干式机械密封真空泵制造技术

本发明专利技术的实施例提供了一种干式机械密封真空泵，涉及真空泵技术领域。干式机械密封真空泵包括轴承、转子、端盖和干式机械密封装置，轴承、端盖和干式机械密封装置均套设在转子的端部，干式机械密封装置夹持在轴承与端盖之间；干式机械密封装置包括动环密封组件和静环密封组件，动环密封组件套设在转子上、且随转子同步转动，静环密封组件连接在端盖上，动环密封组件的端面与静环密封组件的端面为一对摩擦副。通过采用干式机械密封装置能够提高干式真空泵的真空度，增加泵腔体和轴承箱的密封性能，从而提高泵的使用寿命和改善上游设备的工艺环境，避免工艺气体遭受油污染，同时，避免泵腔内灰尘进入轴承箱，对轴承造成破坏。对轴承造成破坏。对轴承造成破坏。

【技术实现步骤摘要】
干式机械密封真空泵


[0001]本专利技术涉及真空泵
，具体而言，涉及一种干式机械密封真空泵。

技术介绍

[0002]随着经济的发展，社会的进步，光伏半导体行业的设备工艺，对干式真空泵的真空度和真空环境的清洁度的要求越来越高，工艺气体的腐蚀性和灰尘越来越大，极大地挑战着真空泵的性能，如何有效阻隔工艺气体和灰尘进入轴承箱破坏轴承，轴承箱油进入真空泵腔体破坏真空度和上游设备，成了干式真空泵的关键问题。
[0003]现有密封技术，主要依靠唇封和迷宫密封，对工艺介质和轴承箱进行隔离，但是它们都属于非接触式密封，密封能力一般，并持续有泄漏的存在，可见，迷宫密封和唇封的密封效果差，无法满足日益苛刻的工艺条件，具体缺陷如下：
[0004]1.为非接触式密封，密封效果差；
[0005]2.唇封的使用寿命短，更换麻烦；
[0006]3.耐高温、强腐蚀性能力较差；
[0007]4.唇封的唇边易快速被磨损，残渣容易进入泵腔，对泵腔造成危害。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的包括提供一种干式机械密封真空泵，其能够提高干式真空泵的真空度，增加泵腔体和轴承箱的密封性能，从而提高泵的使用寿命和改善上游设备的工艺环境，避免工艺气体遭受油污染。
[0009]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0010]第一方面，本专利技术提供一种干式机械密封真空泵，干式机械密封真空泵包括轴承、转子、端盖和干式机械密封装置，轴承、端盖和干式机械密封装置均套设在转子的端部，干式机械密封装置夹持在轴承与端盖之间；
[0011]干式机械密封装置包括动环密封组件和静环密封组件，动环密封组件套设在转子上、且随转子同步转动，静环密封组件连接在端盖上，动环密封组件的端面与静环密封组件的端面为一对摩擦副。
[0012]本专利技术实施例提供的干式机械密封真空泵的有益效果包括：
[0013]1.干式机械密封装置采用动环密封组件与静环密封组件接触式密封，密封效果好，泄漏量很小；
[0014]2.采用干式机械密封装置，使用寿命长，减小停机维修的时间成本；
[0015]3.干式机械密封装置耐高温、耐腐蚀性能较好，适用在严苛的真空泵中，明显提高真空泵的使用性能；
[0016]4.采用干式机械密封装置能够使密封接触面较小、相互之间的摩擦较小，减少发热，具有较好的密封性能和较长的使用寿命；
[0017]5.不需要再采用液体作为密封接触面的液膜来进行密封，避免液体进入腔体、破
坏工艺介质。
[0018]在可选的实施方式中，干式机械密封真空泵还包括弹簧，弹簧夹持在端盖与静环密封组件之间，弹簧用于将静环密封组件推向动环密封组件。
[0019]这样，利用弹簧将静环密封组件推向动环密封组件，保证静环密封组件与动环密封组件具有较大的相对挤压力，保证二者形成的密封接触面密封性能较好。
[0020]在可选的实施方式中，弹簧对静环密封组件的弹力为：25N～30N。
[0021]这样，经过反复测试和计算，将弹簧保持在25N～30N的弹力下，既保证了密封接触面的密封性能较好，还保证静环密封组件与动环密封组件之间的摩擦适中，不会出现过快发热损坏的情况下。
[0022]在可选的实施方式中，静环密封组件包括静环圈、连接销、静环座和防转销，静环圈的端面与动环密封组件的端面形成摩擦副，静环圈通过连接销连接到静环座，静环座通过防转销连接到端盖。
[0023]这样，静环密封组件的结构形式简单，装卸方便。
[0024]在可选的实施方式中，静环圈用于接触动环密封组件的端面为圆环，圆环的宽度为：2mm～2.5mm。
[0025]这样，密封接触面为圆环，宽度为：2mm～2.5mm，密封性能较好，摩擦适中，不会出现过快发热损坏的情况下。
[0026]在可选的实施方式中，静环密封组件还包括静环O型圈和静环座O型圈，静环O型圈夹持在静环圈与静环座之间，静环座O型圈夹持在静环座与端盖之间。
[0027]这样，静环O型圈能够保证静环圈与静环座之间的密封能力，静环座O型圈能够保证静环座与端盖之间的密封能力。
[0028]在可选的实施方式中，动环密封组件包括动环座和动环圈，动环座套设在转子上，动环圈安装在动环座上，动环座的外周面与动环圈的内周面之间设置有第一动环O型圈，动环座的端面与动环圈的端面之间设置有第二动环O型圈。
[0029]这样，动环密封组件的结构形式简单，装卸方便，而且采用第一动环O型圈能够保证动环圈的摩擦端面的垂直度，采用第二动环O型圈能够保证动环座与动环圈之间的密封能力。
[0030]在可选的实施方式中，干式机械密封真空泵还包括卡圈和节流环，卡圈卡持在端盖上，节流环抵触在端盖与卡圈上、且位于动环密封组件的外围。
[0031]这样，利用节流环设置在端盖与动环密封组件之间，减少端盖与动环密封组件之间的间隙，避免轴承的润滑油穿过端盖与动环密封组件之间的间隙，影响转子的工作性能。
[0032]在可选的实施方式中，转子上开设有第一吹扫通道，第一吹扫通道的入口位于转子的端面，第一吹扫通道的出口位于转子的外周面上、且正对动环密封组件，动环密封组件上开设有与第一吹扫通道连通的通孔，气流通过通孔吹向动环密封组件与静环密封组件之间的空间。
[0033]这样，利用第一吹扫通道吹入用于吹扫的气流，例如氮气，可以将动环密封组件与静环密封组件之间杂质吹出泵体，保证内部各零件的稳定运行。
[0034]在可选的实施方式中，端盖上开设有第二吹扫通道，第二吹扫通道的入口位于端盖的外表面，第二吹扫通道的出口位于端盖的内表面，气流通过第二吹扫通道吹向动环密
封组件的外围、且向远离静环密封组件的方向流动，防止轴承上的润滑油向静环密封组件所在的方向流动。
[0035]这样，利用第二吹扫通道吹入用于吹扫的气流，例如氮气，可以将气流向轴承所在的方向流动，防止轴承上的润滑油向静环密封组件所在的方向流动，同时，避免泵腔内灰尘进入轴承箱，对轴承造成破坏。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0037]图1为本专利技术实施例提供的干式机械密封真空泵的结构示意图。
[0038]图标：100
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干式机械密封真空泵；1
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轴承；2
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转子；21
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第一吹扫通道；3
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端盖；31
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第二吹扫通道；4
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弹簧；5
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卡圈；6
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节流环；7
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干式机械密封装置；8
‑
静环密封组件；81
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式机械密封真空泵，其特征在于，所述干式机械密封真空泵包括轴承(1)、转子(2)、端盖(3)和干式机械密封装置(7)，所述轴承(1)、所述端盖(3)和所述干式机械密封装置(7)均套设在所述转子(2)的端部，所述干式机械密封装置(7)夹持在所述轴承(1)与所述端盖(3)之间；所述干式机械密封装置(7)包括动环密封组件(9)和静环密封组件(8)，所述动环密封组件(9)套设在所述转子(2)上、且随所述转子(2)同步转动，所述静环密封组件(8)连接在所述端盖(3)上，所述动环密封组件(9)的端面与所述静环密封组件(8)的端面为一对摩擦副。2.根据权利要求1所述的干式机械密封真空泵，其特征在于，所述干式机械密封真空泵还包括弹簧(4)，所述弹簧(4)夹持在所述端盖(3)与所述静环密封组件(8)之间，所述弹簧(4)用于将所述静环密封组件(8)推向所述动环密封组件(9)。3.根据权利要求2所述的干式机械密封真空泵，其特征在于，所述弹簧(4)对所述静环密封组件(8)的弹力为：25N～30N。4.根据权利要求1所述的干式机械密封真空泵，其特征在于，所述静环密封组件(8)包括静环圈(81)、连接销(82)、静环座(83)和防转销(84)，所述静环圈(81)的端面与所述动环密封组件(9)的端面形成所述摩擦副，所述静环圈(81)通过所述连接销(82)连接到所述静环座(83)，所述静环座(83)通过所述防转销(84)连接到所述端盖(3)。5.根据权利要求4所述的干式机械密封真空泵，其特征在于，所述静环圈(81)用于接触所述动环密封组件(9)的端面为圆环，所述圆环的宽度为：2mm～2.5mm。6.根据权利要求4所述的干式机械密封真空泵，其特征在于，所述静环密封组件(8)还包括静环O型圈(85)和静环座O型圈(86)，所述静环O型圈(85)夹持在所述静环圈(81)与所述静环座...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈文武，周贤忠，聂小波，周阳，刘滔，侯亚旅，何建修，谌绍飞，游诗琪，
申请(专利权)人：四川莱斯特真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：