超精密运动台的片爪制造技术

本发明专利技术涉及一种半导体装置，特别是涉及一种超精密运动台的片爪。本发明专利技术的目的是提供一种能够提高移动晶片的运动精度的超精密运动台的片爪，具体包括底板、第一组件、第一屏蔽板、第二组件及至少三个PIN组件，各所述PIN组件间隔设置，各所述PIN组件均包括PIN底座及PIN杆，所述PIN杆连接于所述PIN底座上，所述PIN底座连接于所述第二组件上，所述第二组件连接于所述底板上，所述第二组件通过所述PIN底座带动所述PIN杆移动，所述第一组件设置于所述PIN底座上，所述第一屏蔽板设置于所述底板与所述第一组件之间。板与所述第一组件之间。板与所述第一组件之间。

【技术实现步骤摘要】
超精密运动台的片爪


[0001]本专利技术涉及一种半导体装置，特别是涉及一种超精密运动台的片爪。

技术介绍

[0002]对于运动台的片爪，通常需要满足的基本功能是物料的抓取和放置，而超精密运动台的片爪则需要在满足基本功能的同时，做到高精度的运动定位和超高的信息准确性和结构可靠性。因此在超精密运动台的片爪结构中需要保证电子元件准确运行和防止结构变化的设计。在现有的工件台产品中，片爪安装在粗动模块基板上，通过机械接口与粗动模块和微动模块定子连接，承担工件台的硅片传输功能，硅片上片时，片爪从叉片机械手接收硅片，并传输至吸盘；硅片下片时，片爪将硅片从吸盘举升传输至叉片机械手。
[0003]现有的片爪结构，由于结构所限，定位精度不准，移动晶片的误差较大。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是提供一种超精密运动台的片爪，提高移动晶片的运动精度。
[0005]为了解决上述技术问题，本申请提供了如下技术方案：
[0006]本专利技术超精密运动台的片爪，包括底板、第一组件、第一屏蔽板、第二组件及至少三个PIN组件，各所述PIN组件间隔设置，各所述PIN组件均包括PIN底座及PIN杆，所述PIN杆连接于所述PIN底座上，所述PIN底座连接于所述第二组件上，所述第二组件连接于所述底板上，所述第二组件通过所述PIN底座带动所述PIN杆上下移动，所述第一组件包括电子器件，所述第一组件用于限制所述第二组件的上下位置，所述第一组件设置于所述PIN底座上，所述第一屏蔽板设置于所述底板与所述第一组件之间。
[0007]本专利技术超精密运动台的片爪，其中，所述第一屏蔽板为磁屏蔽板，所述第一屏蔽板连接于所述底板的上表面。
[0008]本专利技术超精密运动台的片爪，其中，所述第一屏蔽板由经防锈处理的硅钢材料制成。
[0009]本专利技术超精密运动台的片爪，其中，所述第一屏蔽板为梯形。
[0010]本专利技术超精密运动台的片爪，其中，还包括测量组件，所述测量组件包括光栅尺及光栅尺安装板，所述光栅尺安装板的安装平面上开设有凹槽，所述凹槽的形状、尺寸均与所述光栅尺的形状、尺寸相适应，所述光栅尺设置于所述凹槽内，所述光栅尺与所述光栅尺安装板之间相互粘接，所述光栅尺安装板连接于所述底板上。
[0011]本专利技术超精密运动台的片爪，其中，所述凹槽靠近所述光栅尺安装板的两个相邻边设置，在所述凹槽与所述光栅尺安装板的安装平面之间形成右定位台及下定位台。
[0012]本专利技术超精密运动台的片爪，其中，所述第二组件包括电机动子组件、骨架，所述PIN组件还包括上连接片、下连接片，所述电机动子组件适于上下运动，所述骨架为环状体，所述骨架与所述电机动子组件相连接并与所述电机动子组件同步，所述骨架适于相对于所
述底板无接触上下移动，所述上连接片、所述下连接片的一端均与所述PIN底座相连接，所述上连接片、所述下连接片的另一端均与所述骨架相连接。
[0013]本专利技术超精密运动台的片爪，其中所述上连接片、所述下连接片均由弹性材料制成。
[0014]本专利技术超精密运动台的片爪，其中所述第二组件还包括上压板、下压板，所述上压板、所述下压板均为环状体，所述上压板、所述下压板均与所述骨架相连接，所述上压板位于所述骨架上方，所述下压板位于所述骨架下方，所述上连接片与所述骨架相连接的一端夹持于所述上压板与所述骨架之间，所述下连接片与所述骨架相连接的一端夹持于所述下压板与所述骨架之间。
[0015]本专利技术超精密运动台的片爪，其中，各所述PIN杆均为中空杆，所述中空杆的中空腔连接抽真空装置。
[0016]与现有技术相比，本专利技术超精密运动台的片爪至少具有以下有益效果：
[0017]本专利技术超精密运动台的片爪由于在底板与第一组件之间设置有第一屏蔽板，第一屏蔽板屏蔽了来自底板下方的磁场，使第一组件内的传感器及其他电子元件不受下方磁场的干扰，传递的信号更精确，提高本专利技术超精密运动台的片爪移动晶片的运动精度。
[0018]下面结合附图对本专利技术超精密运动台的片爪作进一步说明。
附图说明
[0019]图1为本专利技术超精密运动台的片爪的立体结构示意图；
[0020]图2为本专利技术超精密运动台的片爪中第一屏蔽板的安装结构示意图；
[0021]图3为本专利技术超精密运动台的片爪中第一屏蔽板的结构示意图；
[0022]图4为本专利技术超精密运动台的片爪中光栅尺的安装结构示意图；
[0023]图5为本专利技术超精密运动台的片爪中光栅尺安装板的立体结构示意图；
[0024]图6为本专利技术超精密运动台的片爪中光栅尺的粘接结构示意图。
具体实施方式
[0025]如图1、图2、图3所示，本专利技术一种超精密运动台的片爪，包括底板1、第一组件5、第一屏蔽板14、第二组件及三个PIN组件(真空吸附组件)，各PIN组件间隔设置，各PIN组件均包括PIN底座(真空吸附底座)13及PIN杆(真空吸附杆)10，PIN杆10连接于PIN底座13上，PIN底座13连接于第二组件上，第二组件连接于底板1上，第二组件由微动台上的电机定子磁钢组件通过电磁作用力驱动沿Z向移动，第二组件通过PIN底座13带动PIN杆10沿Z向移动，第一组件5设置于任意一个PIN底座13上，第一组件5包括接近开关传感器、接近开关安装座和到位开关检测挡块，到位开关检测挡块与第二组件相连接，并与第二组件同步移动，当第二组件到达一定高度，完成对接近开关传感器的触发，给上位机传输第二组件到达上下限位的到位信号，使第二组件停止动作，第一屏蔽板14设置于底板1与第一组件5之间，底板1上还设置有导向气浮组件7、防转气浮组件8，气浮组件的动子和定子之间通过气膜分开，相互无机械接触，摩擦力可以忽略不计。底板1是2个气浮组件的CDA接口及其气道载体，PIN组件还可设置三个以上。晶片吸附在各PIN杆10上，微动台上的电机带动第二组件移动，第二组件通过PIN底座13带动PIN杆10移动，达到移动晶片的目的。由于在底板1与第一组件5之间
设置有第一屏蔽板14，第一屏蔽板14屏蔽了来自底板1下方的磁场，使第一组件5内的传感器及其他电子元件不受下方磁场的干扰，传递的信号更精确，提高本专利技术超精密运动台的片爪移动晶片的运动精度。
[0026]可选地，第一屏蔽板14连接于底板1的上表面，具体地，第一屏蔽板14为磁屏蔽板，第一屏蔽板14通过多个螺钉连接于底板1上。
[0027]可选地，第一屏蔽板14由经过防锈处理的硅钢材料制成，硅钢具有较强的磁性，利用自身受磁场吸引的特性吸收了磁场的磁感线，使上方的传感器和电子器件不受磁场干扰，更好地屏蔽来自于底板1下方的磁场，提高本专利技术精密运动台的片爪的运动精度。具体地，硅钢材料采用镀镍的方式进行防锈处理，由于硅钢易生锈，经防锈处理后延长使用寿命且保证片爪的洁净性。
[0028]可选地，第一屏蔽板14为梯形，与底板1的结构相配合，更便于安装于底板1上。
[0029]可选地，如图1、图4、图5、图6所示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超精密运动台的片爪，其特征在于，包括底板(1)、第一组件(5)、第一屏蔽板(14)、第二组件及至少三个PIN组件，所述PIN组件间隔设置，所述PIN组件均包括PIN底座(13)及PIN杆(10)，所述PIN杆(10)连接于所述PIN底座(13)上，所述PIN底座(13)连接于所述第二组件上，所述第二组件连接于所述底板(1)上，所述第二组件通过所述PIN底座(13)带动所述PIN杆(10)上下移动，所述第一组件(5)设置于所述PIN底座(13)上，所述第一组件(5)包括电子器件，所述第一组件(5)用于限制所述第二组件的上下位置，所述第一屏蔽板(14)设置于所述底板(1)与所述第一组件(5)之间。2.根据权利要求1所述的超精密运动台的片爪，其特征在于，所述第一屏蔽板(14)为磁屏蔽板，所述第一屏蔽板(14)连接于所述底板(1)的上表面。3.根据权利要求2所述的超精密运动台的片爪，其特征在于，所述第一屏蔽板(14)由经防锈处理的硅钢材料制成。4.根据权利要求3所述的超精密运动台的片爪，其特征在于，所述第一屏蔽板(14)为梯形。5.根据权利要求4所述的超精密运动台的片爪，其特征在于，还包括测量组件(12)，所述测量组件(12)包括光栅尺(121)及光栅尺安装板(122)，所述光栅尺安装板(122)的安装平面上开设有凹槽(123)，所述凹槽(123)的形状、尺寸均与所述光栅尺(121)的形状、尺寸相适应，所述光栅尺(121)设置于所述凹槽(123)内，所述光栅尺(121)与所述光栅尺安装板(122)之间相互粘接，所述光栅尺安装板(122)连接于所述底板(1)上。6.根据权利要求5所述的超精密运动...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨利川，胡海，黄承锦，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：