位移装置、镜头组件及检测设备制造方法及图纸

本申请公开了一种位移装置、镜头组件及检测设备，所述位移装置通过所述第一推杆推动所述内框框架，能够带动所述内框框架沿着所述第一导向框的内侧壁的延伸方向进行移动，从而通过所述第一导向框限制所述内框框架的移动方向，并且在所述内框框架移动过程中，所述第一挠性组件以及所述第二挠性组件发生弹性形变，并通过所述第一挠性组件与所述第二挠性组件的弹力作用对所述内框框架进行拉伸或推动，从而保证所述内框框架在移动过程中不发生偏移，提高了所述位移装置的移动精度。提高了所述位移装置的移动精度。提高了所述位移装置的移动精度。

【技术实现步骤摘要】
位移装置、镜头组件及检测设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种位移装置、镜头组件及检测设备。

技术介绍

[0002]现有的位移台通常通过位移台的方式对位移台上方的其他零件进行位移调节，位移台通常包括滑轨与配合部，通过配合部与滑轨相对滑动，带动位移台上进行移动，但是配合部与滑轨之间存在间隙，从而导致位移台无法精准移动，并且可能会导致零件的移动方向发生偏差。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的至少部分问题，本专利技术实施例公开了一种位移装置、镜头组件及检测设备。
[0004]一方面，本专利技术实施例提供的一种位移装置，所述位移装置包括第一推杆、外框框架、第一挠性组件、第二挠性组件、第一导向框以及内框框架，所述第一挠性组件、所述第二挠性组件、所述第一导向框以及所述内框框架均收容于所述外框框架；
[0005]所述第一挠性组件的两端分别与所述外框框架以及所述第一导向框连接；
[0006]所述第二挠性组件的两端分别与所述第一导向框以及所述内框框架连接；
[0007]所述第一导向框本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种位移装置，其特征在于，所述位移装置包括第一推杆、外框框架、第一挠性组件、第二挠性组件、第一导向框以及内框框架，所述第一挠性组件、所述第二挠性组件、所述第一导向框以及所述内框框架均收容于所述外框框架；所述第一挠性组件的两端分别与所述外框框架以及所述第一导向框连接；所述第二挠性组件的两端分别与所述第一导向框以及所述内框框架连接；所述第一导向框收容于所述外框框架内，所述第一挠性组件以及所述第二挠性组件设于相对设置的所述第一导向框之间；所述内框框架收容于所述第一导向框内，所述第一导向框用于限制所述内框框架的移动方向；所述第一推杆的一端与所述内框框架抵接，所述第一推杆的推动方向与所述第一导向框的延伸方向相同。2.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，所述第一挠性组件包括四个第一子挠性结构，两个所述第一子挠性结构设于所述外框框架内靠近所述第一推杆的一侧，另两个所述第一子挠性结构设于所述外框框架内远离所述第一推杆的一侧，四个第一子挠性结构沿所述第一推杆的推动方向两两相对设置，所述外框框架通过所述第一子挠性结构与第一导向框连接。3.根据权利要求2所述的位移装置，其特征在于，所述第二挠性组件包括四个第二子挠性结构，两个所述第二子挠性结构设所述第一子挠性结构远离所述第一推杆的一侧，另两个所述第二子挠性结构设于所述第一子挠性结构靠近所述第一推杆的一侧，四个第二子挠性结构沿所述第一推杆的推动方向两两相对设置。4.根据权利要求3所述的位移装置，其特征在于，所述第一子挠性结构包括第一连接部与第一加强部，所述第一加强部的两端分别与所述第一连接部连接，所述第一加强部的宽度大于所述第一连接部的宽度；及所述第二子挠性结构包括第二连接部与第二加强部，所述第二加强部的两端分别与所述第二连接部连接，所述第二加强部的宽度大于所述第二连接部的宽度。5.根据权利要求1所述的位移装置，其特征在于，所述位移装置还包括第一弹性装置，所述第一弹性装置设于所述外框框架与所述内框框架之间，且设于所述内框框架远离所述第一推杆的一侧。6.根据权利要求1
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5任一项所述的位移装置，其特征在于，所述位移装置还包括第二推杆、第三挠性组件、第四挠性组件、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，曾呈，黄有为，刘伟龙，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：