应用一种通用微镜面的微型光调频元件及其制造方法技术

一种应用一种通用微镜面的微型光调频元件及其制造方法，其特征是利用微镜面结构，结合晶片黏合技术制作光调频元件，包括第一基板的第一镜面，第二基板的第二镜面，并设第一、二空气间隙；其调频滤波器第一基板同于第二基板，第一空气间隙同于第二空气间隙，第二空气间隙为ＦＰ共振腔；其调频面射型半导体激光器及调频光接收器第一基板是通过金属扩散接合于第二基板，第一空气间隙为一部分或完整的ＦＰ共振腔；由电场以平移第二镜面改变ＦＰ共振腔的长度，达不同光频率输出；本发明专利技术提供一集成化的压控电容以感测ＦＰ共振腔的长度变化，以控制选择不同光频率输出；同时提供一精密的光纤耦合机构，达到制造、监控与组装一体成型的设计与制造，而具实用性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种应用一种通用微镜面的微型光调频元件，主要包括一微镜面结构，其特征是：该微镜面结构包括：一硅基板，具备第一面及第二面；一第一固定电极，形成于硅基板的第一面；一第二固定电极，形成于硅基板的第一面；一介电层，形成于硅基板的第一 面、第一固定电极与第二固定电极上；至少一分隔块，形成于该介电层上；一薄板结构，形成于第一固定电极、第二固定电极及介电层上方，该薄板结构与该介电层间隔一空气间隙，该空气间隙的起始长度是等于该至少一分隔块的厚度；至少一细长支脚，该至 少一细长支脚具备一第一端点及一第二端点，该第一端点是连接于该薄板结构；至少一固定平板，是连接于该至少一细长支脚的第二端点，该至少一固定平板是形成于该至少一分隔块上；至少一焊垫金属，形成于该至少一固定平板上；一微镜面，形成于该薄板 结构的中央部分；一浮动电极，形成于该薄板结构；一Ｖ－型／Ｕ－型凹槽，该Ｖ－型／Ｕ－型凹槽是形成于硅基板的第二面且蚀穿该硅基板的第一面，该Ｖ－型／Ｕ－型凹槽是对准于微镜面，且位于第一固定电极及第二固定电极间；其中，该第一固定电极与 该浮动电极是作为一对控制电极相互静电吸引，以改变该空气间隙的长度，而该第二固定电极与该浮动电极是作为一平行板感测电容，用以感测该空气间隙的长度变化，该第一固定电极、第二固定电极与该浮动电极间形成一三端点的压控电容。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周正三，
申请(专利权)人：祥群科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]