本发明专利技术涉及一种伯努利吸盘包括吸盘体，吸盘体的中部设有主吸盘，边沿上设有若干辅吸盘，主吸盘的主吸盘腔体内设有主吸盘芯，主吸盘芯与主吸盘腔体间的主腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过主腔内气流通道形成的主高速气流从吸盘体的吸附面的中部外环排出，在吸盘体的吸附面的中部形成主负压吸附区，辅吸盘的辅吸盘腔体内设有辅腔内气流通道，辅腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过辅腔内气流通道形成的辅高速气流从吸盘体的吸附面的边沿外环排出，在吸盘体的吸附面的边沿形成辅负压吸附区。本发明专利技术采用在吸盘体的边沿周向上增设辅助的伯努利吸盘来提高吸盘体外围负压的伯努利吸盘方案，具有适用于更大外径的硅片的特点。于更大外径的硅片的特点。于更大外径的硅片的特点。
【技术实现步骤摘要】
伯努利吸盘
[0001]本专利技术涉及一种伯努利吸盘，特别涉及一种改进的伯努利吸盘，属于伯努利吸盘领域。
技术介绍
[0002]伯努利吸盘是一种利用压缩空气通过小径(小孔)产生高速射流，高速射流带走周围气体，从而产生负压来吸取物品的吸盘。因为其特殊的原理和稳定的性能，使得其在光伏硅片制造领域得以广泛应用。随着光伏硅片制造领域的不断发展，硅片的大小也在不断增大。
[0003]因为现有伯努利吸盘构造的限制，导致中心芯体的体积不可过大。若无视芯体的体积，盲目增加吸盘本体的最大外径，会导致吸盘偏外侧的部分气体流速降低，流速过低的区域无法产生足够的负压。而当吸盘中心区域和外围区域的负压值偏差过大时，会导致硅片振动，硅片外侧下垂，甚至导致硅片破碎。因为以上原因，导致现有伯努利吸盘本体的最大外径被限制，也就限制了吸盘能够吸附的硅片最大外径的大小。
技术实现思路
[0004]本专利技术伯努利吸盘公开了新的方案，采用在吸盘体的边沿周向上增设辅助的伯努利吸盘来提高吸盘体外围负压的伯努利吸盘方案，解决了现有同类产品吸盘体最大外径被限制，无法适用于具有更大外径的硅片的问题。
[0005]本专利技术伯努利吸盘包括吸盘体，吸盘体的中部设有主吸盘，吸盘体的边沿上沿周向设有若干辅吸盘，主吸盘包括主吸盘腔体，主吸盘腔体内设有主吸盘芯，主吸盘芯与主吸盘腔体间设有主腔内气流通道，主腔内气流通道通过主进气管与外部高压气源连通，高压气流通过主腔内气流通道形成主高速气流，主高速气流从吸盘体的吸附面的中部外环排出，排出的主高速气流在吸盘体的吸附面的中部形成主负压吸附区，辅吸盘包括辅吸盘腔体，辅吸盘腔体内设有辅腔内气流通道，辅腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过辅腔内气流通道形成辅高速气流，辅高速气流从吸盘体的吸附面的边沿外环排出，排出的辅高速气流在吸盘体的吸附面的边沿形成辅负压吸附区，主负压吸附区、辅负压吸附区内的负压吸起工件。
[0006]进一步，本方案的辅吸盘腔体的顶部进气端设有与外部高压气源连通的进气沉孔，进气沉孔的底部与若干横向牙孔连通，横向牙孔与吸盘体的边沿相对的一端设有密封止付螺丝，横向牙孔的另一端与喷气孔连通，喷气孔的出口朝向辅吸盘腔体的底部出气端上的出气凹槽内的导气斜面，高压气流通过进气沉孔、横向牙孔、喷气孔形成辅高速气流，辅高速气流经导气斜面从吸盘体的吸附面的边沿外环排出。
[0007]更进一步，本方案的辅吸盘腔体的底部与吸盘体的边沿相对的一端上设有连接檐板，连接檐板上设有安装沉头孔，安装沉头孔内设有安装连接件，辅吸盘腔体通过安装连接件安装在吸盘体的边沿上。
[0008]更进一步，本方案的进气沉孔的孔径大于横向牙孔的孔径，横向牙孔的孔径大于喷气孔的孔径。
[0009]再进一步，本方案的进气沉孔的孔径是5mm，横向牙孔的孔径是2.5mm，喷气孔的孔径是1mm。
[0010]进一步，本方案的主吸盘腔体上设有若干破真空孔，破真空孔与破真空管连通。
[0011]进一步，本方案的主负压吸附区、辅负压吸附区内设有吸盘缓冲垫，吸起的工件与吸盘缓冲垫接触缓冲。
[0012]进一步，本方案的吸盘体是圆盘状结构，吸盘体的边沿上沿周向等距设有四个辅吸盘。
[0013]更进一步，本方案的吸盘体的外径是150mm、160mm、170mm、180mm、190mm、200mm中的一个数值。
[0014]本专利技术伯努利吸盘采用在吸盘体的边沿周向上增设辅助的伯努利吸盘来提高吸盘体外围负压的伯努利吸盘方案，具有适用于更大外径的硅片的特点。
附图说明
[0015]图1是伯努利吸盘的顶部视角示意图。
[0016]图2是伯努利吸盘的底部视角示意图。
[0017]图3是伯努利吸盘的顶部平面示意图。
[0018]图4是图3中A
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A截面的剖视示意图。
[0019]图5是图3中B
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B截面的剖视示意图。
[0020]图6是图5中C部的局部放大示意图。
[0021]图7是辅吸盘腔体的示意图。
[0022]图8是辅吸盘腔体的内部示意图。
[0023]其中，100是吸盘体，200是主吸盘，210是主吸盘腔体，220是主吸盘芯，230是主腔内气流通道，240是主进气管，250是破真空管，300是辅吸盘，400是辅吸盘腔体，401是辅腔内气流通道，410是进气沉孔，420是横向牙孔，421是密封止付螺丝，430是喷气孔，440是出气凹槽，441是导气斜面，450是连接檐板，451是安装沉头孔，500是吸盘缓冲垫，600是工件。
具体实施方式
[0024]如图1～6所示，本专利技术伯努利吸盘包括吸盘体，吸盘体的中部设有主吸盘，吸盘体的边沿上沿周向设有若干辅吸盘，主吸盘包括主吸盘腔体，主吸盘腔体内设有主吸盘芯，主吸盘芯与主吸盘腔体间设有主腔内气流通道，主腔内气流通道通过主进气管与外部高压气源连通，高压气流通过主腔内气流通道形成主高速气流，主高速气流从吸盘体的吸附面的中部外环排出，排出的主高速气流在吸盘体的吸附面的中部形成主负压吸附区，辅吸盘包括辅吸盘腔体，辅吸盘腔体内设有辅腔内气流通道，辅腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过辅腔内气流通道形成辅高速气流，辅高速气流从吸盘体的吸附面的边沿外环排出，排出的辅高速气流在吸盘体的吸附面的边沿形成辅负压吸附区，主负压吸附区、辅负压吸附区内的负压吸起工件。上述方案采用在吸盘体的边沿周向上增设辅助的伯努利吸盘来提高吸盘体外围负压的伯努利吸盘方案，利用吸盘体边沿上的辅吸盘来均衡吸盘体的吸
附面上的负压，使得在吸盘体的外径扩大后仍然具有稳定、均衡的负压吸附能力，能够适用于具有较大径向尺寸的硅片，避免在吸附过程中导致硅片振动、损坏，显著提高了伯努利吸盘的适用性。
[0025]为了实现辅吸盘的功能，本方案公开了一种利用伯努利吸盘原理的辅吸盘腔体，如图5、6、7、8所示，辅吸盘腔体的顶部进气端设有与外部高压气源连通的进气沉孔，进气沉孔的底部与若干横向牙孔连通，横向牙孔与吸盘体的边沿相对的一端设有密封止付螺丝，横向牙孔的另一端与喷气孔连通，喷气孔的出口朝向辅吸盘腔体的底部出气端上的出气凹槽内的导气斜面，高压气流通过进气沉孔、横向牙孔、喷气孔形成辅高速气流，辅高速气流经导气斜面从吸盘体的吸附面的边沿外环排出。其中，导气斜面起到导向高速气流的作用，高速气流经过导气斜面，能够增加负压区域的垂直高度或宽度，可以使吸盘在距离工件更高或更远的位置上吸附工件。基于以上方案，为了便于安装辅吸盘腔体，如图6所示，本方案的辅吸盘腔体的底部与吸盘体的边沿相对的一端上设有连接檐板，连接檐板上设有安装沉头孔，安装沉头孔内设有安装连接件，辅吸盘腔体通过安装连接件安装在吸盘体的边沿上。
[0026]为了提高气流产生负压的效果，如图6、8所示，本方案的进气沉孔的孔径大于横向牙孔的孔径，横向牙孔的孔径大于喷气孔的孔径。优选本方案的进气沉孔的孔径是5mm，横向牙孔的孔径是2.5mm，喷气孔的孔径本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.伯努利吸盘，其特征是包括吸盘体，所述吸盘体的中部设有主吸盘，所述吸盘体的边沿上沿周向设有若干辅吸盘，所述主吸盘包括主吸盘腔体，所述主吸盘腔体内设有主吸盘芯，所述主吸盘芯与所述主吸盘腔体间设有主腔内气流通道，所述主腔内气流通道通过主进气管与外部高压气源连通，高压气流通过所述主腔内气流通道形成主高速气流，所述主高速气流从所述吸盘体的吸附面的中部外环排出，排出的所述主高速气流在所述吸盘体的吸附面的中部形成主负压吸附区，所述辅吸盘包括辅吸盘腔体，所述辅吸盘腔体内设有辅腔内气流通道，所述辅腔内气流通道与外部高压气源连通，高压气流通过所述辅腔内气流通道形成辅高速气流，所述辅高速气流从所述吸盘体的吸附面的边沿外环排出，排出的所述辅高速气流在所述吸盘体的吸附面的边沿形成辅负压吸附区，所述主负压吸附区、辅负压吸附区内的负压吸起工件。2.根据权利要求1所述的伯努利吸盘，其特征在于，所述辅吸盘腔体的顶部进气端设有与外部高压气源连通的进气沉孔，所述进气沉孔的底部与若干横向牙孔连通，所述横向牙孔与所述吸盘体的边沿相对的一端设有密封止付螺丝，所述横向牙孔的另一端与喷气孔连通，所述喷气孔的出口朝向所述辅吸盘腔体的底部出气端上的出气凹槽内的导气斜面，高压气流通过所述进气沉孔、横向牙孔、喷气孔形成辅高...
【专利技术属性】
技术研发人员：华俊义，
申请(专利权)人：昆山迈瑞凯精密工业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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