【技术实现步骤摘要】
伯努利吸盘
[0001]本专利技术涉及一种伯努利吸盘,特别涉及一种改进的伯努利吸盘,属于伯努利吸盘领域。
技术介绍
[0002]伯努利吸盘是一种利用压缩空气通过小径(小孔)产生高速射流,高速射流带走周围气体,从而产生负压来吸取物品的吸盘。因为其特殊的原理和稳定的性能,使得其在光伏硅片制造领域得以广泛应用。随着光伏硅片制造领域的不断发展,硅片的大小也在不断增大。
[0003]因为现有伯努利吸盘构造的限制,导致中心芯体的体积不可过大。若无视芯体的体积,盲目增加吸盘本体的最大外径,会导致吸盘偏外侧的部分气体流速降低,流速过低的区域无法产生足够的负压。而当吸盘中心区域和外围区域的负压值偏差过大时,会导致硅片振动,硅片外侧下垂,甚至导致硅片破碎。因为以上原因,导致现有伯努利吸盘本体的最大外径被限制,也就限制了吸盘能够吸附的硅片最大外径的大小。
技术实现思路
[0004]本专利技术伯努利吸盘公开了新的方案,采用在吸盘体的边沿周向上增设辅助的伯努利吸盘来提高吸盘体外围负压的伯努利吸盘方案,解决了现有同类产品吸盘体最 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.伯努利吸盘,其特征是包括吸盘体,所述吸盘体的中部设有主吸盘,所述吸盘体的边沿上沿周向设有若干辅吸盘,所述主吸盘包括主吸盘腔体,所述主吸盘腔体内设有主吸盘芯,所述主吸盘芯与所述主吸盘腔体间设有主腔内气流通道,所述主腔内气流通道通过主进气管与外部高压气源连通,高压气流通过所述主腔内气流通道形成主高速气流,所述主高速气流从所述吸盘体的吸附面的中部外环排出,排出的所述主高速气流在所述吸盘体的吸附面的中部形成主负压吸附区,所述辅吸盘包括辅吸盘腔体,所述辅吸盘腔体内设有辅腔内气流通道,所述辅腔内气流通道与外部高压气源连通,高压气流通过所述辅腔内气流通道形成辅高速气流,所述辅高速气流从所述吸盘体的吸附面的边沿外环排出,排出的所述辅高速气流在所述吸盘体的吸附面的边沿形成辅负压吸附区,所述主负压吸附区、辅负压吸附区内的负压吸起工件。2.根据权利要求1所述的伯努利吸盘,其特征在于,所述辅吸盘腔体的顶部进气端设有与外部高压气源连通的进气沉孔,所述进气沉孔的底部与若干横向牙孔连通,所述横向牙孔与所述吸盘体的边沿相对的一端设有密封止付螺丝,所述横向牙孔的另一端与喷气孔连通,所述喷气孔的出口朝向所述辅吸盘腔体的底部出气端上的出气凹槽内的导气斜面,高压气流通过所述进气沉孔、横向牙孔、喷气孔形成辅高...
【专利技术属性】
技术研发人员:华俊义,
申请(专利权)人:昆山迈瑞凯精密工业有限公司,
类型:发明
国别省市:
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