一种用于籽晶表面的刮胶装置制造方法及图纸

技术编号:34622622 阅读:31 留言:0更新日期:2022-08-20 09:30
本实用新型专利技术属于晶体生长技术领域,尤其涉及一种用于籽晶表面的刮胶装置。本实用新型专利技术通过悬挂臂连接的固定板,设置在所述固定板侧面上的支架单元,设置在所述支架单元上并用于刮涂籽晶表面的粘接胶的刮板单元,以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元倾斜角度的旋转块单元。起到了在碳化硅制备过程中调整刮板对粘接胶角度的技术效果。本实用新型专利技术可在刮胶过程进行之前对刮板角度进行调节,同时通过旋转块的调节作用来改变刮板的角度,设置了限位块机构使得刮板的角度一旦调节完成后即实现固定,并且当调整刮板角度时朝方柱方向推动旋转块即可实现对限位块的解锁效果,调整好刮板角度后松开旋转块即可使得刮板重新恢复锁定效果。复锁定效果。复锁定效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于籽晶表面的刮胶装置


[0001]本技术属于晶体生长
,尤其涉及一种用于籽晶表面的刮胶装置。

技术介绍

[0002]晶体生长是物质在特定的物理和化学条件下由气相、液相或固相形成晶体的过程,碳化硅的制备过程中的广泛运用到了物理气相输运法,具体过程为将碳化硅籽晶片粘接在石墨籽晶晶座之上,并进行后续的制备过程,其中碳化硅籽晶与石墨籽晶晶座之间的粘接的均匀性、致密性、牢固程度等对最终制得的碳化硅晶片质量具有重大的影响。
[0003]为了很好地将碳化硅籽晶片粘接在石墨籽晶晶座之上,粘接之前首先将粘接胶涂抹在石墨籽晶晶座端面上,再使用刮板将粘接胶涂覆在整个石墨籽晶晶座上,例如公告号为CN215088531U,公开告为2021.12.10的中国技术专利公开了一种一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶装置,包括机架、转动的设于机架上的且内部设有第一腔体的转轴、连接在转轴顶端的且内部设有与第一腔体连通的第二腔体的吸盘、设于吸盘上方的石墨籽晶座、设于机架上的且用于驱动转轴转动的第一驱动机构、与第一腔体连通的抽气机构;吸盘中设有连通在第二腔体上方的真空吸孔,真空吸孔的上端穿出吸盘且位于石墨籽晶座下方;装置还包括设于石墨籽晶座上方的注胶机构和刮胶机构、设于机架上的且用于驱动注胶机构和刮胶机构同步沿竖直方向和/或水平方向运动的第二驱动机构;注胶机构用于定量供胶;刮胶机构包括相互连接的刮板和振动器。
[0004]虽然该技术具有均匀刮胶以及震动铺匀粘接胶的优点;但是该技术的刮板无法调整角度,使得单一角度的刮板无法根据操作者的使用习惯以及粘接胶粘性进行调整,难以进一步保证胶层的厚度,均匀度一致性和表面的平整性。
[0005]所以综上所述,目前急需一种用于碳化硅制备过程中可方便调整刮板对粘接胶角度的刮胶装置。

技术实现思路

[0006]本技术目的是提供一种用于籽晶表面的刮胶装置,本技术通过悬挂臂连接的固定板,设置在所述固定板侧面上的支架单元,设置在所述支架单元上的刮板单元,以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元与籽晶表面的粘接胶接触角度以及调节后固定的旋转块单元起到了在碳化硅制备过程中调整刮板对粘接胶角度的技术效果。
[0007]本技术解决上述问题采用的技术方案是:一种用于籽晶表面的刮胶装置,包括悬挂臂连接的固定板,设置在所述固定板侧面上的支架单元,设置在所述支架单元上并用于刮涂籽晶表面的粘接胶的刮板单元,以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元倾斜角度的旋转块单元。
[0008]进一步优选的技术方案在于:所述支架单元包括设置在所述固定板侧面上的第一支架,以及设置在所述第一支架上并用于安装所述刮板单元的滑动圆槽;所述刮板单元包括刮板,以及设置在所述刮板侧面上并用于插入所述滑动圆槽的滑动圆柱。
[0009]进一步优选的技术方案在于:所述支架单元还包括设置在所述固定板异于所述第一支架一侧侧面上的第二支架,以及设置在所述第二支架上并用于安装所述旋转块单元的旋转柱孔;所述旋转块单元包括旋转块,以及设置在所述旋转块且插入所述旋转柱孔并用于连接所述刮板侧面的旋转柱。
[0010]进一步优选的技术方案在于:所述支架单元包括设置在所述旋转柱孔内侧面上的限位槽;所述旋转块单元还包括设置在所述旋转柱并用于卡合所述限位槽的限位块。
[0011]进一步优选的技术方案在于:所述旋转块单元还包括设置在所述旋转柱上并用于安装所述限位块的限位块孔。
[0012]进一步优选的技术方案在于:所述旋转块单元还包括设置在所述旋转柱上且与所述限位块孔连通的方柱槽,设置在所述旋转块上且插入所述方柱槽中的方柱,设置在所述方柱上的下斜面槽,以及设置在所述限位块底面上并用于插入所述下斜面槽的下斜面块。
[0013]进一步优选的技术方案在于:所述旋转块单元还包括设置在所述限位块孔内侧面上的阻挡块,以及设置在所述限位块上的阻挡环。
[0014]进一步优选的技术方案在于:所述旋转块单元还包括套接设置在所述限位块上并用于顶起所述阻挡块和所述阻挡环的限位块弹簧。
[0015]进一步优选的技术方案在于:所述旋转块单元还包括设置在所述方柱槽内侧底面上并用于顶起所述方柱的方柱弹簧。
[0016]进一步优选的技术方案在于:所述旋转块单元还包括设置在所述旋转块上并用于连接所述方柱的连接柱。
[0017]本技术具有以下优点:
[0018]第一,可在刮胶过程进行之前对刮板角度进行调节,以适应粘接胶的粘性以及操作者的使用习惯,保证最终制得的碳化硅晶片的质量。
[0019]第二,通过旋转块的调节作用来改变刮板的角度,无需直接接触刮板。
[0020]第三,设置了限位块机构使得刮板的角度一旦调节完成后即实现固定。
[0021]第四,设置了与旋转块连接的方柱推动装置,当调整刮板角度时朝方柱方向推动旋转块即可实现对限位块的解锁效果,调整好刮板角度后松开旋转块即可使得刮板重新恢复锁定效果。
附图说明
[0022]图1为本技术中刮板与粘接胶呈最大角度时刮胶装置整体的结构示意图。
[0023]图2为本技术中刮板与粘接胶呈较小角度时刮胶装置整体的结构示意图。
[0024]图3为本技术中支架单元与刮板单元以及旋转块单元与刮板单元连接方式的结构示意图。
[0025]图4为本技术中限位块与限位槽连接方式的结构示意图。
[0026]图5为本技术中自然状态下方柱槽内部零部件位置的结构示意图。
[0027]图6为本技术中推动方柱状态下方柱槽内部零部件位置的结构示意图。
[0028]附图中,各标号所代表的部件如下:籽晶A,粘接胶B,悬挂臂C,固定板1,支架单元2,刮板单元3,旋转块单元4,第一支架201,滑动圆槽202,第二支架203,旋转柱孔204,限位槽205,刮板301,滑动圆柱302,旋转块401,旋转柱402,限位块403,限位块孔404,方柱槽
405,方柱406,下斜面槽407,下斜面块408,阻挡块409,阻挡环410,限位块弹簧411,方柱弹簧412,连接柱413。
具体实施方式
[0029]以下所述仅为本技术的较佳实施例,并非对本技术的范围进行限定。
[0030]实施例:如附图1

6所示,一种用于籽晶表面的刮胶装置,包括悬挂臂C连接的固定板1,设置在所述固定板1侧面上的支架单元2,设置在所述支架单元2上并用于刮涂籽晶A表面的粘接胶B的刮板单元3,以及设置在所述支架单元2上并用于旋转调节刮板单元3倾斜角度的旋转块单元4。
[0031]在本实施例中,悬挂臂C为连接刮胶装置与用于控制刮胶装置进行刮胶作业的装置的连接部分,所述固定板1作为悬挂臂C的延伸部分使得与粘接胶B直接接触的所述刮板单元3得以贴合在一起,所述支架单元2设置在所述固定板1的左右两个侧面上,目的是使得所述刮板单元3固定在所述固定板1上并可以在所述支本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于籽晶表面的刮胶装置,其特征在于,包括悬挂臂(C)连接的固定板(1),设置在所述固定板(1)侧面上的支架单元(2),设置在所述支架单元(2)上并用于刮涂籽晶(A)表面的粘接胶(B)的刮板单元(3),以及设置在所述支架单元(2)上并用于旋转调节刮板单元(3)倾斜角度的旋转块单元(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于籽晶表面的刮胶装置,其特征在于,所述支架单元(2)包括设置在所述固定板(1)侧面上的第一支架(201),以及设置在所述第一支架(201)上并用于安装所述刮板单元(3)的滑动圆槽(202);所述刮板单元(3)包括刮板(301),以及设置在所述刮板(301)侧面上并用于插入所述滑动圆槽(202)的滑动圆柱(302)。3.根据权利要求2所述的一种用于籽晶表面的刮胶装置,其特征在于,所述支架单元(2)还包括设置在所述固定板(1)异于所述第一支架(201)一侧侧面上的第二支架(203),以及设置在所述第二支架(203)上并用于安装所述旋转块单元(4)的旋转柱孔(204);所述旋转块单元(4)包括旋转块(401),以及设置在所述旋转块(401)且插入所述旋转柱孔(204)并用于连接所述刮板(301)侧面的旋转柱(402)。4.根据权利要求3所述的一种用于籽晶表面的刮胶装置,其特征在于,所述支架单元(2)包括设置在所述旋转柱孔(204)内侧面上的限位槽(205);所述旋转块单元(4)还包括设置在所述旋转柱(402)并用于卡合所述限位槽(205)的限位块(403)。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈晓宇叶国伟肯尼斯
申请(专利权)人:浙江东尼电子股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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