一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正装置，涉及光学薄膜制备技术领域，包括固定板，所述固定板的表面滑动连接有数个呈线型排列且依次贴合的调节块，还包括用于驱动所述调节块移动的驱动部件，以及嵌设在伞架内的信号接收感应源，所述信号接收感应源的数量与所述调节块的数量相同，各个所述信号接收感应源均通过信号线与外设神经网络处理控制模块相连接。本实用新型专利技术解决了现有技术中在镀膜补正装置调试上不精准和不稳定的问题，实现了实时自反馈调节，并且成本低，提高了生产效率。高了生产效率。高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正装置


[0001]本技术涉及光学薄膜制备
，具体为一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
[0004]蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构
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迷走结构
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层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0005]镀膜基片分布在一个球冠面上，镀膜机的两个蒸发源在大圆面上关于球心对称的两个蒸发点上，而并非在球心上。因此，蒸发源到伞架球冠面上不同高度位置的距离不相等，且满足说明书附图1中点蒸发源的发射特性。通常将能够从各个方向蒸发等量材料的微小球状蒸发源称为点蒸发源（简称点源）。
[0006]参考说明书附图2假设膜材以每秒m克的蒸发速率想各个方向蒸发，在单位时间内凝结到面dS2上的膜厚t，放置于伞架不同位置处的基片，伞架可参考说明书附图3，蒸发镀膜过程中蒸镀沉积的膜层厚度也不同，因此为了消除伞差，提高产品均匀性一致性，需要使用补正装置来对蒸发量进行修饰，在不同区域遮挡掉相应程度的镀膜量，以实现修正伞差，提高产品一致性的功能。
[0007]目前镀膜补正装置的修剪与调试，需要镀膜完成后，通过测试片的光谱信息进行调节，属于滞后调节，而真空镀膜的机台的修正板一般采用固定式和可升降式，继而调整方式是通过修剪和打磨来实现的，从而需要修修正板就要开门把修正板拆下来，需要去测量与计算。有些位置需要补，有些位置需要用剪刀去剪。修完了再装入机器里，从新抽气，需要花两个小时左右的时间才能继续蒸镀，一炉时间需要3个小时，往往需要2
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5炉的时间才能把修正板修正自己想要的结果，其精度与稳定性都较低，并且由于不同产品的生产工艺不尽相同，因而每次切换产品后，都需要重新对镀膜补正装置进行调整，成本高，稳定性差，降低了生产效率。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正装置，解决了现有技术中在镀膜补正装置调试上不精准和不稳定的问题，实现了实时自反馈调节，并且成本低，提高了生产效率。
[0009]为实现上述目的，本技术提供如下一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜
补正装置，包括固定板，所述固定板的表面滑动连接有数个呈线型排列且依次贴合的调节块，还包括用于驱动所述调节块移动的驱动部件，以及嵌设在伞架内的信号接收感应源，所述信号接收感应源的数量与所述调节块的数量相同，各个所述信号接收感应源均通过信号线与外设神经网络处理控制模块相连接。
[0010]可选的，所述固定板的表面开设有凹槽，所述凹槽的槽壁通过螺栓一安装有固定杆一，所述固定杆一的表面通过螺栓二安装有表面带有凸起柱的固定杆二，所述调节块滑动连接在所述固定板和所述固定杆二之间。
[0011]所述调节块的形状为U型。
[0012]可选的，所述调节块的表面设置有凸起部和凹陷部，所述凹陷部与所述凸起部相适配。
[0013]可选的，所述驱动部件包括固定连接在所述固定杆二表面的电机，所述电机的输出轴固定连接有齿轮，所述调节块的表面设置有与所述齿轮相啮合的齿排。
[0014]可选的，所述电机为伺服电机。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0016]一、本技术实现镀膜过程中实时的镀膜补正板调整功能，结合所设计补正装置调节块的伸缩调节，高精度地调节蒸发镀膜沉积量，从而提高产品的一致性与稳定性。同时该结构大大降低了，反复调节镀膜补正装置所造成的成本浪费，提高了生产效率，同时得到了更精准更高效的生产方案。
[0017]二、本技术实现自适应实时调整镀膜补正板，无需开门且不用从新抽气，就是只用一炉的时间就可以修好，以及实时接受数据、实时运算和实时命令移动。
附图说明
[0018]图1为本技术点蒸发源的发射特性示意图；
[0019]图2为本技术运算公式图；
[0020]图3为本技术伞架结构的轴测图；
[0021]图4为本技术结构的第一轴测图；
[0022]图5为本技术调节块结构的轴测图；
[0023]图6为本技术结构的第二轴测图；
[0024]图7为本技术电机和齿轮处结构的第一示意图；
[0025]图8为本技术电机和齿轮处结构的第二示意图。
[0026]图中：1
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固定板、2
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调节块、21
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凸起部、22
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凹陷部、3
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固定杆一、4
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固定杆二、5
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电机、6
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齿轮、7
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齿排、8
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凸起柱。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1至图8，本技术提供一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正
装置，包括固定板1，所述固定板1的表面滑动连接有数个呈线型排列且依次贴合的调节块2，要求精度越高，其调节块2所需要的数量也就越多，还包括用于驱动所述调节块2移动的驱动部件，以及嵌设在伞架内的信号接收感应源，所述信号接收感应源的数量与所述调节块2的数量相同，各个所述信号接收感应源均通过信号线与外设神经网络处理控制模块相连接。
[0029]更为具体的来说，在本实施例中从蒸发源蒸发出来的原子团或离子形式，通过每个嵌设在伞架内的信号接收感应源，来接收蒸镀量，并将接收到的蒸镀量转化为振荡信号，通过信号线在传输至神经网络处理控制模块，该神经网络处理控制模块用于根据每个振荡信号计算该蒸镀量值，从而在配上神经网络的加持，在蒸镀过程中，我们只需要在神经网络里设定好数值，如果接收到的数值或多或少，就会命令修正板上的驱动部件来移动调节块2，而调节块2通过移动位置来修正多的或者少的，整块修正板可以移动成不规则形状，直至所有感应源感测的蒸镀量与相对应的设定值相等。可以实现自适应实时调整镀膜补正板，无需开门且不用从新抽气，就是只用一炉的时间就可以修好本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正装置，其特征在于，包括固定板（1），所述固定板（1）的表面滑动连接有数个呈线型排列且依次贴合的调节块（2），还包括用于驱动所述调节块（2）移动的驱动部件，以及嵌设在伞架内的信号接收感应源，所述信号接收感应源的数量与所述调节块（2）的数量相同，各个所述信号接收感应源均通过信号线与外设神经网络处理控制模块相连接。2.根据权利要求1所述的基于神经网络的自适应实时调整镀膜补正装置，其特征在于：所述固定板（1）的表面开设有凹槽，所述凹槽的槽壁通过螺栓一安装有固定杆一（3），所述固定杆一（3）的表面通过螺栓二安装有表面带有凸起柱（8）的固定杆二（4），所述调节块（2）滑动连接在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宏亮，黄杰，莫义军，
申请(专利权)人：深圳市纳宏光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：