手(4)、中心旋转平台(5)、旋转盘(6)、托板(7)、晶圆片(8)、上风刀(9)、下风刀(10)、输气管(11)、排气管(12)和排液管(13)，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有中心旋转平台(5)，所述箱体(1)内部设置有上风刀(9)，所述箱体(1)内部设置有下风刀(10)。2.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置，其特征在于：所述箱体(1)底外表面设置有气动门(2)，所述箱体(1)底部设置有工作面板(3)。3.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装置，其特征在于：所述箱体(1)内部设置有排气管(12)，所述箱体(1)内部设置有排液管(13)。4.根据权利要求1所述的一种旋转机构实现晶圆干燥装...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈爱华，
申请(专利权)人：无锡华瑛微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：