一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统技术方案

本发明专利技术介绍了一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，在进气室和吸气室之间安装纳流控固定流导元件，结合微调针阀，提供可控精确的进气流量，在测试过程中维持吸气室压力恒定。使用的纳流控固定流导元件为玻璃

【技术实现步骤摘要】
一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统


[0001]本专利技术适用于测试非蒸散型吸气剂(NEG)对气体的吸气性能，与纳流控固定流导元件结合，改进定压法，属于测量

技术背景
[0002]NEG广泛应用于密闭空间如真空夹层玻璃、真空绝热板等中，以获得和维持其内部真空，测试NEG吸气性能非常有必要。一般采用定容法或者定压法测试NEG吸气性能，定容法可以获得NEG的饱和吸气量、平均吸气速率和吸气等温线等静态吸气性能参数，定压法可以获得瞬时抽速、累积吸气量、最大吸气量和扩散活化能等吸气性能参数。
[0003]NEG吸气性能与吸气压力有关，压力越高吸气性能越好，因此进行吸气测试时需要维持吸气室压力恒定，更适合采用定压法测试NEG吸气性能。目前很难做到在NEG吸气测试过程中，长时间维持吸气室压力恒定，因此研究和改进定压法非常有必要。
[0004]本专利技术介绍了一种基于固定流导元件的改进定压法测试NEG吸气性能的新系统，在实验中通过纳流控固定流导元件和微调针阀控制进气，提供可控精确的进气流量，吸气测试中慢慢调节针阀开度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，其特征在于：包括储气瓶(1)、第一微调针阀(2)、进气室(3)、薄膜规(4)、第二微调针阀(5)、纳流控固定流导元件(6)、第一真空阀门(7)、吸气室(8)、第一全量程真空计(9)、第二真空阀门(10)、第三真空阀门(11)、样品室(12)、分析室(13)、四极质谱分析仪(14)、第二全量程真空计(15)、真空泵组(16)，所述分析室有五个接口，分别连接第二微调针阀(5)、第二真空阀门(10)、四极质谱分析仪(14)、第二全量程真空计(15)和真空泵组(16)，第二真空阀门(10)的另一端连接吸气室(8)，第二微调针阀(5)的另一端连接进气室(3)，进气室(3)、吸气室(8)两腔室之间通过纳流控固定流导元件(6)和第一真空阀门(7)连接，吸气室(8)另外两个接口分别连接第一全量程真空计(9)和第三真空阀门(11)，第三真空阀门(11)另一端连接样品室(12)，进气室(3)另外两个接口分别连接第一微调针阀(2)和薄膜规(4)，第一微调针阀(2)另一端连接储气瓶(1)。2.根据权利要求1所述的一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，其特征在于：所述的纳流控固定流导元件(6)为自行制作的分子流漏孔，可以采用流导在10
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12
m3/s量级的玻璃
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硅分子流漏孔或石墨烯分子流漏孔等纳流控固定流导元件，从真空到大气压条件下提供恒定流导。3.根据权利要求1所述的一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，其特征在于：通过纳流控固定流导元件(6)结合第一微调针阀(2)和第二微调针阀(5)提供可控精确的进气流量，维持吸气室(8)压力恒定。4.根据权利要求1所述的一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，其特征在于：所述的纳流控固定流导元件(6)和薄膜规(4)、第一全量程真空计(9)控制进入吸气室(8)的气体流量。5.根据权利要求1所述的一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，其特征在于：所述的在样品室(12)中的NEG加热激活后，吸收充入吸气室(8)内的实验气体，引起吸气室(8)和进气室(3)内压力变化，加热激活装置是套在样品室(12)外面的电阻加热装置。6.根据权利要求1所述的一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统，其特征在于：系统本底漏率低于10
‑9Pa
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m3/s，本底放气率10
‑9Pa
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【专利技术属性】
技术研发人员：王旭迪，党伟，林文豫，毕海林，曹青，吴俊，张俊，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：