本发明专利技术公开了一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统，包括：采样皿，用于在线获取抛光液；升降机构，与采样皿相连，用于驱动采样皿升降；升降机构用于设置在抛光液容器内，以使采样皿能够浸入抛光液容器的液面下方；力传感器，连接于采样皿和升降机构之间；控制器，分别与升降机构和力传感器相连，控制器预先存储有采样皿的体积和水的密度，用于当升降机构将采样皿抬升至液面上方时，根据力传感器的检测信号、采样皿的体积和水的密度，计算得到抛光液的浓度。可实现抛光液浓度的在线测量，有利于对抛光工艺全过程进行抛光液浓度的实时在线监测，从而提高抛光质量与效率。从而提高抛光质量与效率。从而提高抛光质量与效率。
【技术实现步骤摘要】
一种抛光液浓度在线测量装置及抛光液供液系统
[0001]本专利技术涉及抛光液浓度检测
，更具体地说，涉及一种抛光液浓度在线测量装置。此外，本专利技术还涉及一种包括上述抛光液浓度在线测量装置的抛光液供液系统。
技术介绍
[0002]在惯性约束聚变研究领域，大型高功率激光装置具有重要应用，高功率激光装置在大口径光学元件数量、质量方面提出了接近制造极限水平的要求。
[0003]抛光液作为光学元件超精密抛光系统不可或缺的重要材料之一，它的参数直接影响光学元件的表面质量和加工效率，例如，抛光液的浓度参数与去除效率、表面划痕等密切相关，因此，对抛光液的浓度测量至关重要。
[0004]现有技术中，采用离线式测量方式，也即，人工定时取样后，对取样抛光液进行蒸发，然后，对蒸发后的固体颗粒进行称重，称重后计算获得抛光液浓度。
[0005]然而，这种离线式测量方式需要人工深度介入，人工提取抛光液并进行线下处理，操作繁琐，及时性差，给抛光液浓度的测量带来诸多不便。
[0006]综上所述，如何提供一种抛光液浓度在线测量装置，以实现对抛光液浓度的在线测量，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0007]有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种抛光液浓度在线测量装置，可实现对抛光液浓度的在线测量。
[0008]本专利技术的另一目的是提供一种包括上述抛光液浓度在线测量装置的抛光液供液系统，可实现对抛光液浓度的实时在线监测。
[0009]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0010]一种抛光液浓度在线测量装置，包括：
[0011]采样皿，用于在线获取抛光液；
[0012]升降机构，与所述采样皿相连，用于驱动所述采样皿升降；所述升降机构用于设置在抛光液容器内，以使所述采样皿能够浸入所述抛光液容器的液面下方；
[0013]力传感器，连接于所述采样皿和所述升降机构之间；
[0014]控制器，分别与所述升降机构和所述力传感器相连，所述控制器预先存储有所述采样皿的体积和水的密度，用于当所述升降机构将所述采样皿抬升至液面上方时，根据所述力传感器的检测信号、所述采样皿的体积和水的密度，计算得到抛光液的浓度。
[0015]可选地，还包括：
[0016]温度传感器，设于所述采样皿的内部，用于检测所述采样皿获取的抛光液的温度，所述温度传感器与所述控制器相连；
[0017]所述控制器还预先存储有温度与水的密度之间的对应关系，所述控制器还用于根据所述温度传感器检测的温度值和所述对应关系，得到与所述温度值对应的水的密度。
[0018]可选地，所述升降机构包括：
[0019]丝杠轴，通过所述力传感器与所述采样皿相连；
[0020]丝母齿轮，与所述丝杠轴螺纹连接；
[0021]主动齿轮，与所述丝母齿轮啮合传动；
[0022]旋转驱动机构，分别与所述主动齿轮和所述控制器相连，用于驱动所述主动齿轮转动；
[0023]止转器，沿所述丝杠轴的升降方向与所述丝杠轴可相对滑动，沿所述丝杠轴的周向对所述丝杠轴进行限位。
[0024]可选地，还包括基座，所述丝母齿轮、所述旋转驱动机构和所述止转器均安装于所述基座，所述基座用于安装于所述抛光液容器内。
[0025]可选地，所述止转器和所述丝杠轴中的一者设有长槽，另一者设有伸入所述长槽内的凸起部。
[0026]可选地，所述丝杠轴通过滑动轴承与所述基座相连。
[0027]可选地，所述基座与所述采样皿之间连接有伸缩密封管，所述力传感器和所述丝杠轴分别位于所述伸缩密封管内，所述伸缩密封管的伸缩方向为所述采样皿的升降方向。
[0028]可选地，所述丝母齿轮的两端分别通过支撑轴承与所述基座相连。
[0029]可选地，所述基座包括：
[0030]座体，其顶部敞口，所述丝母齿轮、所述主动齿轮、所述旋转驱动机构和所述止转器均设于所述座体内部；
[0031]端盖，盖设于所述座体的顶部。
[0032]一种抛光液供液系统，包括抛光液容器，还包括上述任意一种抛光液浓度在线测量装置，所述抛光液浓度在线测量装置的升降机构设于所述抛光液容器内，以使所述抛光液浓度在线测量装置的采样皿浸入所述抛光液容器的液面下方。
[0033]本专利技术提供的抛光液浓度在线测量装置，使用时，该抛光液浓度在线测量装置安装于抛光液容器内，当需要测量抛光液浓度时，控制器控制升降机构动作，使升降机构驱动采样皿向上移动，从而使采样皿浮出液面，位于液面上方，此时，采样皿中盛满了抛光液，力传感器测量采样皿中盛满的抛光液的重量，并将该重量传送给控制器，控制器根据该重量、采样皿的体积和水的密度，可计算得到抛光液的浓度，实现抛光液浓度的在线测量。当一次采集完成，控制器控制升降机构动作，带动采样皿浸入抛光液容器的液面下方，并在液面以下使采样皿作快速的上下移动，从而将采样皿中原有的液体与抛光液容器中的其它液体充分混合，为下一次在线采样作准备。
[0034]可见，该抛光液浓度在线测量装置可直接应用到抛光液供液系统中，对抛光工艺全过程进行抛光液浓度的实时在线监测，从而提高抛光质量与效率。
[0035]本专利技术提供的抛光液供液系统，包括上述抛光液浓度在线测量装置，具有上述有益效果。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本
专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其它的附图。
[0037]图1为本专利技术具体实施例所提供的抛光液浓度在线测量装置的结构示意图。
[0038]图1中的附图标记如下：
[0039]1为采样皿、2为力传感器、3为温度传感器、41为丝杠轴、42为丝母齿轮、43为主动齿轮、44为旋转驱动机构、45为止转器、46为基座、461为座体、462为端盖、47为滑动轴承、48为伸缩密封管、49为支撑轴承。
具体实施方式
[0040]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0041]本专利技术的核心是提供一种抛光液浓度在线测量装置，可实现对抛光液浓度的在线测量。本专利技术的另一核心是提供一种包括上述抛光液浓度在线测量装置的抛光液供液系统，可实现对抛光液浓度的实时在线监测。
[0042]请参考图1，为本专利技术具体实施例所提供的抛光液浓度在线测量装置的结构示意图。
[0043]本专利技术实施例提供一种抛光液浓度在线测量装置，包括采样皿1、升降机构、力传感器2和控制器；采样皿1用于在线获取抛光液；升降机构与采样皿1相本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，包括：采样皿(1)，用于在线获取抛光液；升降机构，与所述采样皿(1)相连，用于驱动所述采样皿(1)升降；所述升降机构用于设置在抛光液容器内，以使所述采样皿(1)能够浸入所述抛光液容器的液面下方；力传感器(2)，连接于所述采样皿(1)和所述升降机构之间；控制器，分别与所述升降机构和所述力传感器(2)相连，所述控制器预先存储有所述采样皿(1)的体积和水的密度，用于当所述升降机构将所述采样皿(1)抬升至液面上方时，根据所述力传感器(2)的检测信号、所述采样皿(1)的体积和水的密度，计算得到抛光液的浓度。2.根据权利要求1所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，还包括：温度传感器(3)，设于所述采样皿(1)的内部，用于检测所述采样皿(1)获取的抛光液的温度，所述温度传感器(3)与所述控制器相连；所述控制器还预先存储有温度与水的密度之间的对应关系，所述控制器还用于根据所述温度传感器(3)检测的温度值和所述对应关系，得到与所述温度值对应的水的密度。3.根据权利要求1或2所述的抛光液浓度在线测量装置，其特征在于，所述升降机构包括：丝杠轴(41)，通过所述力传感器(2)与所述采样皿(1)相连；丝母齿轮(42)，与所述丝杠轴(41)螺纹连接；主动齿轮(43)，与所述丝母齿轮(42)啮合传动；旋转驱动机构(44)，分别与所述主动齿轮(43)和所述控制器相连，用于驱动所述主动齿轮(43)转动；止转器(45)，沿所述丝杠轴(41)的升降方向与所述丝杠轴(41)可相对滑动，沿所述丝杠轴(41)的周向对所述丝杠轴(41)进行限位。4.根据权利要求3所述的抛光液浓度在线测量...
【专利技术属性】
技术研发人员：周佩璠，刘义彬，张宁，高胥华，陈伦强，张曼，胡庆，戴红玲，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：
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