一种喷淋件及具有该喷淋件的切割机制造技术

本实用新型专利技术提供一种喷淋件，包括传动结构以及分设于传动结构两侧的连接结构与雾化结构，雾化结构的一侧设有一开口，喷淋件设有喷淋管道，喷淋管道贯穿连接结构及传动结构后连通开口。本实用新型专利技术还提供一种切割机，包括冷却机构，冷却机构包括多个喷嘴，喷嘴采用上述的喷淋件。上述喷淋件及含有该喷淋件的切割机，通过设置喷淋件与冷却管连接以使切割液从喷淋件中喷出，避免了切割液直接从冷却管的缝隙中喷出的技术方案，提升了切割液对蓝宝石衬底的喷淋效果，保证了蓝宝石衬底的切割品质。保证了蓝宝石衬底的切割品质。保证了蓝宝石衬底的切割品质。

【技术实现步骤摘要】
一种喷淋件及具有该喷淋件的切割机


[0001]本技术涉及芯片生产
，特别涉及一种喷淋件及具有该喷淋件的切割机。

技术介绍

[0002]制备蓝宝石衬底流程主要包含为切割、研磨、抛光三大领域。其中切割领域最为关键，决定衬底切割片源初始的良率及品质。
[0003]一般通过切割机切割蓝宝石从而获得蓝宝石衬底，蓝宝石衬底切割的原理是通过切割机上的一根高速运动的金刚线带动附着在钢丝上的金刚石颗粒对蓝宝石进行磨削的过程，从而达到切割效果。在整个切割过程中，钢线通过导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而切割蓝宝石是通过工作台的下降实现工件的切割。切割过程中，金刚线对蓝宝石切割产生大量的热量及磨削产生的废料，故在此过程中切割液起到降温、润滑、排屑的作用。
[0004]现有技术中的喷嘴一般为溢流式出液方式，通过水压将切割液直接从冷却管的缝隙中喷出，但由于缝隙较大，使得流出的水量较大，导致水流出的压力过小，从而切割液以水流的形式流出，使得无法实现切割液对蓝宝石衬底的喷淋效果，导致切割冷却不均匀，影响蓝宝石衬底的切割品质。<br/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷淋件，其特征在于，包括传动结构以及分设于所述传动结构两侧的连接结构与雾化结构，所述雾化结构的一侧设有一开口，所述喷淋件设有喷淋管道，所述喷淋管道贯穿所述连接结构及所述传动结构后连通所述开口。2.根据权利要求1所述的喷淋件，其特征在于，所述雾化结构包括连接盘、雾化座及连接臂，所述连接臂连接所述连接盘与所述雾化座、且与所述连接盘及所述雾化座围成所述开口，所述雾化座靠近所述连接盘的一侧设有一斜面，所述斜面朝远离所述连接臂的一侧倾斜。3.根据权利要求2所述的喷淋件，其特征在于，所述喷淋管道依次贯穿所述连接结构、所述传动结构及所述连接盘后连通所述开口。4.根据权利要求2所述的喷淋件，其特征在于，所述传动结构的横截面为正六边形，所述传动结构的横截面面积大于所述连接结构的横截面面积。5.根据权利要求1所述的喷淋件，其特征在于，所述连接结构的外侧壁上设有螺纹。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：高东升，崔思远，吴琼琼，沈勇发，钟后芳，万里辉，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：